專利名稱：大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種石英玻璃片的加工方法，特別是一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法。
背景技術(shù)：
隨著科技的快速發(fā)展，精密機(jī)械行業(yè)所用的閥片，油泵葉片，氣缸活塞環(huán)，鋼型密封圈等金屬件的雙面拋光研磨及光電行業(yè)所需的硅、鍺、石英晶體等硬脆性非金屬件的雙面研磨拋光需求急速增長(zhǎng)，為適應(yīng)此需要，機(jī)械制造業(yè)生產(chǎn)了各種規(guī)格型號(hào)的游星式雙面研磨拋光機(jī)，滿足了上述所求。金屬件因有剛性，再薄再大也不會(huì)損壞，而晶體等硬脆性物質(zhì)直徑有幾毫米到100毫米左右，厚度均在Imm以上，因此不存在工藝操作問(wèn)題，但在加工超薄石英玻璃片的研磨拋光片中損壞率特別高，為此需摸索一套特殊的工藝操作程序。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種工藝更為合理、有效提高成品率、可操作性強(qiáng)的大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法。本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是通過(guò)以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明是一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，其特點(diǎn)是該方法適用于直徑Φ為100-200mm，厚度為0. 2-0. 5mm的石英玻璃片的研磨拋光；
(1)在進(jìn)行工件加工之前對(duì)工件進(jìn)行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且對(duì)磨料進(jìn)行定期過(guò)濾，除去玻璃碎屑和粗粒度(比本工藝標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)要求的粒度粗的磨料)磨料；
(2)細(xì)磨和拋光在相同機(jī)型的雙面研磨拋光機(jī)上進(jìn)行，將雙面細(xì)磨后的加工件全數(shù)轉(zhuǎn)入雙面拋光，不同次加工的細(xì)磨件不能同一次進(jìn)行拋光；
(3)研磨時(shí)研磨壓力為0.01-0. 03Mpa，轉(zhuǎn)數(shù)為6-8/min，每件石英玻璃片的研磨時(shí)間為 50-80 min ；
(4)當(dāng)研磨過(guò)程中，保持雙面研磨拋光機(jī)的游星輪平整，當(dāng)游星輪受熱變形時(shí)，將其置于電熱板上加溫到110-120°C，上面壓平模或平板8-10小時(shí)，將游星輪處理平整；
(5)工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質(zhì)量比為1:1的酒精與乙醚混合液中浸泡2-3分鐘，即可。本發(fā)明中所述的雙面研磨拋光機(jī)可以為現(xiàn)在技術(shù)中公開(kāi)的常用雙面研磨拋光機(jī)。本發(fā)明工藝是根據(jù)光學(xué)玻璃研磨拋光原理，即研磨拋光的質(zhì)量及效率與被加工件受到的壓力、磨盤的轉(zhuǎn)數(shù)等而研發(fā)的操作工藝，從而在雙面研磨拋光機(jī)上可以對(duì)超薄大平面石英片進(jìn)行研磨拋光，保證了被加工件的高成品率，提高了效率。經(jīng)實(shí)驗(yàn)表明，本發(fā)明工藝的成品率可達(dá)97%左右。
具體實(shí)施例方式以下進(jìn)一步描述本發(fā)明的具體技術(shù)方案，以便于本領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)一步地理解本發(fā)明，而不構(gòu)成對(duì)其權(quán)利的限制。實(shí)施例1，一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，該方法適用于直徑Φ 為100-200mm，厚度為0. 2-0. 5mm的石英玻璃片的研磨拋光；
(1)在進(jìn)行工件加工之前對(duì)工件進(jìn)行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且對(duì)磨料進(jìn)行定期過(guò)濾，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；
(2)細(xì)磨和拋光在相同機(jī)型的雙面研磨拋光機(jī)上進(jìn)行，將雙面細(xì)磨后的加工件全數(shù)轉(zhuǎn)入雙面拋光，不同次加工的細(xì)磨件不能同一次進(jìn)行拋光；
(3)研磨時(shí)研磨壓力為0.OlMpa，轉(zhuǎn)數(shù)為6/min，每件石英玻璃片的研磨時(shí)間為50 min ；
(4)當(dāng)研磨過(guò)程中，保持雙面研磨拋光機(jī)的游星輪平整，當(dāng)游星輪受熱變形時(shí)，將其置于電熱板上加溫到110°C，上面壓平模或平板8-10小時(shí)，將游星輪處理平整；
(5)工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質(zhì)量比為1:1的酒精與乙醚混合液中浸泡2分鐘，即可。實(shí)施例2，一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，該方法適用于直徑Φ 為100-200mm，厚度為0. 2-0. 5mm的石英玻璃片的研磨拋光；
