彩膜基板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種彩膜基板的制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著顯示技術(shù)的發(fā)展，液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面顯示裝置因具有高畫質(zhì)、省電、機(jī)身薄及應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，而被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、電視、個人數(shù)字助理、數(shù)字相機(jī)、筆記本電腦、臺式計(jì)算機(jī)等各種消費(fèi)性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。
[0003]現(xiàn)有市場上的液晶顯示裝置大部分為背光型液晶顯示器，其包括液晶顯示面板及背光模組(backlight module)。液晶顯示面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板當(dāng)中放置液晶分子，兩片玻璃基板中間有許多垂直和水平的細(xì)小電線，通過通電與否來控制液晶分子改變方向，將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。
[0004]通常液晶顯示面板由彩膜(CF，Color Filter)基板、薄膜晶體管(TFT，Thin FilmTransistor)基板、夾于彩膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(LC,Liquid Crystal)及密封膠框(Sealant)組成，其成型工藝一般包括:前段陣列(Array)制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(Cell)制程(彩膜基板與CF基板貼合)及后段模組組裝制程(驅(qū)動IC與印刷電路板壓合)。其中，前段Array制程主要是形成彩膜基板，以便于控制液晶分子的運(yùn)動；中段Cell制程主要是在彩膜基板與CF基板之間添加液晶；后段模組組裝制程主要是驅(qū)動IC壓合與印刷電路板的整合，進(jìn)而驅(qū)動液晶分子轉(zhuǎn)動，顯示圖像。
[0005]彩膜基板是液晶顯示器的重要組成部分，如圖1-2所示，現(xiàn)有的彩膜基板的制作過程為:在基板100上依次制作黑色矩陣200、彩色光阻層300、平坦層或者公共電極層400、及光阻間隙物500;目前的液晶顯示裝置，當(dāng)人眼在不同角度觀察時候，在彩色光阻層300的相鄰色阻塊310的疊加(Overlay)位置，或者相鄰色阻塊310的高度不均的位置，其發(fā)出的光會發(fā)生重疊，就會產(chǎn)生混色，造成畫面不純，影響畫面顯示效果。
[0006]目前的手機(jī)等智能移動和穿戴設(shè)備，其彩膜要求更加高精細(xì)度，因此黑色矩陣200及彩色光阻層300會要求更細(xì)的線寬，在彩色光阻層300的制作過程中，更容易產(chǎn)生相鄰色阻塊310的疊加引起混色，造成產(chǎn)品品質(zhì)下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種彩膜基板的制作方法，可有效避免相鄰色阻塊疊加或者相鄰色阻塊的高度不均時產(chǎn)生的混色和色差等問題，有效改善產(chǎn)品視角和提升產(chǎn)品顯示品質(zhì)，同時也可以節(jié)省制程工藝和材料，提升良率。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種彩膜基板的制作方法，包括:提供一基板，在所述基板上形成彩色光阻層、及黑色遮光層，采用一道半色調(diào)光罩對所述黑色遮光層進(jìn)行曝光、顯影，同時得到黑色矩陣、及位于所述黑色矩陣上的數(shù)個光阻間隙物。
[0009]具體包括如下步驟:
[0010]步驟1、提供一基板，在所述基板上形成彩色光阻層，所述彩色光阻層包括數(shù)個紅色色阻塊、數(shù)個綠色色阻塊、及數(shù)個藍(lán)色色阻塊；
[0011]步驟2、在所述彩色光阻層上涂布黑色遮光材料，形成黑色遮光層，采用一道半色調(diào)光罩對所述黑色遮光層進(jìn)行曝光、顯影，同時得到黑色矩陣、及位于所述黑色矩陣上的數(shù)個光阻間隙物。
[0012]所述黑色矩陣位于所述彩色光阻層上相鄰的色阻塊的交界處;所述數(shù)個光阻間隙物包括數(shù)個主要光阻間隙物及數(shù)個次要光阻間隙物;所述主要光阻間隙物的高度大于所述次要光阻間隙物的高度。
[0013]具體包括如下步驟:
[0014]步驟1、提供一基板，在所述基板上采用半色調(diào)光罩制程形成彩色光阻層，所述彩色光阻層包括數(shù)個紅色色阻塊、數(shù)個綠色色阻塊、及數(shù)個藍(lán)色色阻塊，同時所述彩色光阻層具有數(shù)條橫向溝槽與數(shù)條縱向溝槽，所述數(shù)條橫向溝槽與數(shù)條縱向溝槽位于相鄰的色阻塊的交界處；
