專利名稱：玻璃基板層疊工具、玻璃基板的端面研磨方法及制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃基板層疊工具、使用了該工具的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的端面研磨方法及使用了該端面研磨方法的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法。
背景技術(shù)：
磁盤記錄裝置等所使用的圓盤形狀的磁盤以往使用鋁合金基板。但是近年來，隨著高密度記錄化的要求，比鋁合金基板硬且平面性和平滑性優(yōu)異的玻璃基板成為主流。磁記錄介質(zhì)用玻璃基板在其制造工序中，有對玻璃基板的平面及端面(內(nèi)外周面)實施磨削、研磨等加工的加工工序。而且，作為提高在對玻璃基板的端面進行研磨時的作業(yè)效率的方法，使用形成將多片玻璃基板在面方向上重疊而成的玻璃基板層疊體并同時對多個玻璃基板的端面進行研磨的方法。玻璃基板的端面研磨對外周面和內(nèi)周面兩方進行。因此,如上所述對玻璃基板層疊體進行研磨時，以往，暫時在外周端面研磨用工具上層疊玻璃基板，進行外周端面研磨，之后，暫時將玻璃基板層疊體解體，在內(nèi)周端面研磨用工具上再次層疊玻璃基板，然后進行內(nèi)周端面研磨。然而，根據(jù)該方法，在外周端面研磨和內(nèi)周端面研磨的工序之間，需要將玻璃層疊體解體，存在再次層疊的操作時的操作失誤、或當(dāng)再次層疊玻璃基板時由于在玻璃基板之間夾有異物而對玻璃基板造成損傷的情況。另外，由于工序數(shù)量較多，生產(chǎn)率上也存在問題。為了解決該問題，對無需將玻璃基板層疊體解體即可連續(xù)進行外周端面研磨和內(nèi)周端面研磨的工具進行了研究(例如專利文獻I)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1:日本國特開2003-159639號公報但是，在專利文獻I中，通過螺栓固定將玻璃基板沿著上下設(shè)置的板，成為夾住玻璃基板的結(jié)構(gòu)，因此存在要花費工夫裝配裝置并容易產(chǎn)生裝配誤差的問題。而且，由于部件較多，在維護性上也存在問題。而且，在專利文獻I中，當(dāng)對玻璃基板層疊體的外端部進行研磨時，將第一板接觸玻璃基板層疊體的兩端部，通過插通玻璃基板層疊體的內(nèi)孔的第一板連結(jié)件，固定第一板而夾緊玻璃基板。然而，由于第一板連結(jié)件的直徑比玻璃基板層疊體的內(nèi)孔的直徑小，因此在研磨工序中，玻璃基板有可能錯位。此時，也有可能產(chǎn)生得到的玻璃基板的同心度降低、玻璃基板的圓孔部(內(nèi)周部)或外周部的圓度降低等有關(guān)加工精度的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)具有的問題，其目的在于提供一種玻璃基板層疊工具，能夠提高端面研磨工序中的加工精度、生產(chǎn)率，容易操作，而且，無需將玻璃基板層疊體解體即可進行外周端面研磨和內(nèi)周端面研磨。為了解決上述課題，本發(fā)明提供一種玻璃基板層疊工具，用于將在中心部具有圓孔的圓盤形狀的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板層疊而成的玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內(nèi)周端面研磨，其特征在于，具有軸，所述軸被插入到所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的圓孔，支撐所述玻璃基板層疊體的內(nèi)周端面，進行所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的對位，所述軸具備緊定螺栓嵌合部，能夠在軸的兩端嵌合緊定螺栓；及軸固定部，在軸的周圍支撐玻璃基板層置體。發(fā)明效果本發(fā)明在形成玻璃基板層疊體時通過軸支撐內(nèi)周端面，因此能夠高精度地設(shè)置、固定磁記錄介質(zhì)用玻璃基板(以下也簡稱為“玻璃基板”)。因此，能夠提高加工精度，能夠提高得到的玻璃基板的同心度及圓度。而且，由于部件的件數(shù)較少，因此不易產(chǎn)生裝配誤差，也能夠使維護性提高。而且，即使在對內(nèi)周端面及外周端面進行研磨時，也能夠不將玻璃基板層疊體解體而連續(xù)地進行，因此即使在對兩端面進行研磨時也能夠防止對玻璃基板產(chǎn)生損傷，提高成品率和生產(chǎn)率。


