專利名稱：液體材料氣化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體制造中所使用的各種液體材料進行氣化用的液體材料氣化
>J-U ρ α裝直。
背景技術(shù)：
以往，已知有一種即使是容易引起熱分解的液體材料也能在使其不熱分解的狀態(tài)下可靠地進行氣化的液體材料氣化裝置。具體來講，這種液體材料氣化裝置包括由具備流量控制功能的控制閥構(gòu)成的氣液混合部，該控制閥被供給液體材料和運載氣體，控制液體材料的流量并使液體材料與運載氣體混合；以及與該氣液混合部分開獨立設(shè)置的氣化部，該氣化部通過將經(jīng)由管道導(dǎo)入的來自氣液混合部的氣液混合體從噴嘴部放出后進行減壓而使液體材料氣化并利用所述運載氣體將該氣化生成的氣體導(dǎo)出；以及連接這些氣液混合部和氣化部的管道等(例如、參照專利文獻I)。專利文獻I :日本專利特開2003 - 163168號公報發(fā)明的公開發(fā)明所要解決的技術(shù)問題然而，在以往的結(jié)構(gòu)中，存在的問題是若對將高沸點溶質(zhì)溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料進行氣化，則會發(fā)生在管道中僅低沸點材料溶劑氣化、高沸點溶質(zhì)成為殘渣而將管道堵塞等現(xiàn)象。本發(fā)明就是為了解決上述那樣的技術(shù)問題，其主要目的在于提供一種優(yōu)質(zhì)的液體材料氣化裝置，即使是對將高沸點溶質(zhì)溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料進行氣化，也不會發(fā)生在管道中僅低沸點材料溶劑氣化、高沸點溶質(zhì)成為殘渣而將管道堵塞那樣的不良情況。用于解決技術(shù)問題的方案本發(fā)明的液體材料氣化裝置，其特征在于，包括將液體材料與運載氣體混合而生成氣液混合體的氣液混合部；對來自所述氣液混合部的氣液混合體進行氣化、利用所述運載氣體將該氣化生成的氣體導(dǎo)出到外部的加熱型的氣化部；以及連接所述氣液混合部和所述氣化部、內(nèi)部具有所述氣液混合體的流道的連接部；以及將所述連接部冷卻的連接部冷卻部。其中，作為特別能確認本發(fā)明的液體材料氣化裝置的效果的“液體材料”，是將具有不同沸點的多種材料混合而成的液體狀材料，例如可以列舉有將高沸點溶質(zhì)溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料。當然，使用該液體材料氣化裝置也能氣化其他液體材料(例如，由單一成份構(gòu)成的液體材料、將具有相同沸點的多種材料混合而成的液體材料等)。另外，液體材料的生成方法可以是任意的方法，例如將固體溶解于液體而成的方法、將液體相互間混合而成的方法等。采用這種裝置，由于連接部冷卻部將連接部冷卻，能減少氣化部的熱向氣液混合部傳熱，能使通過連接部內(nèi)的流道的氣液混合體受到該熱能的影響變小。因此，例如即使是對將高沸點溶質(zhì)溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料進行氣化，也能防止在管道和氣液混合部內(nèi)的液體流量控制用的隔膜中，僅低沸點材料溶劑氣化、高沸點溶質(zhì)成為殘渣而將連接部的內(nèi)部流道和隔膜堵塞那樣的不良現(xiàn)象。S卩，可提供優(yōu)質(zhì)的液體材料氣化裝置，即使在對由具有不同沸點的多種材料構(gòu)成的液體材料進行氣化的場合也能防止產(chǎn)生殘渣并能良好地進行氣化。為了獲取更高的防止殘渣發(fā)生效果，最好是所述連接部冷卻部對所述連接部的大致整體進行冷卻。即使所述氣化部加熱保溫到約300度左右，也能通過連接部冷卻部的作用將氣液混合部保持在約60度左右，因此，不僅能確保高溫型氣化部的功能，而且能良好地防止產(chǎn)生殘渣。