專利名稱：一種蒸鍍用掩模組件的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于電子印刷領域，具體而言，涉及一種蒸鍍用掩模組件。
背景技術：
有機電致發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode, OLED),與傳統(tǒng)的液晶顯示(Liquid Crystal Display, LCD)相比具有制造成本低(只有 TFT-LCD 的 30% — 40%)、可視范圍寬(170度以上的視角)、反應時間快、使用溫度范圍廣(-40° 80° )等突出優(yōu)點，使得利用OLED技術所制成的顯示器成為人們廣泛關注的產(chǎn)品之一。制造OLED顯示器關鍵環(huán)節(jié)是將有機材料選擇性地蒸鍍到襯底上，因此需要蒸鍍用的掩模組件，使有機材料淀積的圖案與設計的圖案相對應。目前小尺寸的OLED顯示器的制作技術已經(jīng)很成熟，而通過同時制作多個OLED顯示器實現(xiàn)產(chǎn)量的提高，以及大尺寸的OLED顯示器的制作，需要增大傳統(tǒng)襯底的尺寸，相應的就需要增大掩模組件的尺寸。傳統(tǒng)技術中，制作大尺寸的OLED顯示器的掩模組件如圖1 圖3所示，圖1所示為傳統(tǒng)蒸鍍用掩模組件的組裝示意圖，10為掩模板，11為外框，101為掩模板上的掩模圖案，對掩模板10施加張力的同時將掩模板焊接到外框11上，如圖2所示為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件平面結構示意圖，是將掩模板10焊接到外框11上的平面結構示意圖，20為焊點。由于掩模板受到自身重力的影響，會產(chǎn)生下垂，導致掩膜組件整體結構發(fā)生變形，進而引起掩模圖案101的變形，從而影響到蒸鍍的質量，如圖3所示為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件因掩模板下垂導致掩模組件變形的平面結構示意圖。有鑒于此，有必要提出一種掩膜組件，以克服掩模板下垂導致掩模板上的掩模圖案變形的問題，提聞蒸鍛質量，進而提聞OLED顯不器的質量。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術中的上述缺陷中的至少一個。本實用新型提供了一種蒸鍍用掩模組件，包括外框、若干數(shù)量的支撐，其特征在于:所述外框為兩組對邊形成的中空四邊形結構，所述外框包括蒸鍍面和掩模板安裝面，所述蒸鍍面為所述外框面對蒸鍍源的一面，所述掩模板安裝面為所述外框背離蒸鍍源的一面；所述支撐數(shù)量大于等于1，所述支撐跨過所述外框中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框一組對邊上。根據(jù)本實用新型背景技術中對現(xiàn)有技術所述，如圖1-3所示，由于掩模板受到自身重力的影響，會產(chǎn)生下垂，導致掩膜組件整體結構發(fā)生變形，進而引起掩模圖案的變形，從而影響到蒸鍍的質量；而采用本實用新型的蒸鍍用掩模組件在使用過程中，由于所述支撐具有中間凸起兩端低的彎曲結構特征，在掩模板受到自身重力作用出現(xiàn)下垂時，所述支撐能夠具有良好的支撐作用，凸起部分能夠對下垂起到補償?shù)淖饔?，使掩模板在蒸鍍過程中呈平整狀態(tài)，而彎曲的各項參數(shù)則需要實驗來具體確定。[0010]另外，根據(jù)本實用新型公開的蒸鍍用掩模組件還具有如下附加技術特征: 進一步地，所述支撐為中間凸起兩端低的彎曲結構。進一步地，所述外框和所述支撐是一體成型結構或拼接結構。所述外框和所述支撐可以是使用機械加工或鑄造等方法形成一體結構，所述外框和所述支撐也可以是獨立個體，兩者拼接形成的整體。進一步地，所述外框是兩組對邊拼接結構或一體成型結構。拼接結構可以使整體設計結構更加簡單，但安裝過程中，則可能造成精度上的損失。進一步地，所述蒸鍍面開口形狀和所述掩模板安裝面開口形狀相似，且所述蒸鍍面開口形狀尺寸大于所述掩模板安裝面開口形狀尺寸。優(yōu)選地，聯(lián)接所述蒸鍍面與所述掩模板安裝面之間為斜面或過渡曲面。進一步地,所述支撐橫截面為一端大于另一端的一端小一端大結構，小端與大端之間為斜線段或過渡曲線。。在所述支撐靠近蒸鍍源的一側尺寸小于遠離蒸鍍源一側的尺寸，這樣在蒸鍍工序中可以避免蒸鍍源的遮蔽現(xiàn)象，提高蒸鍍質量。進一步地，所述外框放置所述支撐的一組對邊上有缺口，所述支撐安裝在所述缺口中。 缺口的增加可以使所述支撐更加穩(wěn)固。進一步地，所述蒸鍍用掩模組件還包括掩模板，所述掩模板是整體一塊或是數(shù)量大于等于I的可分拆組合的掩模板單元構成。本實用新型還提供了一種采用所述蒸鍍用掩模組件的掩模板安裝方法，包括:SI繃網(wǎng)定位:將掩模板進行繃網(wǎng)，并根據(jù)所述掩模板與所述蒸鍍用掩膜組件的尺寸進行定位，以獲得合格的產(chǎn)品；所述掩模板包括掩模圖案，所述掩模圖案透過所述外框與所述支撐形成的中空區(qū)域，避免蒸鍍材料被遮擋。S2安裝:將所述掩模板固定聯(lián)接在所述蒸鍍掩膜組件上。進一步地，所述掩模板是一整塊掩模板，將所述掩模板整體固定聯(lián)接在所述外框和所述支撐上；或是一組掩模板單元構成的掩模板，將與所述外框對應的外側掩模板單元與所述外框對應的對邊和所述支撐固定聯(lián)接，將與所述外框對應的內(nèi)側掩模板單元與所述支撐固定聯(lián)接。進一步地，所述固定聯(lián)接方式是焊接聯(lián)接結構或粘結聯(lián)接結構。本實用新型附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