圖1是本發(fā)明所涉及的軸的說明圖。圖2是本發(fā)明所涉及的第一實施方式中的外周端面研磨時的結(jié)構(gòu)說明圖。圖3是本發(fā)明所涉及的第一實施方式中的緊定螺栓的說明圖。圖4是關(guān)于本發(fā)明所涉及的第一實施方式中的內(nèi)周端面研磨工具的說明圖。圖5是關(guān)于本發(fā)明所涉及的第一實施方式中的內(nèi)周端面研磨工具的說明圖。圖6 (A)及6 (B)是關(guān)于本發(fā)明所涉及的第一實施方式中的玻璃基板層疊體的說明圖。附圖標(biāo)記10 軸12軸固定部13緊定螺栓嵌合部25玻璃基板層疊體26緊定螺栓60玻璃基板61 墊片
具體實施例方式以下，參照附圖對用于實施本發(fā)明的方式進行說明，但本發(fā)明并未限定于下述實施方式，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下能夠?qū)ο率鰧嵤┓绞郊右愿鞣N變形及替代。第一實施方式在本實施方式中，對本發(fā)明的玻璃基板層疊工具進行說明。在進行玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內(nèi)周端面研磨時使用的本發(fā)明的玻璃基板層疊工具具有以下結(jié)構(gòu)，其中所述玻璃基板層疊體為將用于磁記錄介質(zhì)的在中心部具有圓孔的圓盤形狀的玻璃基板層疊而成。首先，本發(fā)明的玻璃基板層疊工具具有軸，所述軸被插入到磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的圓孔，支撐所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板層疊體的內(nèi)周端面，進行磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的對位。而且，所述軸分別形成有在軸的兩端嵌合緊定螺栓的緊定螺栓嵌合部、和在軸的周圍支撐玻璃基板層疊體的軸固定部。以下，對上述玻璃基板層疊工具進行說明。圖1表示構(gòu)成本發(fā)明的玻璃基板層疊工具的軸。軸10具有內(nèi)周支撐部(軸部)11、設(shè)置于軸上的軸固定部(玻璃基板層疊體保持部)12及設(shè)置于內(nèi)周支撐部的兩端的緊定螺栓嵌合部13。此處，軸10的材料雖然并未特別限定，但為了在端面研磨工序中保持玻璃基板層疊體，優(yōu)選具有一定的強度。例如，可適宜使用不銹鋼、鋼鐵、鋁等各種金屬，但優(yōu)選不易生銹、具有強度的材料，更優(yōu)選使用不銹鋼。 軸10在存取玻璃基板時或在進行端面研磨工序時，有時與玻璃基板的內(nèi)周部接觸而在其表面產(chǎn)生損傷或發(fā)生變形，成為加工精度降低的原因。為避免這樣的情況，優(yōu)選軸和軸固定部的至少與磁記錄介質(zhì)用玻璃基板接觸的部分通過保護膜進行涂層。特別是更優(yōu)選除了緊定螺栓嵌合部13以外的軸10整體的表面通過保護膜進行涂層。作為保護膜，能夠使用鍍硬鉻等的金屬(電鍍)膜、氧化鉻等陶瓷膜、類金剛石鍍膜(以下簡稱為DLC膜)等，但從膜的強度和膜厚控制的難易性來看特別優(yōu)選使用DLC膜。此外，對保護膜的膜厚并未特別限定，能夠考慮膜的強度、耐磨損性、部件的使用頻率或成本等而進行選擇，但從該目的來看優(yōu)選較厚的，例如當(dāng)選擇DLC膜時優(yōu)選膜厚為2 μ m以上，更優(yōu)選為4 μ m以上。對于軸的內(nèi)周支撐部11的粗細，優(yōu)選與玻璃基板層疊體的內(nèi)徑大致相同。這是由于，玻璃基板層疊體被層疊、支撐于內(nèi)周支撐部，所以通過減小內(nèi)周支撐部與玻璃基板層疊體的內(nèi)周部之間的間隔，使得玻璃基板的定位精度提高，加工精度提高。然而，當(dāng)玻璃基板的內(nèi)周部與內(nèi)周支撐部的間隔過小時，在裝卸玻璃基板層疊體時，有可能給玻璃基板帶來損傷，因此優(yōu)選考慮在裝卸玻璃基板時的操作精度等來選擇該間隔。此外，此處所說的軸的軸部的直徑在該表面上具有保護膜的情況下也包含保護膜的厚度在內(nèi)。而且，構(gòu)成軸的軸固定部12是固定于軸的軸上的具有圓柱形狀的部件，具有支撐被插入到內(nèi)周支撐部11的玻璃基板層疊體的下端部的作用。因此，優(yōu)選軸固定部12的外徑以比構(gòu)成玻璃基板層疊體的玻璃基板的內(nèi)徑大且比玻璃基板的外徑小的方式構(gòu)成。而且，優(yōu)選軸固定部12的上表面即支撐玻璃基板層疊體一側(cè)的面的至少一部分以與內(nèi)周支撐部11垂直的方式構(gòu)成。通過具有該結(jié)構(gòu)，能夠牢固地固定玻璃基板層疊體，因此能夠在移動時或在研磨工序中防止玻璃基板層疊體損傷，提高加工精度。而且，優(yōu)選軸固定部12以能夠在軸的軸上調(diào)整其位置的方式構(gòu)成。這是由于通過軸固定部的位置發(fā)生變化，而能夠與各種厚度的玻璃基板層疊體25相對應(yīng)，從而提高通用性。在軸10的兩端設(shè)置有緊定螺栓嵌合部13。緊定螺栓嵌合部13是為了嵌合、安裝在進行玻璃基板層疊體的外周研磨時所使用的緊定螺栓而設(shè)置的部件，具有與緊定螺栓的形狀相對應(yīng)的凹部的形狀。