作為本發(fā)明的連接部冷卻部的具體形態(tài)，可列舉有所述連接部冷卻部具有接受冷卻氣體的供給并安裝于所述連接部的一個或多個連接部冷卻翼片的結(jié)構(gòu)。采用這種結(jié)構(gòu)，不僅結(jié)構(gòu)簡單，而且能獲得高冷卻效果，能良好地防止產(chǎn)生殘渣那樣的不良現(xiàn)象。此時，若將所述連接部冷卻翼片配置在冷卻箱內(nèi)，該冷卻箱具有將所述冷卻氣體導(dǎo)入內(nèi)部的導(dǎo)入口和將冷卻使用后的冷卻氣體向外部導(dǎo)出的導(dǎo)出口，則能向連接部冷卻翼片有效地供給冷卻氣體，因此，不僅能有效地使連接部冷卻翼片冷卻，而且還能防止所需的冷卻氣體的冷氣泄漏到冷卻箱外部而造成浪費，有助于節(jié)能。如果具備有預(yù)先對所述冷卻氣體進行冷卻的冷卻氣體冷卻部，則可獲得連接部的更高的冷卻效果，能有效地防止上述不良現(xiàn)象。其中，作為所述冷卻氣體冷卻部的最佳形態(tài)，可以列舉有該冷卻氣體冷卻部具有一個或多個冷卻氣體冷卻翼片、以及冷卻氣體冷卻用珀耳帖元件，所述冷卻氣體冷卻用珀耳帖元件的冷卻側(cè)安裝于冷卻氣體的流道而其發(fā)熱側(cè)安裝在所述冷卻氣體冷卻翼片上。作為本發(fā)明的連接部冷卻部的另一具體形態(tài)，可以列舉有該連接部冷卻部具有將冷卻側(cè)安裝在所述連接部的連接部冷卻用珀耳帖元件、以及安裝在該連接部冷卻用珀耳帖元件發(fā)熱側(cè)的一個或多個珀耳帖元件冷卻翼片。發(fā)明效果這樣，本發(fā)明的液體材料氣化裝置，由于連接部冷卻部將連接部冷卻，能減少氣化部的熱向氣液混合部傳熱，能使通過連接部內(nèi)的流道的氣液混合體受到該熱能的影響變小。因此，例如即使是對將高沸點溶質(zhì)溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料進行氣化，也能防止在管道和氣液混合部內(nèi)的液體流量控制用的隔膜中，僅低沸點材料溶劑氣化、高沸點溶質(zhì)成為殘渣而將連接部的內(nèi)部流道和隔膜堵塞那樣的不良現(xiàn)象。S卩，可提供優(yōu)質(zhì)的液體材料氣化裝置，即使在對由具有不同沸點的多種材料構(gòu)成的液體材料進行氣化的場合也能防止產(chǎn)生殘渣并能良好地進行氣化。
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附圖的簡單說明圖1為示意性表示本發(fā)明一實施例的液體材料氣化裝置構(gòu)造剖面的構(gòu)造剖面圖。圖2為同一實施例的主要部分的立體圖。圖3為同一實施例的氣液混合室部分的構(gòu)造剖面圖(使氣液混合室的容積減小 吋)。圖4為同一實施例的氣液混合室部分的構(gòu)造剖面圖(氣液混合室的容積為通常 吋)。圖5為示意性表示本發(fā)明的另一實施例的液體材料氣化裝置構(gòu)造剖面的構(gòu)造剖 面圖。圖6為示意性表示本發(fā)明的又ー實施例的液體材料氣化裝置構(gòu)造剖面的構(gòu)造剖 面圖。圖7為示意性表示本發(fā)明的又ー實施例的液體材料氣化裝置構(gòu)造剖面的構(gòu)造剖 面圖。實現(xiàn)本發(fā)明的最佳方式下面參照


本發(fā)明的ー實施例。本實施例的液體材料氣化裝置A如圖1、圖2所示，包括將液體材料LM與運載氣 體〔6混合而生成氣液混合體6し的氣液混合部1 ；對來自所述氣液混合部1的氣液混合體 GL進行氣化、利用所述運載氣體CG將該氣化了的氣體導(dǎo)出到外部的加熱型的氣化部2 ；連 接所述氣液混合部1和所述氣化部2、內(nèi)部具有所述氣液混合體GL等流道的連接部3 ；以及 使所述連接部3冷卻的連接部冷卻部4。以下，具體說明各部分。