本實用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從
以下結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:圖1為傳統(tǒng)蒸鍍用掩模組件的組裝示意圖；圖2為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件平面結構示意圖；[0033] 圖3為傳統(tǒng)蒸鍍用掩膜組件因掩模板下垂導致掩模組件變形的平面結構示意圖；圖4為掩模框整體結構示意圖；圖5為掩模框面向蒸鍍源一面的平面結構示意圖；圖6為將掩模板焊接到掩?？蛏系钠矫娼Y構示意圖；圖7所示為一種掩模組件組裝示意圖；圖8所示為一種掩模組件的平面結構示意圖；圖9所示為支撐形變補償?shù)钠矫娼Y構示意圖；圖10所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；圖11所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；圖12所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；圖13所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；圖14所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖；圖1中，10為掩模板，11為外框，101為掩模板上的掩模圖案；圖2中，20為焊點；圖4中，40為掩?？?，401為支撐，41為掩模板安裝面，402為外框；圖5中，50為蒸鍍面,50'為傾斜面；圖6中，60為掩模板，601為掩模圖案，61為焊點；圖7中，70、71為掩模單元，701為掩模圖案； 圖8中，80為掩模部之間的縫隙；圖9中，A-A為待解剖方向，90為與掩模板焊接的一面，91為朝向蒸鍍源的一側，91'為傾斜面；圖10中，9Γ為朝向蒸鍍源的傾斜面；
具體實施方式
下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能解釋為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“底”、“頂”、“前”、“后”、
“內(nèi)”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“聯(lián)接”、“連通”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。本實用新型的構思如下，如技術背景所述，由于掩模板受到自身重力的影響，會產(chǎn)生下垂，導致掩模組件整體結構發(fā)生變形，進而引起掩模圖案的變形，從而影響到蒸鍍的質量；而采用本實用新型的蒸鍍用掩模組件在使用過程中，由于所述支撐具有中間凸起兩端低的彎曲結構特征，在掩模板受到自身重力作用出現(xiàn)下垂時，所述支撐能夠具有良好的支撐作用，凸起部分能夠對下垂起到補償?shù)淖饔?，使掩模板在蒸鍍過程中呈平整狀態(tài)，而彎曲的各項參數(shù)則需要實驗來具體確定。下面將參照附圖來描述本實用新型的蒸鍍用掩模組件，其中圖4為掩模框整體結構示意圖，圖5為掩模框面向蒸鍍源一面的平面結構示意圖，圖6為將掩模板焊接到掩?？蛏系钠矫娼Y構示意圖，圖7所示為一種掩模組件組裝示意圖，圖8所示為一種掩模組件的平面結構示意圖，圖9所示為支撐形變補償?shù)钠矫娼Y構示意圖，圖10所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖11所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖12所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖13所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖，圖14所示為圖9中沿A-A方向截面放大示意圖。根據(jù)本實用新型的實施例，如圖4-14所示，本實用新型提供了一種蒸鍍用掩模組件，包括外框402、若干數(shù)量的支撐401，如圖4、5所示，所述外框402為兩組對邊形成的中空四邊形結構，所述外框402包括蒸鍍面50和掩模板安裝面41，所述蒸鍍面50為所述外框402面對蒸鍍源的一面，所述掩模板安裝面41為所述外框402背離蒸鍍源的一面；所述支撐401數(shù)量大于等于I，所述支撐401跨過所述外框402中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框402 —組對邊上。根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述支撐401為中間凸起兩端低的彎曲結構，如圖9所示(彎曲幅度實際上很小，圖9只是示意圖)。