能夠使用具有以上說明的軸的玻璃基板層疊工具進行外周端面研磨和內(nèi)周端面研磨。首先，對外周端面研磨的情況進行說明。玻璃基板層疊體的外周端面研磨能夠在軸的緊定螺栓嵌合部安裝緊定螺栓而進行。使用圖2對其具體的結(jié)構(gòu)進行說明。在圖2中，內(nèi)周支撐部11被插入到在其兩端配置有墊片2(Γ22的玻璃基板層疊體25的圓孔中，支撐玻璃基板層疊體25的內(nèi)周部。而且，玻璃基板層疊體25在其下端部經(jīng)由墊片22由軸固定部12支撐，進而經(jīng)由墊片23、24由緊定螺栓支撐，在與在另一側(cè)的上端部設(shè)置的緊定螺栓26之間從上下方向夾緊而固定。因此，在外周端面研磨工序的期間，玻璃基板層疊體的位置不會位移而能夠準(zhǔn)確保持，能夠提高加工精度。 此處，對于緊定螺栓26，若以能夠從上下方向垂直地保持玻璃基板層疊體25并能夠設(shè)置在外周端面研磨工具的方式構(gòu)成則沒有特別限定。例如，能夠為如圖2、圖3所示的形狀。使用放大了緊定螺栓部的圖3對該結(jié)構(gòu)進行說明。本發(fā)明所使用的緊定螺栓26優(yōu)選具有螺栓部31及未與螺栓部31接合的墊圈部32。螺栓部31以貫通設(shè)置于墊圈部32的中心的孔的方式構(gòu)成，具有大致棒形狀。螺栓部31具有在外周端面研磨工具上設(shè)置玻璃基板層疊體的作用和將玻璃基板層疊體從上下方向夾緊而固定的作用。因此，螺栓部31的形狀是一方的端部以能夠與外周端面研磨工具連接的方式構(gòu)成，而另一方的端部以能夠固定于軸的方式構(gòu)成。此處，在緊定螺栓的一方的端部即固定在螺栓部31的軸上的一側(cè)的端部上凸出設(shè)置(形成)有軸嵌合部，所述軸嵌合部優(yōu)選從前端部開始依次具有未形成螺紋牙的凸型圓筒部33及螺紋部34。此時，軸的緊定螺栓嵌合部形成與軸嵌合部的形狀相對應(yīng)的凹形狀即凹形圓筒部及螺紋部，所述凸型圓筒部33與所述凹型圓筒部以相互嵌合的方式構(gòu)成。由于緊定螺栓的軸嵌合部和軸的緊定螺栓嵌合部具有該結(jié)構(gòu)，因此緊定螺栓的前端部的凹型圓筒部和軸的緊定螺栓嵌合部的對應(yīng)的凹部(凹型圓筒部)成為所謂的套筒結(jié)構(gòu)(印籠構(gòu)造)(圓筒嵌合)。因此，當(dāng)在軸上安裝緊定螺栓時，能夠不偏心地以準(zhǔn)確的位置和角度固定，能夠使加工精度提高。墊圈部32由于是未與螺栓部31接合的部件，因此具有在固定螺栓部31時防止其旋轉(zhuǎn)向玻璃基板層疊體傳播的作用。而且，墊圈部32優(yōu)選具有與玻璃基板層疊體接觸的面35的面積比與螺栓部31接觸的面36的面積大的形狀。通過具有該形狀，能夠分散給予玻璃基板層疊體的壓力，從而在較大的范圍支撐玻璃基板層疊體。而且，對于玻璃基板層疊體25，可以僅層疊玻璃基板，但優(yōu)選交替層疊玻璃基板和墊片。通過在玻璃基板之間配置墊片，能夠防止對玻璃基板的主平面產(chǎn)生損傷。此外，對于墊片的形狀并沒有特別限定，只要是不妨礙研磨的形狀即可，例如能夠設(shè)為與玻璃基板相同的圓盤形狀。而且，在進行外周端面研磨時，優(yōu)選至少墊片的外徑比玻璃基板的外徑小。將具有以上結(jié)構(gòu)的玻璃基板層疊工具設(shè)置并固定于外周端面研磨裝置，將研磨刷或研磨墊貼在玻璃基板層疊體25的外周部，一邊供給含有磨粒的研磨液，一邊進行外周端面的研磨。接著對內(nèi)周端面研磨的情況進行說明。
作為在進行內(nèi)周端面研磨時所使用的玻璃基板層疊工具，除了所述軸，在進行玻璃基板層疊體的內(nèi)周端面研磨時，還具有能夠?qū)⒉ＡЩ鍖盈B體固定于內(nèi)部的結(jié)構(gòu)即內(nèi)周端面研磨工具。內(nèi)周端面研磨工具能夠?qū)⒉ＡЩ鍖盈B體固定于內(nèi)部，在將玻璃基板層疊體固定于內(nèi)周端面研磨工具的內(nèi)部后，只要是能夠抽出軸的工具，就無需限定其形狀、結(jié)構(gòu)而使用。例如，作為內(nèi)周端面研磨工具，可列舉具有無需將玻璃基板層疊體解體即可插入層疊而固定有玻璃基板層疊體的軸的開口部、固定玻璃基板層疊體的固定部件、及能夠取出軸的軸取出口的工具。此處，開口部優(yōu)選具有與構(gòu)成玻璃基板層疊體的玻璃基板的外徑大致相同的開口直徑。