氣液混合部1包括內(nèi)部具有不同的三個流道Ia Ic的大致長方體形狀的本體 塊11 ；設(shè)置在該本體塊11的上面?zhèn)鹊牧髁靠刂撇?2;以及形成于由這些本體塊11和流量 控制部12相夾而成的空間的氣液混合室13。本體塊11由不銹鋼等之類的、富有耐熱性和耐腐蝕性的金屬材料所構(gòu)成，由設(shè)在 所述三個流道Ia Ic下端側(cè)的加熱器1111進行加熱。 三個流道Ia Ic包括將液體材料LM導(dǎo)入所述氣液混合室13的液體材料導(dǎo)入 通道Ia ；將運載氣體CG導(dǎo)入所述氣液混合室13的運載氣體導(dǎo)入通道Ib ；以及將由所述氣 液混合室13生成的氣液混合體6し導(dǎo)出的氣液混合體導(dǎo)出通道lc。如圖2等所示，液體材料導(dǎo)入通道Ia具有沿水平方向延伸的液體材料導(dǎo)入通道水 平部1&1、以及大致直角狀地立起在該液體材料導(dǎo)入通道水平部Ial的氣液混合室13側(cè)的 液體材料導(dǎo)入通道立起部じ2，側(cè)面看大致呈し字形狀。本實施例中，使該液體材料導(dǎo)入通 道水平部Ial的直徑與液體材料導(dǎo)入通道立起部la2的直徑大體ー致。如圖2等所示，運載氣體導(dǎo)入通道Ib具有沿水平方向延伸的運載氣體導(dǎo)入通道水 平部讓1、以及大致直角狀地立起在該運載氣體導(dǎo)入通道水平部Ibl的氣液混合室13側(cè)的 運載氣體導(dǎo)入通道立起部讓2，側(cè)面看大致呈し字形狀。本實施例中，使該運載氣體導(dǎo)入通 道水平部Ibl的直徑大于運載氣體導(dǎo)入通道立起部lb2的直徑。如圖2等所示，氣液混合體導(dǎo)出通道Ic具有沿水平方向延伸的氣液混合體導(dǎo)出通 道水平部101、以及大致直角狀地立起在該氣液混合體導(dǎo)出通道水平部Icl的氣液混合室 13側(cè)的氣液混合體導(dǎo)出通道立起部102，側(cè)面看大致呈し字形狀。本實施例中，使該氣液混合體導(dǎo)出通道水平部Icl的直徑與氣液混合體導(dǎo)出通道立起部lc2的直徑大體一致。如圖3、圖4等所示，流量控制部12包括配置在覆蓋本體塊11的凹部131的位置上的薄型圓板狀的隔膜121 ;設(shè)在該隔膜121中心部的大致圓柱狀的軸部120 ;通過圓球12x與該軸部120的上端部抵接的壓電驅(qū)動器122 ;以及常態(tài)時向上方對所述軸部120施力的施力構(gòu)件123，將這些各部分收容在閥體124a的內(nèi)部以及立設(shè)于該閥體124a上部的大致筒狀的套殼124b的內(nèi)部。另外，本實施例中，閥體124a通過襯墊SP和O形環(huán)OR安裝在本體塊11上。并且，在本實施例中，當隔膜121通過軸部120受到壓電驅(qū)動器122向下方的按壓力(大于施力構(gòu)件123的施力的按壓力)時，隔膜121向下方變位而突出，從而減小形成于隔膜121與閥座132之間的氣液混合室13內(nèi)的容積，同時，軸部120的下端面120x將液體材料導(dǎo)入通道立起部la2的開口封閉(參照圖3)，反之，當沒有受到按壓力時，則隔膜121和軸部120的下端面120x被保持在與閥座132分離的位置(相隔有襯墊SP的厚度)，能適當?shù)卮_保所述氣液混合室13內(nèi)的容積(參照圖4)。氣液混合室13形成于凹部131以及閥座132與后述的流量控制部12的隔膜121的下端面120x相夾的空間中，所述凹部131由本體塊11的上表面呈大致盤狀凹陷而成，所述閥座132配置于該凹部131的中心并設(shè)置在比所述凹部131的底面位置高的位置上,俯視大致呈圓形(參照圖4)。并且，凹部131設(shè)有液體材料導(dǎo)入通道立起部la2的開口。在該閥座132上設(shè)置有俯視大致呈橢圓形的混合槽132m。又，在該混合槽132m內(nèi)，不僅具有運載氣體導(dǎo)入通道立起部lb2的開口，而且還有氣液混合體導(dǎo)出通道立起部lc2的開口。