本技術(shù)涉及光學(xué)成像，具體而言，涉及一種物鏡模組及光刻成像系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、光刻機(jī)是在硅晶圓上通過光刻工藝高效率的復(fù)刻微小、精確的集成電路的核心設(shè)備。光刻機(jī)的光刻成像系統(tǒng)的曝光視場、分辨率以及工作穩(wěn)定性直接決定了芯片制造的能力。

2、光刻成像系統(tǒng)中的物鏡模組，通常需要在有限的空間尺寸范圍內(nèi)提供盡可能大的視場范圍，物鏡模組的光學(xué)透鏡片數(shù)較多，往往帶來了物鏡模組的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、通光口徑龐大的問題，這也進(jìn)一步導(dǎo)致物鏡模組在加工制造、組裝調(diào)試過程中都更加困難，制造困難導(dǎo)致的良率降低，也使得制造成本增加。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本技術(shù)提供一種物鏡模組及光刻成像系統(tǒng)，本技術(shù)的物鏡模組，能夠在保證較大視場的前提下，減小物鏡模組中光學(xué)透鏡的口徑尺寸，增加物方工作距離，提高成像質(zhì)量。

2、為實現(xiàn)上述目的，本技術(shù)實施例采用的技術(shù)方案如下：

3、本技術(shù)實施例的一方面，提供一種物鏡模組，配置于光刻成像系統(tǒng)的物面與像面之間，物鏡模組包括由物面至像面依次設(shè)置的第一鏡組、第二鏡組和顯微物鏡組，第一鏡組和第二鏡組均為雙高斯結(jié)構(gòu)或者均為雙高斯衍生結(jié)構(gòu)，第一鏡組焦距大于第二鏡組焦距。

4、在一些可行的實施方式中，第一鏡組光焦度p1、第二鏡組光焦度p2和顯微物鏡組光焦度p3滿足以下關(guān)系式：

5、0<|p1|<1/5000；

6、1/1000<|p2|<1/400；

7、1/200<|p3|<1/100；

8、3<|p3/p2|<7；其中，焦距的單位為毫米。

9、在一些可行的實施方式中，第一鏡組包括沿主光軸依次設(shè)置的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡和第七透鏡，第一透鏡光焦度和第二透鏡光焦度為正光焦度，第三透鏡光焦度、第四透鏡光焦度和第五透鏡光焦度為負(fù)光焦度，第六透鏡光焦度和第七透鏡光焦度為正光焦度。

10、在一些可行的實施方式中，第二透鏡為平凸透鏡，第三透鏡為平凹透鏡，第四透鏡和第五透鏡為雙凹透鏡，第六透鏡和第七透鏡為彎月正透鏡。

11、在一些可行的實施方式中，第一透鏡焦距f1和第一透鏡折射率n1滿足：300mm<f1<400mm；n1=1.58；第二透鏡焦距f2和第二透鏡折射率n2滿足：200mm<f2<300mm；n2=1.52；第三透鏡焦距f3和第三透鏡折射率n3滿足：-200mm<f3<-100mm；n3=1.60；第四透鏡焦距f4和第四透鏡折射率n4滿足：-200mm<f4<-100mm；n4=1.59；第五透鏡焦距f5和第五透鏡折射率n5滿足：-200mm<f5<-100mm；n5=1.60；第六透鏡焦距f6和第六透鏡折射率n6滿足：900mm<f6<1000mm；n6=1.59；第七透鏡焦距f7和第七透鏡折射率n7滿足：380mm<f7<480mm；n7=1.50。

12、在一些可行的實施方式中，第二鏡組包括沿主光軸依次設(shè)置的第八透鏡、第九透鏡、第十透鏡、第十一透鏡、第十二透鏡、第十三透鏡、第十四透鏡和第十五透鏡，第八透鏡光焦度、第九透鏡光焦度和第十透鏡光焦度為正光焦度，第十一透鏡光焦度、第十二透鏡光焦度和第十三透鏡光焦度為負(fù)光焦度，第十四透鏡光焦度和第十五透鏡光焦度為正光焦度。

13、在一些可行的實施方式中，第八透鏡和第九透鏡為彎月正透鏡，第十透鏡為雙凸透鏡，第十一透鏡和第十二透鏡為雙凹透鏡，第十三透鏡為彎月負(fù)透鏡，第十四透鏡和第十五透鏡為雙凸透鏡。