當(dāng)玻璃基板的外徑與開口部相同時，在插入玻璃基板層疊體時有可能受到損傷，因此考慮到操作精度等，優(yōu)選上述開口直徑設(shè)有將玻璃基板層疊體插入到工具時不受損傷的程度的間隙。作為固定部件，可列舉通過從玻璃基板層疊體的上下表面夾緊而進行固定的部件。例如如下方法通過螺栓等從上下方向按壓設(shè)置于玻璃基板層疊體的上下表面的固定用板，從而按壓玻璃基板層疊體。然而，為了對內(nèi)周端面進行研磨，優(yōu)選所述固定用板的與玻璃基板層疊體的圓孔部相對應(yīng)的部分具有開口部。該開口部也能夠兼作軸取出口。而且，優(yōu)選在夾緊時，通過對玻璃基板層疊體的上下表面的玻璃基板的大致整個表面進行按壓而使壓力分散，從而防止玻璃基板的損傷。軸取出口優(yōu)選具有與軸中外徑最大的部分即軸固定部的外徑大致相同的開口直徑。這是因為，通過具有該結(jié)構(gòu)，能夠在內(nèi)周端面研磨工具上高精度地固定軸及玻璃基板層疊體后取出軸。使用圖4、圖5對內(nèi)周端面研磨工具的具體的結(jié)構(gòu)例進行說明，但并未限定于該結(jié)構(gòu)。此處，圖4是內(nèi)周端面研磨工具的立體圖，圖5是表示將保持、固定有玻璃基板層疊體的軸設(shè)置于內(nèi)部時的剖視圖。如圖4所示，內(nèi)周端面研磨工具40優(yōu)選包括在上表面具有開口部的保持器主體41、其上側(cè)保持部42、定位部43。保持器主體41由下框部44、側(cè)框部45及上框部46構(gòu)成。下框部44能夠垂直地支撐玻璃基板層疊體，以能從其底面抽出軸的方式構(gòu)成。例如，如圖5所示，設(shè)有能夠固定并抽出軸10的軸固定部12的貫通孔。而且，對于與下框部的上表面的玻璃基板層疊體的下端部接觸、支撐的部分，在圖5中配置墊片，但也能夠設(shè)置固定于下框部的由緩沖部件等構(gòu)成的玻璃基板層疊體下端部支撐部。而且，對于下框部，能夠設(shè)置在研磨時用于與研磨裝置固定的機構(gòu)、部件。例如，也能夠設(shè)置用于設(shè)置底板的螺栓孔或嵌合部等，其中，所述底板用于與研磨裝置連接。此處，優(yōu)選以設(shè)置于下框部并固定軸10的軸固定部12的貫通孔與軸10的軸固定部12嵌合的方式(以軸固定部12與貫通孔的間隔(間隙)減小的方式)，即貫通孔與軸固定部12形成套筒結(jié)構(gòu)。通過具有該結(jié)構(gòu)，能夠使軸不偏心地垂直固定于內(nèi)周端面研磨工具40，能夠使加工精度提高。側(cè)框部45將下框部44與上框部46之間結(jié)合，具有圓筒形狀以覆蓋玻璃基板層疊體的最外周面。而且，在內(nèi)部具有收納玻璃基板層疊體的收納室。而且，側(cè)框部優(yōu)選設(shè)置開口部47，以能夠從外側(cè)目視收納于收納室的玻璃基板層疊體。該開口部47作為用于排出在研磨工序時所使用的研磨液的排出孔而發(fā)揮功能，并且，也有助于裝置的輕量化。上框部46由環(huán)狀部件構(gòu)成，以能夠在下表面固定側(cè)框部的環(huán)狀的上端部的方式構(gòu)成。而且，在內(nèi)周形成有直徑比玻璃基板的外徑更大的圓形開口，以能夠插入或取出玻璃基板層疊體的方式構(gòu)成。而且，下框部44、側(cè)框部45、上框部46被固定而裝配于保持器主體41。這些部件的固定單元并未限定，也能夠通過螺紋等進行固定，但為了防止螺紋的松弛等而引起的加工精度的降低，優(yōu)選通過焊接進行固定。上側(cè)保持部42安裝于保持器主體41的上表面部，通過在與下框部44之間夾住配置于內(nèi)部的玻璃基板層疊體來固定、保持所述玻璃基板層疊體。上側(cè)保持部42在其中心沿軸方向貫通有中央孔48，以能夠在將軸設(shè)置于內(nèi)周端面研磨工具的狀態(tài)下設(shè)置上側(cè)保持部的方式構(gòu)成。對于上側(cè)保持部42的材料，與保持器主體的情況相同，并沒有特別限定，例如，能夠由不銹鋼等金屬形成。而且，上側(cè)保持部42通過在與保持器主體的下框部之間夾住玻璃基板層疊體而固定玻璃基板層疊體，優(yōu)選在與玻璃基板層疊體25之間設(shè)置各種緩沖部件，以避免在固定時對玻璃基板造成損傷。對于將上側(cè)保持部42固定于保持器主體41的方法并未特別限定，只要是能夠在合適的位置高精度地固定的方法，就全都可以采用。例如，如圖4所示，也能夠在上側(cè)保持部42設(shè)置多個螺栓孔49，通過螺栓50從上表面?zhèn)裙潭ㄓ诒３制髦黧w。而且，也能夠在上側(cè)保持部與保持器主體對應(yīng)處攻螺紋，通過將上側(cè)保持部螺入保持器主體進行固定。