根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述外框402和所述支撐401是一體成型結構或拼接結構。根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述外框402和所述支撐401可以是使用機械加工或鑄造等方法形成一體結構，所述外框402和所述支撐401也可以是獨立個體，兩者拼接形成的整體。根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述外框402是兩組對邊拼接結構或一體成型結構。拼接結構可以使整體設計結構更加簡單，但安裝過程中，則可能造成精度上的損失。根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述蒸鍍面50開口形狀和所述掩模板安裝面41開口形狀相似，且所述蒸鍍面50開口形狀尺寸大于所述掩模板安裝面41開口形狀尺寸，如圖5所示。優(yōu)選地，所述蒸鍍面50與所述掩模板安裝面41之間為斜面或過渡曲面，如圖5中的面5(V。根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述支撐401橫截面為一端大于另一端的一端小一端大結構，小端與大端之間為斜線段或過渡曲線，如圖10-14所示。根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述支撐401橫截面為三角形，如圖10所示。根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述支撐401橫截面為上端大，下端小，上述兩者之間為內(nèi)凹過渡曲線構成，如圖11所示。進一步地，下端的頭部為圓滑曲線構成，如圖11所示。[0072]根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述支撐401橫截面為類似梯形結構，左右兩邊為凸起過渡曲線，如圖12所示。根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述支撐401橫截面為梯形結構，如圖13所示。根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述支撐401橫截面為類似梯形結構，左右兩邊為凹下過渡曲線，如圖14所示。在所述支撐靠近蒸鍍源的一側尺寸小于遠離蒸鍍源一側的尺寸，在蒸鍍過程中，可以盡可能的減少對蒸鍍材料的遮蔽可能。根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述外框402放置所述支撐401的一組對邊上有缺口，所述支撐401安裝在所述缺口中。缺口的增加可以使所述支撐401更加穩(wěn)固。根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述蒸鍍用掩模組件還包括掩模板60，所述掩模板60是整體一塊或是數(shù)量大于等于I的可分拆組合的掩模板單元70、71構成。所述掩模板60上包括掩模圖案601、701，如圖6-8所示。本實用新型還提供了一種采用所述蒸鍍用掩模組件的掩模板安裝方法，包括:SI繃網(wǎng)定位:將掩模板60進行繃網(wǎng)，并根據(jù)所述掩模板60與所述蒸鍍用掩膜組件的尺寸進行定位，以獲得合格的產(chǎn)品；所述掩模板60包括掩模圖案601、701，所述掩模圖案601、701透過所述外框402與所述支撐401形成的中空區(qū)域，避免蒸鍍材料被遮擋。S2安裝:將所述掩模板60固定聯(lián)接在所述蒸鍍掩模組件上。根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述掩模板60是一整塊掩模板,將所述掩模板整體固定聯(lián)接在所述外框402和所述支撐401上；將掩模板60繃網(wǎng)，使掩模板具有一定的張力(與圖1所示繃網(wǎng)方式類似)，同時將掩模板焊接到掩?？?0上，如圖6所示為將掩模板焊接到掩?？蛏系钠矫娼Y構示意圖，圖6中，60為掩模板，601為掩模圖案，61為焊點，掩模板是一體成型的結構。在繃網(wǎng)焊接的同時還要進行對位，使掩模板上的掩模圖案與外框402和支撐圍成的中空區(qū)域相對應，使掩模板上掩模圖案之間的間隙部分與支撐相對應，焊接時掩模板60的周邊與外框402連接(可以是焊接、粘接等方式)在一起，掩模板上掩模圖案601的間隙部分可以選擇性地與支撐401進行焊接，焊點過多易使焊點附近的掩模圖案601變形，焊點過少則掩模板焊接不牢固，所以在焊接過程中，盡量使掩模板固定到外框和支撐上同時又不至于使掩模圖案變形。最佳焊接點的位置及數(shù)量可以通過實驗來確定。根據(jù)本實用新型的另一些實施例，一組掩模板單元構成的掩模板60，將與所述外框402對應的掩模板單元70、71與所述外框402對應的對邊和所述支撐401固定聯(lián)接。如圖7所示,為一種掩模組件組裝示意圖，70、71為掩模單元,701為掩模單元上的掩模圖案，掩模板是由分立的掩模單元組成，分別對掩模單元(70、71)進行繃網(wǎng)固定，繃網(wǎng)的同時進行對位，使掩模單元70、71的左右兩邊無掩模圖案的區(qū)域分別與相鄰的支撐和外框部分重合，并且掩模圖案與支撐401和外框402圍成的中空區(qū)域相對應，繃網(wǎng)同時先將掩模單元70、71上下兩端焊接(或粘接)到掩模框的外框402的上下邊框上，再將掩模單元的左右兩邊焊接到支撐和外框上。