14、在一些可行的實施方式中，第八透鏡焦距f8和第八透鏡折射率n8滿足：2000mm<f8<2600mm；n8=1.62；第九透鏡焦距f9和第九透鏡折射率n9滿足：7000mm<f9<∞；n9=1.60；第十透鏡焦距f10和第十透鏡折射率n10滿足：200mm<f10<300mm；n10=1.60；第十一透鏡焦距f11和第十一透鏡折射率n11滿足：-200mm<f11<-150mm；n11=1.60；第十二透鏡焦距f12和第十二透鏡折射率n12滿足：-300mm<f12<-200mm；n12=1.57；第十三透鏡焦距f13和第十三透鏡折射率n13滿足：-700mm<f13<-600mm；n13=1.49；第十四透鏡焦距f14和第十四透鏡折射率n14滿足：300mm<f14<400mm；n14=1.50；第十五透鏡焦距f15和第十五透鏡折射率n15滿足：380mm<f15<480mm；n15=1.50。

15、在一些可行的實施方式中，顯微物鏡組包括沿主光軸依次設(shè)置的第十六透鏡、第十七透鏡、第十八透鏡、第十九透鏡、第二十透鏡、第二十一透鏡和第二十二透鏡，第十六透鏡光焦度為正光焦度，第十七透鏡光焦度為負(fù)光焦度，第十八透鏡光焦度、第十九透鏡光焦度、第二十透鏡光焦度、第二十一透鏡光焦度和第二十二透鏡光焦度為正光焦度。

16、在一些可行的實施方式中，第十六透鏡為雙凸透鏡，第十七透鏡為雙凹透鏡，第十八透鏡和第十九透鏡為雙凸透鏡，第二十透鏡和第二十一透鏡為彎月正透鏡，第二十二透鏡為平凸透鏡。

17、在一些可行的實施方式中，第十六透鏡焦距f16和第十六透鏡折射率n16滿足：300mm<f16<360mm；n16=1.50；第十七透鏡焦距f17和第十七透鏡折射率n17滿足：-250mm<f17<-150mm；n17=1.58；第十八透鏡焦距f18和第十八透鏡折射率n18滿足：400mm<f18<500mm；n18=1.50；第十九透鏡焦距f19和第十九透鏡折射率n19滿足：400mm<f19<500mm；n19=1.50；第二十透鏡焦距f20和第二十透鏡折射率n20滿足：550mm<f20<650mm；n20=1.49；第二十一透鏡焦距f21和第二十一透鏡折射率n21滿足：500mm<f21<600mm；n21=1.62；第二十二透鏡焦距f22和第二十二透鏡折射率n22滿足：500mm<f22<600mm；n22=1.57。

18、在一些可行的實施方式中，在第一透鏡的入光側(cè)表面還設(shè)置有第一非球面，在第十一透鏡的入光側(cè)表面還設(shè)置有第二非球面。

19、本技術(shù)實施例的另一方面，提供一種光刻成像系統(tǒng)，包括前述任意一項的物鏡模組。

20、本技術(shù)實施例的有益效果包括：

21、本技術(shù)實施例提供了一種物鏡模組，配置于光刻成像系統(tǒng)的物面與像面之間，物鏡模組包括由物面至像面依次設(shè)置的第一鏡組、第二鏡組和顯微物鏡組，第一鏡組和第二鏡組均為雙高斯結(jié)構(gòu)或者均為雙高斯衍生結(jié)構(gòu)，第一鏡組焦距大于第二鏡組焦距。雙高斯結(jié)構(gòu)或者雙高斯衍生結(jié)構(gòu)的第一鏡組和第二鏡組能夠有效的校正光路系統(tǒng)中的非對稱像差，第一鏡組焦距大于第二鏡組焦距，通過第一鏡組和第二鏡組的相互配合能夠消除系統(tǒng)像散，再與顯微物鏡組之間相配合，能夠有效的優(yōu)化提高系統(tǒng)的設(shè)計自由度，增加物方工作距離，并抵消系統(tǒng)的球差、慧差、畸變等光學(xué)像差，從而使得本技術(shù)實施例提供的物鏡模組應(yīng)用于光刻成像系統(tǒng)中，在保證較大視場和較大的數(shù)值孔徑的前提下，縮小物鏡模組的光學(xué)元件口徑，且保證物鏡模組的較佳的成像效果。