而且，為了準(zhǔn)確規(guī)定軸的位置，優(yōu)選使用定位部件43。例如定位部件43包括具有被軸的上端插通的軸孔51的圓筒形狀的軸承部52、與軸承部52相比向半徑方向突出的一對臂部53及貫通各臂部的定位銷54。而且，通過在定位部件的軸孔51插通軸10，并使定位銷54插入到設(shè)置于上側(cè)保持部、保持器主體的銷插入孔55、56，能夠準(zhǔn)確規(guī)定軸的位置。通過使用該部件，在將軸固定于內(nèi)周端面研磨工具時，能夠準(zhǔn)確地進行該定位，能夠使加工精度提高。此處，優(yōu)選以定位部件43的軸孔51與軸10嵌合的方式(以在嵌入兩者時間隙減小的方式)，即形成所謂的套筒結(jié)構(gòu)(圓筒嵌合)。通過具有該結(jié)構(gòu)，能夠使軸10不偏心地垂直固定于內(nèi)周端面研磨工具40，能夠使加工精度提高。而且，對于定位銷54和銷插入孔56也優(yōu)選形成套筒結(jié)構(gòu)。通過具有該結(jié)構(gòu)，在將定位部件43安裝于內(nèi)周端面研磨工具40時能夠不偏心地以準(zhǔn)確的位置、角度進行固定，能夠使加工精度提高。而且，對于玻璃基板層疊體25，也在對外周端面研磨的說明中進行了說明，雖然能夠僅層疊玻璃基板，但優(yōu)選交替層疊磁記錄介質(zhì)用玻璃基板和墊片。此外，對于墊片的形狀同樣也并未特別限定，只要是不妨礙研磨的形狀即可，例如能夠設(shè)為與玻璃基板相同的圓盤形狀。而且，在進行內(nèi)周端面研磨時，優(yōu)選至少墊片的內(nèi)徑比玻璃基板的內(nèi)徑大。在具有以上結(jié)構(gòu)的內(nèi)部端面研磨工具40上設(shè)置在所述軸的內(nèi)周支撐部11上層疊的玻璃基板層疊體25，將玻璃基板層疊體固定于內(nèi)周端面研磨工具。此后，能夠抽出所述軸10以便進行內(nèi)周端面研磨工序。
作為用于在內(nèi)部端面研磨工具上固定玻璃基板層疊體而對內(nèi)周端面進行研磨的具體的步驟，例如能夠通過具有以下工序的方法進行。(A)將層疊、固定有玻璃基板層疊體25的軸10通過上框部的圓形開口插入到工件保持器的保持器主體41內(nèi)。此時，利用設(shè)置于保持器主體41的下框部44上的貫通孔對軸的軸固定部12進行固定(軸固定)。此時，優(yōu)選規(guī)定貫通孔、軸固定部12的形狀、尺寸，以在如上所述將軸的軸固定部12插入到設(shè)置于保持器主體41的下框部44上的貫通孔時成為套筒結(jié)構(gòu)。通過上述結(jié)構(gòu)，能夠使軸的軸固定部不偏心而垂直度較高地固定于保持器主體的下框部，能夠使加工精度提聞。(B)在保持器主體的上端安裝墊片21及上側(cè)保持部42、定位部件43，將玻璃基板層疊體固定于保持器內(nèi)。對于定位銷54和銷插入孔56，也優(yōu)選定位銷54、銷插入孔56具有相對應(yīng)的形狀、尺寸，使之成為上述的套筒結(jié)構(gòu)(圓筒嵌合)。通過具有這樣的結(jié)構(gòu)，能夠在將軸10固定于保持器主體41時提高其垂直度，因而能夠提高研磨時的加工精度。對于定位部件的軸孔51和軸10，也優(yōu)選定位部件的軸孔51、軸10成為相對應(yīng)的形狀、尺寸，使之成為如上所述的套筒結(jié)構(gòu)(圓筒嵌合)。通過具有這樣的結(jié)構(gòu)，能夠提高軸10的定位精度，提高軸的垂直度，因而能夠提高研磨時的加工精度。此外，雖然如上所述對優(yōu)選軸的軸固定部12和保持器主體41的貫通孔、定位銷54和插入孔56、定位部件的軸孔51和軸10是所謂的套筒結(jié)構(gòu)的內(nèi)容進行了說明，但在特別要求高加工精度時優(yōu)選三個部分同時具有套筒結(jié)構(gòu)。這是由于，通過具有該結(jié)構(gòu)，能夠更加提高軸的定位精度、垂直度，能夠提高在內(nèi)周端面研磨工具上固定、保持玻璃基板層疊體時的定位精度，提高研磨時的加工精度。(C)從設(shè)置于保持器主體的下框部44上的貫通孔將軸向下方抽出，在(B)工序中使用了定位部件43時將定位部件也卸下。(D)將研磨刷從上方插入到玻璃基板層疊體的中央孔，邊從上方供給研磨液，邊使固定有保持器主體的工作臺與研磨刷旋轉(zhuǎn)，并同時使之在軸方向上做往復(fù)運動，從而進行玻璃基板層疊體25的內(nèi)周端面研磨。通過以上工序，能夠進行內(nèi)周端面的研磨。在研磨結(jié)束后也能夠從設(shè)置于下框部上的貫通孔插入軸10而以玻璃基板層疊體的狀態(tài)取出，也能夠?qū)⒉ＡЩ鍖盈B體解體而單個取出玻璃基板。以上，對使用了本發(fā)明的玻璃基板層疊工具的外周端面研磨的方法和內(nèi)周端面研磨的方法進行了說明，但既能夠僅進行外周端面研磨和內(nèi)周端面研磨中的任意一方，也能夠連續(xù)進行兩個方法的研磨工序。