[0015]步驟2、在所述彩色光阻層上涂布黑色遮光材料，形成黑色遮光層，采用一道半色調(diào)光罩對所述黑色遮光層進(jìn)行曝光、顯影，同時得到位于數(shù)條橫向溝槽與數(shù)條縱向溝槽內(nèi)的黑色矩陣、及位于所述黑色矩陣上的數(shù)個光阻間隙物。
[0016]所述數(shù)個光阻間隙物包括數(shù)個主要光阻間隙物及數(shù)個次要光阻間隙物;所述主要光阻間隙物的高度大于所述次要光阻間隙物的高度。
[0017]具體包括如下步驟:
[0018]步驟1、提供一基板，在所述基板上形成第一黑色矩陣，在所述第一黑色矩陣及基板上形成彩色光阻層，所述彩色光阻層包括數(shù)個紅色色阻塊、數(shù)個綠色色阻塊、及數(shù)個藍(lán)色色阻塊；
[0019]步驟2、在所述彩色光阻層上制作平坦層，在所述平坦層上涂布黑色遮光材料，形成黑色遮光層，采用一道半色調(diào)光罩對所述黑色遮光層進(jìn)行曝光、顯影，同時得到第二黑色矩陣、及位于所述第二黑色矩陣上的數(shù)個光阻間隙物。
[0020]所述第一黑色矩陣對應(yīng)于所述彩色光阻層上相鄰的色阻塊的交界處設(shè)置;所述第二黑色矩陣對應(yīng)于所述第一黑色矩陣設(shè)置，且所述第二黑色矩陣的寬度小于所述第一黑色矩陣的寬度；
[0021]所述數(shù)個光阻間隙物包括數(shù)個主要光阻間隙物及數(shù)個次要光阻間隙物;所述主要光阻間隙物的高度大于所述次要光阻間隙物的高度。
[0022]具體包括如下步驟:
[0023]步驟1、提供一基板，在所述基板上形成第一黑色矩陣，在所述第一黑色矩陣及基板上采用半色調(diào)光罩制程形成彩色光阻層，所述彩色光阻層包括數(shù)個紅色色阻塊、數(shù)個綠色色阻塊、及數(shù)個藍(lán)色色阻塊，同時所述彩色光阻層具有對應(yīng)于所述第一黑色矩陣上方的數(shù)條橫向溝槽與數(shù)條縱向溝槽；
[0024]步驟2、在所述彩色光阻層上涂布黑色遮光材料，形成黑色遮光層，采用一道半色調(diào)光罩對所述黑色遮光層進(jìn)行曝光、顯影，同時得到位于數(shù)條橫向溝槽與數(shù)條縱向溝槽內(nèi)的第二黑色矩陣、及位于所述第二黑色矩陣上的數(shù)個光阻間隙物。
[0025]所述第一黑色矩陣對應(yīng)于所述彩色光阻層上相鄰的色阻塊的交界處設(shè)置;所述第二黑色矩陣的寬度小于所述第一黑色矩陣的寬度；
[0026]所述數(shù)個光阻間隙物包括數(shù)個主要光阻間隙物及數(shù)個次要光阻間隙物;所述主要光阻間隙物的高度大于所述次要光阻間隙物的高度。
[0027]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供的一種彩膜基板的制作方法，通過采用一道半色調(diào)光罩對黑色遮光層進(jìn)行曝光、顯影，同時制作出黑色矩陣和位于黑色矩陣上的黑色光阻間隙物，有效避免彩色光阻層上相鄰色阻塊疊加或者相鄰色阻塊的高度不均時產(chǎn)生的混色和色差等問題，可以有效改善產(chǎn)品視角和提升產(chǎn)品顯示品質(zhì)，同時也可以節(jié)省制程工藝和材料，提升良率。
[0028]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
【附圖說明】
[0029]下面結(jié)合附圖，通過對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見。
[0030]附圖中，
[0031 ]圖1為現(xiàn)有的彩膜基板的剖視示意圖；
[0032]圖2為現(xiàn)有的彩膜基板的俯視示意圖；
[0033]圖3為本發(fā)明的彩膜基板的制作方法第一實(shí)施例的示意流程圖；
[0034]圖4-5為圖3的彩膜基板的制作方法的步驟I的示意圖；
[0035]圖6-8為圖3的彩膜基板的制作方法的步驟2的示意圖；
[0036]圖9為本發(fā)明的彩膜基板的制作方法第二實(shí)施例的示意流程圖；
[0037]圖10-11為圖9的彩膜基板的制作方法的步驟I的示意圖；
[0038]圖12-14為圖9的彩膜基板的制作方法的步驟2的示意圖；
[0039]圖15為本發(fā)明的彩膜基板的制作方法第三實(shí)施例的示意流程圖；
[0040]圖16-17為圖15的彩膜基板的制作方法的步驟I的示意圖；
[0041]圖18-20為圖15的彩膜基板的制作方法的步驟2的示意圖；
[0042]圖21為本發(fā)明的彩膜基板的制作方法第四實(shí)施例的示意流程圖；
[0043]圖22-23為圖21的彩膜基板的制作方法的步驟I的示意圖；
[0044]圖24-26為圖21的彩膜基板的制作方法的步驟2的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0045]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0046]本發(fā)明提供一種彩膜基板的