本發(fā)明涉及一種用于執(zhí)行等離子體化學(xué)氣相沉積過程的裝置，其包括大體圓柱形的諧振器，該諧振器設(shè)有包圍諧振腔的圓柱形外壁，該諧振腔具有相對(duì)于圓柱軸線基本上旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的形狀，諧振器還設(shè)有沿相對(duì)的圓柱軸線方向限制諧振腔的側(cè)壁部，其中該裝置還包括微波波導(dǎo)部，該微波波導(dǎo)部的一端穿過圓柱形外壁延伸到諧振腔中。

背景技術(shù)：
以DrakaComteqB.V.的名義的歐洲專利公開文獻(xiàn)EP1867610公開了這樣一種用于制造光纖的裝置。當(dāng)大功率微波應(yīng)用于長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)的過程時(shí)，由于內(nèi)部反射和對(duì)擊穿(arcing)的敏感性，可出現(xiàn)關(guān)于負(fù)載匹配的問題。如果負(fù)載不匹配，則整個(gè)結(jié)構(gòu)可能變得過熱。那么，部分微波功率可能無(wú)法到達(dá)等離子體。另外，其他儀器，像自動(dòng)調(diào)諧儀(autotuner)，也可能變得過熱，導(dǎo)致故障或甚至損壞。而且，如果諧振器，也稱為高頻發(fā)熱電極(applicator)，對(duì)擊穿敏感，則不能適當(dāng)使用高頻發(fā)熱電極。因此，在使用期間將在一些點(diǎn)發(fā)生損壞。擊穿過程消耗大量功率，這意味著等離子體自身可能暫時(shí)衰減或甚至消失，這對(duì)通過等離子體過程制造的任何產(chǎn)品都有負(fù)面結(jié)果。關(guān)于負(fù)載匹配的問題，應(yīng)注意在徑向方向限制腔的徑向內(nèi)環(huán)實(shí)際上太薄而不能在其中應(yīng)用水冷設(shè)備以冷卻環(huán)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是提供一種根據(jù)前序部分的裝置，其中改善負(fù)載匹配同時(shí)不增加對(duì)擊穿的敏感度。另外，根據(jù)本發(fā)明，諧振腔在圓柱形方向上的長(zhǎng)度根據(jù)到圓柱軸線的徑向距離變化。本發(fā)明部分基于的觀點(diǎn)是，在避免可能出現(xiàn)誘發(fā)擊穿的銳邊的同時(shí)能夠改變腔的幾何形狀以改善負(fù)載匹配。通過根據(jù)到圓柱軸線徑向距離改變諧振腔在圓柱形方向上的長(zhǎng)度，也稱為腔的寬度，能夠獲得改善的負(fù)載匹配，同時(shí)能夠保持使微波波導(dǎo)部與諧振器之間能夠電磁耦合的結(jié)構(gòu)。因此，根據(jù)本發(fā)明的方案，在不引入額外的銳邊的情況下改變腔的形狀，以改善匹配并消除任何進(jìn)一步擊穿的幾率。在具體優(yōu)選實(shí)施例中，諧振腔在圓柱形方向上至少部分被圓錐的表面限制，該圓錐具有與諧振器的圓柱軸線基本一致的縱軸線，并向腔的相對(duì)側(cè)表面逐漸變細(xì)，使得同時(shí)滿足匹配和將擊穿條件最小化。根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施例在所附的權(quán)利要求書中描述。附圖說明現(xiàn)在將參照附圖描述僅作為示例給出的本發(fā)明的實(shí)施例，其中：圖1示出根據(jù)本發(fā)明的裝置的第一實(shí)施例的示意性截面?zhèn)纫晥D；圖2A示出根據(jù)本發(fā)明的裝置的第二實(shí)施例的示意性截面?zhèn)纫晥D；圖2B示出根據(jù)本發(fā)明的裝置的第三實(shí)施例的示意性截面?zhèn)纫晥D；圖2C示出根據(jù)本發(fā)明的裝置的第四實(shí)施例的示意性截面?zhèn)纫晥D；圖2D示出根據(jù)本發(fā)明的裝置的第五實(shí)施例的示意性截面?zhèn)纫晥D；以及圖2E示出根據(jù)本發(fā)明的裝置的第六實(shí)施例的示意性截面?zhèn)纫晥D。具體實(shí)施方式應(yīng)注意，附圖僅示出根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。在圖中，相同的附圖標(biāo)記表示相同或相應(yīng)的零件。圖1示出根據(jù)本發(fā)明的裝置1的第一實(shí)施例的示意性截面?zhèn)纫晥D。裝置1包括大體圓柱形的諧振器2。該裝置還包括將微波引導(dǎo)至諧振器2的微波波導(dǎo)部3。微波波導(dǎo)部3優(yōu)選為矩形，使得波導(dǎo)3與諧振器2之間能夠形成最優(yōu)界面。該裝置能夠用于執(zhí)行等離子體化學(xué)氣相沉積過程。諧振器2設(shè)有包圍諧振腔5的圓柱形外壁4。腔具有相對(duì)于圓柱軸線C基本上旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的形狀。諧振器2還設(shè)有在相對(duì)的圓柱軸...