在連續(xù)進行時，只要將完成了外周端面研磨工序或內(nèi)周端面研磨工序的一方的玻璃基板層疊體以固定于軸的狀態(tài)提供給另一方的研磨工序即可。此外，在連續(xù)進行研磨時，玻璃基板層疊體25也能夠僅層疊玻璃基板，但優(yōu)選使用交替層疊玻璃基板和墊片的結(jié)構(gòu)。對于墊片的形狀并未特別限定，只要是不妨礙研磨的形狀即可，例如優(yōu)選設(shè)為與玻璃基板相同的圓盤形狀。此處，使用圖6對玻璃基板層疊體進行說明。圖6 (A)是示意性地表示圖6 (B)的A-A’線上的玻璃基板層疊體的橫向剖視圖，圖6 (B)是表示從圖6 (A)的玻璃基板層疊體的底面?zhèn)扔^察的圖。圖6 (A)中的虛線表示玻璃基板中央的圓孔部。作為墊片，例如如圖6 (B)所示，優(yōu)選使用外徑比磁記錄介質(zhì)用玻璃基板60的外徑小且內(nèi)徑比磁記錄介質(zhì)用玻璃基板60的圓孔直徑大的圓盤形狀的墊片61。該形狀在連續(xù)進行外周端面研磨工序和內(nèi)周端面研磨工序時能夠特別適宜地使用于工序中，但在僅對某一方的端面進行研磨時也能夠使用。之所以將墊片設(shè)為上述那樣的形狀、尺寸，是因為優(yōu)選在通過研磨對玻璃基板的外周端面和內(nèi)周端面進行研磨時，以避免墊片與研磨刷或研磨墊等接觸的方式配置。因此特別優(yōu)選例如如圖6所示，外周側(cè)的玻璃基板和墊片61的間隙a與內(nèi)周側(cè)的玻璃基板和墊片61的間隙b分別至少比進行端面研磨的寬度(余量)大。如以上說明，在本發(fā)明中，在進行外周端面研磨、內(nèi)周端面研磨中的任一方的情況下，由于部件件數(shù)較少，因此都能夠容易地進行研磨，能夠提高生產(chǎn)率。而且，也能夠使工具的維護性比以往提高。特別是在連續(xù)進行外周端面研磨和內(nèi)周端面研磨時無需將玻璃基板層疊體解體即可進行實施，因此能夠使玻璃基板的同心度提高，防止或降低在操作中對玻璃基板的損傷。而且，由于操作比以往的工具容易，所以能夠容易地實現(xiàn)生產(chǎn)率的提高。第二實施方式本實施方式對使用了第一實施方式中已說明的玻璃基板層疊工具的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的端面研磨方法進行說明。具體來說是使用了第一實施方式中已說明的玻璃基板層疊工具的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的外周端面、內(nèi)周端面的研磨方法。在保持有玻璃基板層疊體的軸的緊定螺栓嵌合部上安裝緊定螺栓，對玻璃基板層疊體的外周端面進行研磨。將保持有玻璃基板層疊體的軸固定于內(nèi)周端面研磨工具，在使內(nèi)周端面研磨工具固定(夾持)玻璃基板層疊體后，抽出軸，對玻璃基板層疊體的內(nèi)周端面進行研磨。此處，磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的端面研磨方法也如第一實施方式說明的那樣，并未特別限定對外周端面、內(nèi)周端面的哪一個先進行研磨，但優(yōu)選在進行外周端面研磨后進行內(nèi)周端面研磨。這是由于在對外周端面進行研磨時，向設(shè)置于玻璃基板層疊體的中心部的圓孔部插通軸，固定玻璃基板層疊體，所以有可能對內(nèi)周端面產(chǎn)生損傷。因此，通過在進行外周端面研磨工序后進行內(nèi)周端面研磨工序，即使在進行外周端面研磨工序時對內(nèi)周端面產(chǎn)生損傷的情況下，也能夠去除損傷，因而優(yōu)選以上述順序進行研磨。而且，在這種情況下，玻璃基板層疊體也優(yōu)選如第一實施方式中說明的那樣使用交替層疊有磁記錄介質(zhì)用玻璃基板和墊片的結(jié)構(gòu)。而且，對于墊片也如第一實施方式中說明的那樣，優(yōu)選使用如圖6所示的外徑比磁記錄介質(zhì)用玻璃基板外徑小且內(nèi)徑比磁記錄介質(zhì)用玻璃基板圓孔直徑大的圓盤形狀的墊片。根據(jù)該端面研磨方法，無需將玻璃基板層疊體解體即可連續(xù)實施玻璃基板的外周端面和內(nèi)周端面的研磨，因此能夠使玻璃基板的同心度提高，防止或減小操作中對玻璃基板的損傷。而且，由于操作變得容易，因此容易實現(xiàn)生產(chǎn)率的提高。第三實施方式