掩模單元71為靠近外框402的掩模單元，對應與外框相鄰的一邊要比與支撐相鄰的一邊無掩模圖案的區(qū)域稍寬，如此可以增大外框402對掩模單元71的支撐作用，同時也方便將71焊接到外框上。焊點過多易使焊點附近的掩模圖案701變形，焊點過少則掩模單元焊接不牢固，所以在焊接過程中，盡量使掩模單元固定到外框和支撐上同時又不至于使掩模圖案變形。最佳焊接點的位置及數(shù)量可以通過實驗來確定。根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述固定聯(lián)接方式是焊接聯(lián)接結構或粘結聯(lián)接結構。根據(jù)本實用新型的一些實施例，圖8所示為一種掩模組件的平面結構示意圖(為圖7所示掩模組件組裝完成后的平面結構示意圖)，80為掩模單元之間的縫隙。其中支撐401除了對掩模單元70、71起到支撐的作用外，還起到攔截蒸鍍源通過縫隙80蒸鍍到襯底上，避免在襯底上淀積出不必要的圖案，影響蒸鍍質量。根據(jù)本實用新型的一些實施例，在掩模板因自身重力產(chǎn)生下垂的同時支撐401也會產(chǎn)生下垂(因自身重力和掩模板的壓力而下垂)，因此有必要在將掩模板組裝到掩?？蛑皩χ?01施加一定的力致使支撐產(chǎn)生向上的形變(此形變很小)，如圖9所示(變形幅度很小，圖9是示意圖)，在蒸鍍時可以補償掩模板和支撐因自身重力產(chǎn)生的下垂，即掩模板和支撐本身產(chǎn)生的下垂，可以由支撐向上的形變來抵消掉，使整個蒸鍍過程中掩模板呈平整狀態(tài)，沒有下垂。由于支撐產(chǎn)生的形變量很小，在支撐的兩端與外框連接的部分，面90與面41幾乎在同一平面，蒸鍍時由于下垂量與支撐向上彎曲的形變量相互抵消，掩模板整體呈平整狀態(tài)。支撐401的長度可以與外框寬度尺寸一致如圖4、圖8所示，也可以比外框的寬度尺寸小，如圖6所示。盡管參照本實用新型的多個示意性實施例對本實用新型的具體實施方式
進行了詳細的描述，但是必須理解，本領域技術人員可以設計出多種其他的改進和實施例，這些改進和實施例將落在本實用新型原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進，而不會脫離本實用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進，其范圍由所附權利要求及其等同物限定。
權利要求1.一種蒸鍍用掩模組件，包括外框、若干數(shù)量的支撐，其特征在于: 所述外框為兩組對邊形成的中空四邊形結構，所述外框包括蒸鍍面和掩模板安裝面，所述蒸鍍面為所述外框面對蒸鍍源的一面，所述掩模板安裝面為所述外框背離蒸鍍源的一面； 所述支撐數(shù)量大于等于1，所述支撐跨過所述外框中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框一組對邊上。
2.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述支撐為中間凸起兩端低的彎曲結構。
3.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述外框和所述支撐是一體成型結構或拼接結構。
4.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述外框是兩組對邊拼接結構或一體成型結構。
5.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述蒸鍍面開口形狀和所述掩模板安裝面開口形狀相似，且所述蒸鍍面開口形狀尺寸大于所述掩模板安裝面開口形狀尺寸。
6.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述支撐橫截面為一端大于另一端的一端大一端小的結構，小端與大端之間為斜線段或過渡曲線。
7.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述外框放置所述支撐的一組對邊上有缺口，所述支撐安裝在所述缺口中。
8.根據(jù)權利要求1所述的蒸鍍用掩模組件，其特征在于，所述蒸鍍用掩模組件還包括掩模板，所述掩模板是整體一塊或是數(shù)量大于等于I的可分拆組合的掩模板單元構成。
專利摘要本實用新型公開了一種蒸鍍用掩模組件，包括外框、若干數(shù)量的支撐，所述外框為兩組對邊形成的中空四邊形結構，所述外框包括蒸鍍面和掩模板安裝面,所述蒸鍍面為所述外框面對蒸鍍源的一面，所述掩模板安裝面為所述外框背離蒸鍍源的一面；所述支撐數(shù)量大于等于1，所述支撐跨過所述外框中空區(qū)域且兩端分別固定安裝在所述外框一組對邊上。采用本實用新型的蒸鍍用掩模組件可以克服掩模板下垂導致掩模板上的掩模圖案變形的問題，提高蒸鍍質量，進而提高OLED顯示器的質量。
文檔編號C23C14/04GK203159695SQ20132003269
公開日2013年8月28日 申請日期2013年1月22日 優(yōu)先權日2013年1月22日
發(fā)明者魏志凌, 高小平, 張煒平 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司