(1)在進(jìn)行工件加工之前對(duì)工件進(jìn)行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且對(duì)磨料進(jìn)行定期過(guò)濾，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；
(2)細(xì)磨和拋光在相同機(jī)型的雙面研磨拋光機(jī)上進(jìn)行，將雙面細(xì)磨后的加工件全數(shù)轉(zhuǎn)入雙面拋光，不同次加工的細(xì)磨件不能同一次進(jìn)行拋光；
(3)研磨時(shí)研磨壓力為0.03Mpa，轉(zhuǎn)數(shù)為8/min，每件石英玻璃片的研磨時(shí)間為80 min ；
(4)當(dāng)研磨過(guò)程中，保持雙面研磨拋光機(jī)的游星輪平整，當(dāng)游星輪受熱變形時(shí)，將其置于電熱板上加溫到120°C，上面壓平?；蚱桨?-10小時(shí)，將游星輪處理平整；
(5)工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質(zhì)量比為1:1的酒精與乙醚混合液中浸泡3分鐘，即可。實(shí)施例3，一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，該方法適用于直徑Φ 為100-200mm，厚度為0. 2-0. 5mm的石英玻璃片的研磨拋光；
(1)在進(jìn)行工件加工之前對(duì)工件進(jìn)行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且對(duì)磨料進(jìn)行定期過(guò)濾，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；
(2)細(xì)磨和拋光在相同機(jī)型的雙面研磨拋光機(jī)上進(jìn)行，將雙面細(xì)磨后的加工件全數(shù)轉(zhuǎn)入雙面拋光，不同次加工的細(xì)磨件不能同一次進(jìn)行拋光；
(3)研磨時(shí)研磨壓力為0.02Mpa，轉(zhuǎn)數(shù)為7/min，每件石英玻璃片的研磨時(shí)間為65 min ；
(4)當(dāng)研磨過(guò)程中，保持雙面研磨拋光機(jī)的游星輪平整，當(dāng)游星輪受熱變形時(shí)，將其置于電熱板上加溫到115°C，上面壓平?；蚱桨?-10小時(shí)，將游星輪處理平整；
(5)工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質(zhì)量比為1:1的酒精與乙醚混合液中浸泡2分鐘，即可。
權(quán)利要求
1. 一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，其特征在于該方法適用于直徑φ 為100-200mm，厚度為0. 2-0. 5mm的石英玻璃片的研磨拋光；(1)在進(jìn)行工件加工之前對(duì)工件進(jìn)行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且對(duì)磨料進(jìn)行定期過(guò)濾，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；(2)細(xì)磨和拋光在相同機(jī)型的雙面研磨拋光機(jī)上進(jìn)行，將雙面細(xì)磨后的加工件全數(shù)轉(zhuǎn)入雙面拋光，不同次加工的細(xì)磨件不能同一次進(jìn)行拋光；(3)研磨時(shí)研磨壓力為0.01-0. 03Mpa，轉(zhuǎn)數(shù)為6-8/min，每件石英玻璃片的研磨時(shí)間為 50-80 min ；(4)當(dāng)研磨過(guò)程中，保持雙面研磨拋光機(jī)的游星輪平整，當(dāng)游星輪受熱變形時(shí)，將其置于電熱板上加溫到110-120°C，上面壓平?；蚱桨?-10小時(shí)，將游星輪處理平整；(5)工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質(zhì)量比為1:1的酒精與乙醚混合液中浸泡2-3分鐘，即可。
全文摘要
本發(fā)明是一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，該方法適用于直徑Φ為100-200mm，厚度為0.2-0.5mm的石英玻璃片的研磨拋光；工件加工之前對(duì)工件進(jìn)行清洗，細(xì)磨和拋光在相同機(jī)型的雙面研磨拋光機(jī)上進(jìn)行；研磨時(shí)研磨壓力為0.01-0.03Mpa，轉(zhuǎn)數(shù)為6-8/min，每件石英玻璃片的研磨時(shí)間為50-80min；當(dāng)研磨過(guò)程中，保持雙面研磨拋光機(jī)的游星輪平整；工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質(zhì)量比為11的酒精與乙醚混合液中浸泡2-3分鐘，即可。本發(fā)明工藝保證了被加工件的高成品率，提高了效率，其成品率可達(dá)97%左右。
文檔編號(hào)B24B37/08GK102528645SQ20121003369
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2012年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月15日
發(fā)明者劉夢(mèng)云, 王曉東, 蔡桂芳, 費(fèi)立格 申請(qǐng)人:蔡桂芳