在本實施方式中，對磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法進行說明。具體而言，該磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法包括對圓盤形狀的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的內(nèi)周端面及外周端面進行研磨的端面研磨工序；對所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的主平面進行研磨的主平面研磨工序；及所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的清洗工序。而且，所述端面研磨工序是進行第二實施方式中已說明的端面研磨方法的工序。此外，也能夠在端面研磨工序之前設(shè)置將玻璃素基板加工為圓盤形狀的工序(形狀賦予工序)。對于此時使用的玻璃素基板并未特別限定，能夠使用各種玻璃基板，例如，可以是非結(jié)晶玻璃或結(jié)晶玻璃，也可以是在玻璃基板的表層具有強化層的強化玻璃(例如化學(xué)強化玻璃)。而且對于其成形方法也并未限定，能夠使用利用浮法、熔合法、壓力成形法、再拉法來成形后的玻璃基板。對于外周端面研磨工序和內(nèi)周端面研磨工序，能夠采用與第二實施方式中說明的方法相同的方法。對于主平面研磨工序，就是對磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的上下主平面進行研磨加工的工序，例如能夠通過兩面研磨裝置，使用研磨墊和含有磨粒的研磨液作為研磨工具來進行。主平面研磨工序可以只進行一次研磨，也可以進行一次研磨和二次研磨，也可以在二次研磨之后進行三次研磨。清洗工序是對磁記錄介質(zhì)用玻璃基板進行精密清洗并干燥的工序。經(jīng)過這些工序來制造磁記錄介質(zhì)用玻璃基板。而且，在磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的上方形成磁性層等的薄膜來制造磁盤。此外，在上述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板及磁盤的制造工序中，也可以在各工序間實施玻璃基板清洗(工序間清洗)或玻璃基板表面的蝕刻(工序間蝕刻)。而且，也可以實施主平面磨削工序，該主平面磨削工序?qū)ΣＡЩ宓纳舷聝芍髌矫孢M行磨削加工，調(diào)整玻璃基板的平面度或板厚。磨削是通過使用游離磨粒進行磨削的游離磨粒磨削或使用固定磨粒工具進行磨削的固定磨粒磨削而進行。主平面磨削工序只要在主平面研磨工序之前實施即可，可以在形狀賦予工序之前或之后、外周端面研磨工序之前或之后、內(nèi)周端面研磨工序之前或之后的任一時間實施。而且，在對磁記錄介質(zhì)用玻璃基板要求較高機械強度時，可以使在玻璃基板的表層形成強化層的強化工序(例如化學(xué)強化工序)在研磨工序前、或研磨工序后、或研磨工序期間實施。根據(jù)上述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法，在端面研磨工序中，無需將玻璃基板層疊體解體即可進行實施，因而能夠使玻璃基板的同心度提高，防止或減小操作中對玻璃基板的損傷。而且，由于操作變得容易，因此容易實現(xiàn)生產(chǎn)率的提高。本申請基于2011年9月26日所提出的日本專利申請2011-209927，在本申請中作為參考引入了其內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板層疊工具,用于將在中心部具有圓孔的圓盤形狀的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板層疊而成的玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內(nèi)周端面研磨，其特征在于，具有軸，所述軸被插入到所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的圓孔，支撐所述玻璃基板層疊體的內(nèi)周端面，進行所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的對位，所述軸具備緊定螺栓嵌合部，能夠在軸的兩端嵌合緊定螺栓；及軸固定部，在軸的周圍支撐玻璃基板層疊體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板層疊工具，其中，所述玻璃基板層疊工具在進行所述玻璃基板層疊體的外周端面研磨時具有能夠與所述緊定螺栓嵌合部嵌合的緊定螺栓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板層疊工具，其中，所述玻璃基板層疊工具在進行所述玻璃基板層疊體的內(nèi)周端面研磨時還具有內(nèi)周端面研磨工具，該內(nèi)周端面研磨工具為能夠?qū)⑺霾ＡЩ鍖盈B體固定在內(nèi)部的結(jié)構(gòu)，所述內(nèi)周端面研磨工具在將所述玻璃基板層疊體固定在所述內(nèi)周端面研磨工具的內(nèi)部后能夠抽出所述軸。