氣化部2包括預(yù)熱塊21、設(shè)于該預(yù)熱塊21的與氣液混合部I相反側(cè)的氣化塊22、設(shè)于所述預(yù)熱塊21的大致中央且貫通該預(yù)熱塊21厚度方向的氣體導(dǎo)入通道23、設(shè)于所述氣化塊22的大致中央且貫通該氣化塊22厚度方向的氣體導(dǎo)出通道24、以及設(shè)于這些氣體導(dǎo)入通道23與氣體導(dǎo)出通道24的連接部分上的噴嘴部25。預(yù)熱塊21由鋁等之類的、富有熱傳導(dǎo)性的金屬材料而形成。氣化塊22由不銹鋼等之類的、富有耐熱性和耐腐蝕性的金屬材料所構(gòu)成。并且，在該氣化塊22中內(nèi)裝有加熱器(未圖示)。利用該加熱器對包含噴嘴部25在內(nèi)的氣化塊22整體進行加熱保溫，使得其溫度比所述本體塊11的加熱保溫溫度高得多(例如300度左右)。氣體導(dǎo)入通道23利用后述的管構(gòu)件P的內(nèi)部流道而形成。氣體導(dǎo)出通道24是將噴嘴部25側(cè)的端部側(cè)作成圓錐狀的大致直管形狀的構(gòu)件。本實施例中，該氣體導(dǎo)出通道24的外徑設(shè)定成大于氣體導(dǎo)入通道23的外徑。又，該氣體導(dǎo)出通道24的下游側(cè)與通向半導(dǎo)體制造裝置的管路(未圖示)相連。噴嘴部25的直徑和長度比所述氣體導(dǎo)入通道23及所述氣體導(dǎo)出通道24的直徑和長度小得多，例如，直徑為1.0mm以下，長度為I. Omm左右。在該噴嘴部25中，雖然流動有經(jīng)由氣體導(dǎo)入通道23而被導(dǎo)入的氣液混合體GL，但此時，包含在氣液混合體GL中的液體材料LM經(jīng)減壓而被氣化，該氣化所生成的氣體與運載氣體CG混合后成為了混合氣體KG。連接部3具有內(nèi)部流道31，該內(nèi)部流道31用于將來自所述氣液混合體導(dǎo)出通道Ic的氣液混合體GL和運載氣體CG導(dǎo)入流道內(nèi)部，再向氣化部2的氣體導(dǎo)入通道23導(dǎo)出。本實施例中，該連接部3的內(nèi)部流道31、所述氣液混合部I的氣液混合體導(dǎo)出通道水平部Icl和所述氣化部2的氣體導(dǎo)入通道23是利用共同的管構(gòu)件P的內(nèi)部流道而形成的。連接部冷卻部4具有接受來自外部的冷卻氣體CL的供給、并安裝在所述連接部3上的多個連接部冷卻翼片41，是「強制氣冷方式」的冷卻部件。各自的連接部冷卻翼片41使用相同的薄板狀結(jié)構(gòu)。又，將這些連接部冷卻翼片41隔開規(guī)定的間隔并排配置，以便不妨礙冷卻氣體CL的流動。并且，將這些多個的連接部冷卻翼片41配置在冷卻箱42內(nèi)，該冷卻箱42具有將冷卻氣體CL導(dǎo)入內(nèi)部的導(dǎo)入口 421以及將冷卻用的冷卻氣體CL導(dǎo)出外部的導(dǎo)出口 422。下面說明上述構(gòu)成的液體材料氣化裝置A的使用方法。首先，經(jīng)由液體材料導(dǎo)入通道Ia流過來的液體材料LM其流入混合槽132m的流量受到由壓電驅(qū)動器122驅(qū)動的軸部120的下端面120x的控制而被導(dǎo)入，而運載氣體CG經(jīng)由運載氣體導(dǎo)入通道Ib而被導(dǎo)入所述混合槽132m內(nèi)。接著，這些液體材料LM和運載氣體CG在混合槽132m內(nèi)混合后作為氣液混合體GL被導(dǎo)出到氣液混合體導(dǎo)出通道Ic。該氣液混合體GL再經(jīng)由連接部3的內(nèi)部流道31而到達氣化部2。此時，連接部3被連接部冷卻部4冷卻。由此可減少氣化部2的熱向氣液混合部I傳熱，能使通過連接部3的內(nèi)部流道31等的氣液混合體GL受到該熱能的影響變小。具體來講，當氣化部2的熱達到約300度時，若沒有連接部冷卻部4，則氣液混合部I的溫度約為100度左右，而有連接部冷卻部4時，溫度可控制在約60度左右。