專(zhuān)利名稱(chēng)：通過(guò)防護(hù)處理的磁控濺射圓柱靶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種磁控濺射圓柱靶，特別涉及一種通過(guò)防護(hù)處理的磁控 濺射圓柱靶。
背景技術(shù)：
磁控濺射圓柱靶的結(jié)構(gòu)是磁鐵裝配在靶芯軛鐵上，而后放置在耙管中，兩 端分別用靶頭和靶堵進(jìn)行密封。靶在工作的過(guò)程中，需要在耙管中通冷卻水， 對(duì)靶材進(jìn)行冷卻，從而使磁鐵不可避免的浸泡在水中，由于冷卻水大都取自自 來(lái)水，因?yàn)樗|(zhì)的問(wèn)題，促使浸泡在水中的磁鐵很快被腐蝕，同時(shí)又由于磁體 個(gè)體的差異，使各個(gè)磁鐵受到不同程度的侵蝕，導(dǎo)致整支靶磁場(chǎng)強(qiáng)度不均勻， 從而引起整支靶的濺射不均，嚴(yán)重影響真空管的質(zhì)量，嚴(yán)重侵蝕時(shí)，整支耙無(wú) 法正常工作，過(guò)早報(bào)廢；磁鐵成本較高，頻繁更換磁鐵，不僅增加了生產(chǎn)制造 成本，也提高了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，降低了生產(chǎn)效率。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供了一種通過(guò)防護(hù)處理 后，能夠防止水對(duì)磁鐵的腐蝕，使整支靶的磁場(chǎng)強(qiáng)度能夠長(zhǎng)期保持均勻，大大 地延長(zhǎng)了靶的使用壽命的磁控濺射圓柱耙。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是 一種通過(guò)防護(hù)處理的 磁控濺射圓柱靶，包括熱縮管、靶芯軛鐵和安裝在靶芯軛鐵上的磁鐵，在裝配 好的磁鐵表面和靶芯軛鐵表面涂有防銹漆，所述的熱縮管通過(guò)熱風(fēng)槍的烘烤箍 在靶芯外面，所述的熱縮管的兩個(gè)端口與靶芯軛鐵之間設(shè)有硅膠，所述的熱縮 管的兩個(gè)端口最外層設(shè)有防水膠帶。
所述的硅膠為704硅膠。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，采用本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)使水與磁鐵隔離，防止了水對(duì)磁 鐵的腐蝕，使整支靶的磁場(chǎng)強(qiáng)度能夠長(zhǎng)期保持均勻，進(jìn)而保證了耙能夠長(zhǎng)期穩(wěn)
定濺射，大大地延長(zhǎng)了靶的使用壽命；同時(shí)也減少了工藝操作人員微調(diào)工藝的 頻率，降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了生產(chǎn)效率。

圖1為本實(shí)用新型的截面剖視圖。
圖中l(wèi)熱縮管，2靶芯軛鐵，3磁鐵，4防銹漆，5硅膠，6冷卻水進(jìn)水 管，7冷卻水進(jìn)水管，8耙管。 '
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
參見(jiàn)圖1， 一種通過(guò)防護(hù)處理的磁控濺射圓柱靶，包括熱縮管1、靶芯軛 鐵2和安裝在耙芯軛鐵上的磁鐵3，在裝配好的磁鐵3表面和靶芯軛鐵2表面 涂有一層防銹漆4，熱縮管1通過(guò)熱風(fēng)槍的烘烤箍在裝配好的磁鐵3和靶芯軛 鐵2外面，磁鐵3和靶芯軛鐵2組成靶芯，熱縮管1的兩個(gè)端口與靶芯軛鐵2 之間設(shè)有硅膠5，熱縮管l的兩個(gè)端口最外層設(shè)有防水膠帶，靶芯軛鐵2中間 為冷卻水進(jìn)水管6，耙管8與靶芯軛鐵2之間為冷卻水進(jìn)水管7。
本實(shí)用新型的防護(hù)處理步驟
第一步將靶芯軛鐵表面的銹蝕清理干凈，使靶芯軛鐵的表面潔凈沒(méi)有雜
物；
第二步將磁鐵裝配到靶芯軛鐵上，并測(cè)量每一塊磁鐵的表面磁場(chǎng)強(qiáng)度，
及時(shí)將不合格的磁鐵去掉，保證整支靶芯磁場(chǎng)強(qiáng)度的均勻性；
第三步在裝配好的磁鐵表面和靶芯軛鐵表面均勻的涂一層防銹漆，并靜 置固化；
第四步待防銹漆完全固化后，將整支靶芯裝配到熱縮管中，并用熱封槍 對(duì)熱縮管進(jìn)行烘烤，使其緊緊地箍在整個(gè)靶芯外面，這樣可以減少熱縮管對(duì)冷 卻水流的阻礙，保證靶材有好的冷卻效果；
第五步在熱縮管的兩個(gè)端口，在靶芯軛鐵和熱縮管之間，用704硅膠進(jìn) 行填充，而后用防水膠帶扎緊，防止水進(jìn)入到熱縮管，使磁鐵的產(chǎn)生銹蝕。
以上所述的實(shí)施例，只是本實(shí)用新型較優(yōu)選的具體實(shí)施方式
的一種，本領(lǐng) 域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含 在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種通過(guò)防護(hù)處理的磁控濺射圓柱靶，包括熱縮管、靶芯軛鐵和安裝在靶芯軛鐵上的磁鐵，其特征在于，在裝配好的磁鐵表面和靶芯軛鐵表面涂有防銹漆，所述的熱縮管通過(guò)熱風(fēng)槍的烘烤箍在靶芯外面，所述的熱縮管的兩個(gè)端口與靶芯軛鐵間設(shè)有硅膠，所述的熱縮管的兩個(gè)端口最外層設(shè)有防水膠帶。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的通過(guò)防護(hù)處理的磁控濺射圓柱耙，其特征在于， 所述的硅膠為704硅膠。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種通過(guò)防護(hù)處理的磁控濺射圓柱靶，包括熱縮管、靶芯軛鐵和安裝在靶芯軛鐵上的磁鐵，在裝配好的磁鐵表面和靶芯軛鐵表面涂有防銹漆，所述的熱縮管通過(guò)熱風(fēng)槍的烘烤箍在靶芯外面，所述的熱縮管的兩個(gè)端口與靶芯軛鐵間涂有硅膠，所述的熱縮管的兩個(gè)端口最外層設(shè)有防水膠帶；所述的硅膠為704硅膠。采用本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)使水與磁鐵隔離，防止了水對(duì)磁鐵的腐蝕，使整支靶的磁場(chǎng)強(qiáng)度能夠長(zhǎng)期保持均勻，進(jìn)而保證了靶能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定濺射，大大地延長(zhǎng)了靶的使用壽命；同時(shí)也減少了工藝操作人員微調(diào)工藝的頻率，降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C23C14/35GK201309962SQ20082012370
公開(kāi)日2009年9月16日 申請(qǐng)日期2008年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月10日
發(fā)明者丁朋磊, 劉建民, 李雪峰, 王智建, 秦和軍, 陳志濤 申請(qǐng)人:皇明太陽(yáng)能集團(tuán)有限公司