4.根據(jù)權(quán)利要求廣3中任意一項所述的玻璃基板層疊工具，其中，在所述緊定螺栓的一方的端部凸出設(shè)置有軸嵌合部，所述軸嵌合部從前端部開始依次具有未形成螺紋牙的凸型圓筒部及螺紋部，所述緊定螺栓嵌合部具有與軸嵌合部的形狀相對應(yīng)的凹型圓筒部及螺紋部，所述凸型圓筒部與所述凹型圓筒部以相互嵌合的方式構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求廣4中任意一項所述的玻璃基板層疊工具，其中，所述軸的至少與磁記錄介質(zhì)用玻璃基板接觸的部分通過由類金剛石鍍膜構(gòu)成的保護膜進行涂層。
6.一種磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的端面研磨方法，使用了權(quán)利要求1飛中任意一項所述的玻璃基板層疊工具，其中，在保持有玻璃基板層疊體的所述軸的所述緊定螺栓嵌合部上安裝緊定螺栓，對所述玻璃基板層疊體的外周端面進行研磨，將保持有玻璃基板層疊體的所述軸固定于內(nèi)周端面研磨工具，在將所述玻璃基板層疊體固定于內(nèi)周端面研磨工具后，抽出所述軸，對所述玻璃基板層疊體的內(nèi)周端面進行研磨。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的端面研磨方法，其中，所述玻璃基板層疊體交替層疊有磁記錄介質(zhì)用玻璃基板和墊片。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的端面研磨方法，其中，所述墊片為外徑比所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的外徑小且內(nèi)徑比所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的圓孔直徑大的圓盤形狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求61中任意一項所述的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的端面研磨方法，其中，在進行外周端面研磨后，進行內(nèi)周端面研磨。
10.一種磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的制造方法，包括端面研磨工序，對磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的內(nèi)周端面及外周端面進行研磨；主平面研磨工序，對磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的主平面進行研磨；及磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的清洗工序；其中，所述 端面研磨工序使用權(quán)利要求6、中任意一項所述的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的端面研磨方法來對磁記錄介質(zhì)用玻璃基板進行端面研磨。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種玻璃基板層疊工具、玻璃基板的端面研磨方法及制造方法，可提高端面研磨工序中的加工精度和生產(chǎn)率，容易操作，而且無需將玻璃基板層疊體解體即可進行外周端面研磨和內(nèi)周端面研磨。該玻璃基板層疊工具用于將在中心部具有圓孔的圓盤形狀的磁記錄介質(zhì)用玻璃基板層疊而成的玻璃基板層疊體的外周端面研磨及/或內(nèi)周端面研磨，其特征在于，具有軸，所述軸被插入到所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的圓孔，支撐所述玻璃基板層疊體的內(nèi)周端面，進行所述磁記錄介質(zhì)用玻璃基板的對位，所述軸具備緊定螺栓嵌合部，能夠在軸的兩端配合緊定螺栓；及軸固定部，在軸的周圍支撐玻璃基板層疊體。
文檔編號B24B37/07GK103009241SQ20121036488
公開日2013年4月3日 申請日期2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月26日
發(fā)明者山先達也, 赤堀正憲, 坂本高志 申請人:旭硝子株式會社