因此，例如即使是對將高沸點溶質(zhì)溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料LM進行氣化，也不會發(fā)生在氣液混合部I的氣液混合體導(dǎo)出通道水平部lcl、連接部3的內(nèi)部流道31、氣化部2的氣體導(dǎo)入通道23、或者在氣液混合部I內(nèi)的液體流量控制用的隔膜121中，僅低沸點材料溶劑氣化、高沸點溶質(zhì)成為殘渣而將連接部3的內(nèi)部流道和隔膜121堵塞那樣的不良現(xiàn)象。這樣，被導(dǎo)入至氣化部2的氣體導(dǎo)入通道23中的氣液混合體GL若進一步導(dǎo)入噴嘴部25，則氣液混合體GL中所含有的液體材料LM在該噴嘴部25處受到減壓而被氣化。然后，該氣化所生成的氣體與運載氣體CG混合后成為混合氣體KG而被導(dǎo)出外部。因此，采用這種液體材料氣化裝置A，由于連接部冷卻部4冷卻連接部3，因此能減少氣化部2的熱向氣液混合部I傳熱，能使通過連接部3內(nèi)的流道的氣液混合體GL受到該熱能的影響變小。因此，例如即使是對將高沸點溶質(zhì)溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料LM進行氣化，也能防止在氣液混合部I的氣液混合體導(dǎo)出通道水平部lcl、連接部3的內(nèi)部流道31、氣化部2的氣體導(dǎo)入通道23、或者在氣液混合部I內(nèi)的液體流量控制用的隔膜121中，僅低沸點材料溶劑氣化、高沸點溶質(zhì)成為殘渣而將各流道和隔膜121堵塞那樣的不良現(xiàn)象。S卩，可提供優(yōu)質(zhì)的液體材料氣化裝置A，即使在對由具有不同沸點的多種材料構(gòu)成的液體材料LM進行氣化的場合也能防止產(chǎn)生殘渣并能良好地進行氣化。所述連接部冷卻部4不僅對所述連接部3的大致整體進行冷卻，該連接部冷卻部4還接受冷卻氣體CL的供給并具有安裝于所述連接部3的多個連接部冷卻翼片41，因此，即使將所述氣化部2加熱保溫到約300度左右，也能通過連接部冷卻部4的作用將氣液混合部I保持在約60度左右，由此，不僅結(jié)構(gòu)簡單，而且能確保高溫型氣化部2的功能，又能利用連接部冷卻部4獲得高的冷卻效果，可良好地防止產(chǎn)生殘渣那樣的不良現(xiàn)象。另外，本發(fā)明不限定于上述實施例。例如，也可以作成具有對連接部冷卻翼片41冷卻用的冷卻氣體CL預(yù)先進行冷卻的冷卻氣體冷卻部43那樣的形態(tài)。具體來講，可以列舉有如圖5所示那樣的例子，所述冷卻氣體冷卻部43包括多個冷卻氣體冷卻翼片431 ；以及將冷卻側(cè)安裝于冷卻氣體CL的流道而將發(fā)熱側(cè)安裝在所述冷卻氣體冷卻翼片431上而構(gòu)成的冷卻氣體冷卻用珀耳帖元件432。采用這種結(jié)構(gòu)，可獲得連接部3的更高的冷卻效果，更加有效地防止上述不良現(xiàn)象。又，也可作成圖6所示那樣的形態(tài)，所述連接部冷卻部4包括將冷卻側(cè)安裝在連接部3上的連接部冷卻用珀耳帖元件47 ;以及安裝在該連接部冷卻用珀耳帖元件47的發(fā)熱側(cè)上的多個珀耳帖元件冷卻翼片48。采用這種結(jié)構(gòu)，能直接、積極且能動地對連接部3進行冷卻，能良好地防止產(chǎn)生殘渣那樣的不良現(xiàn)象。又，也可采用圖7所示那樣的實施例，將液體材料氣化裝置A的結(jié)構(gòu)作成從上方開始按照氣液混合部I、安裝有連接部冷卻部4的連接部3、氣化部2的順序沿垂直方向并排配置的結(jié)構(gòu)。采用這種結(jié)構(gòu)，即使是氣化部2的噴嘴部25中殘留液體材料LM的場合，該液體材料LM也因重力而落下，因此可防止該噴嘴部25被堵塞那樣的不良現(xiàn)象。并且，連接部冷卻部的冷卻方式不限定于本實施例，例如也可根據(jù)不同的實施形態(tài)采取合適的冷卻方式，例如采用使用冷卻用液體的水冷方式。又，為了防止供給到了氣液混合室的液體材料向運載氣體導(dǎo)入通道倒流，還可以對上述實施例進一步設(shè)置“止回噴嘴”。作為這種止回噴嘴的具體形態(tài)，例如可以列舉有日本專利特開2003 - 273025所記載的防止倒流用噴嘴部(第3 4頁、圖2)。但是，例如當氣體導(dǎo)出通道24內(nèi)是中空的場合，如果通道內(nèi)的壓力低，則混合氣體KG的氣體密度變薄而分子間距離變大。因而難以傳遞熱量，不能良好地將混合氣體KG導(dǎo)出外部，即存在有氣化發(fā)生障礙的現(xiàn)象。為此，通過在氣體導(dǎo)出通道24內(nèi)配置未圖示的填充材料，即使通道內(nèi)的壓力低，也能容易地傳遞熱量，能良好地進行氣化。作為這種填充材料的材質(zhì)，例如可采用熱傳導(dǎo)性優(yōu)良的鈦等金屬。又，填充材料既可以將多個粒狀(球狀)材料配置在通道內(nèi)，也可在通道內(nèi)配置一個或多個將平板扭轉(zhuǎn)成螺旋形狀的材料(所謂的靜態(tài)混合器)。相比于粒狀的填充材料，螺旋形狀的填充材料配置在通道內(nèi)時的壓力損失少，故能更好地進行氣化。又，在噴嘴部25的后段也可設(shè)置未圖示的過濾器。通過設(shè)置過濾器，即使產(chǎn)生了殘渣也能將其捕獲。并且，即使氣液混合體GL中殘留有未完全氣化的液體由此而產(chǎn)生了霧氣也能將其除去。又，可以將氣液混合部I、氣化部2、連接部3和連接部冷卻部4作成各自能夠分解的結(jié)構(gòu)。由此可容易地進行各部分的維護保養(yǎng)。除此之外，有關(guān)各部分的具體結(jié)構(gòu)也不限定于上述實施例，在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)可作各種變更。
工業(yè)實用性具有以上這種構(gòu)成的本發(fā)明的液體材料氣化裝置，即使在對由具有不同沸點的多種材料而構(gòu)成的液體材料進行氣化的場合，也能防止產(chǎn)生殘渣，能良好地進行氣化，因此，能夠適用為例如對半導(dǎo)體制造中所用的各種液體材料進行氣化用的液體材料氣化裝置。
權(quán)利要求
1.一種液體材料氣化裝置，其特征在于，包括氣液混合部，其混合液體材料和運載氣體生成氣液混合體；加熱型氣化部，其對來自所述氣液混合部的氣液混合體進行氣化、利用所述運載氣體將該氣化生成的氣體向外部導(dǎo)出，所述氣化部構(gòu)成為在其通道內(nèi)配置有一個或多個扭轉(zhuǎn)成螺旋形狀的平板。
2.如權(quán)利要求I所述的液體材料氣化裝置，其特征在于，所述氣化部的后段設(shè)有過濾器。
3.如權(quán)利要求I所述的液體材料氣化裝置，其特征在于，所述氣化部包括氣體導(dǎo)入通道、氣體導(dǎo)出通道、設(shè)于該氣體導(dǎo)入通道和氣體導(dǎo)出通道的連接部分的噴嘴部。
4.如權(quán)利要求3所述的液體材料氣化裝置，其特征在于，在比所述噴嘴部更后方設(shè)置有過濾器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液體材料氣化裝置，包括氣液混合部，其混合液體材料和運載氣體生成氣液混合體；加熱型氣化部，其對來自所述氣液混合部的氣液混合體進行氣化、利用所述運載氣體將該氣化生成的氣體導(dǎo)出到外部，所述氣化部構(gòu)成為在其通道內(nèi)配置有一個或多個扭轉(zhuǎn)成螺旋形狀的平板。
文檔編號C23C16/448GK102912319SQ20121035286
公開日2013年2月6日 申請日期2007年4月4日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月5日
發(fā)明者西川一朗, 河野武志 申請人:株式會社堀場Stec