本發(fā)明涉及一種新的氣相沉積控制元件的模塊化安裝方法，尤其是一種一種新的氣相沉積控制元件的模塊化安裝方法，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

氣相沉積控制元件的模塊化安裝形式，是半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備的重要組成部分。模塊組合安裝完成后，工藝氣體通過此裝置，分配不同量的工藝氣體或液體或固體進(jìn)入反應(yīng)腔室，參與氣相沉積，形成薄膜。半導(dǎo)體設(shè)備需要工藝氣體分配模塊輸送氣體，在組成工藝氣體模塊的過程中，需要按照原理圖進(jìn)行設(shè)計(jì)、組裝。但由于外購元件尺寸上有出入，機(jī)加件尺寸上也有出入，所以在組裝的過程中，會(huì)發(fā)現(xiàn)按照設(shè)計(jì)的孔位制作出的機(jī)加件與外購元件的組合上不匹配，常常是需要修配，甚至是重新制作，對(duì)產(chǎn)品的整體里程碑也是拖延。

氣體模塊的組成，由一條條工藝模塊組成，有時(shí)會(huì)需要兩條模塊之間配合，所以也需要留出足夠的余量組裝，經(jīng)常會(huì)發(fā)生在設(shè)計(jì)時(shí)位置非常好，設(shè)計(jì)也留出了足夠的空間，可實(shí)際在裝配時(shí)，不匹配，無法安裝的情況。導(dǎo)致機(jī)加件修配或重新加工，或者工藝管路重新焊接的情況的發(fā)生。

為了解決以上的矛盾，設(shè)計(jì)和生產(chǎn)一種新的氣相沉積控制元件的 模塊化安裝形式迫在眉睫。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種新的氣相沉積控制元件的模塊化安裝方法。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種新的氣相沉積控制元件的模塊化安裝方法，采用了通長的豁口，里面下入方形的螺紋塊(避免在螺栓旋緊的過程中，螺紋塊旋轉(zhuǎn)，無法固定)，在上面的元件安裝好后，再把之字板把合固定住。每條工藝模塊安裝適合后，在把兩條模塊固定在基板上，最后把基板固定在基座上，即完成了整個(gè)模塊的安裝。

本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn)：結(jié)構(gòu)合理，操作簡單、方便，可在任意位置安裝和固定元件，可實(shí)現(xiàn)傻瓜式的安裝方式。在各個(gè)元件連接過程中，省去了為了按照孔位安裝費(fèi)力的尋找螺孔。在全部都安裝好后，在把模塊基座和基板上的螺釘旋緊固定，即完成了模塊組合安裝，本發(fā)明可滿足不同元件在同一個(gè)模塊上安裝的要求。

附圖說明

圖1是采用本方法安裝好的模塊示意圖。

圖2是氣相沉積控制元件模塊的爆炸圖。

圖中：1、元件；2、之字板；3、螺紋塊；4、基座；5、基板；6、管路。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方 案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

如圖1和圖2所示，一種新的氣相沉積控制元件的模塊化安裝方法，采用了通長的豁口，里面下入方形的螺紋塊3(避免在螺栓旋緊的過程中，螺紋塊旋轉(zhuǎn)，無法固定)，在上面的元件1安裝好后，再把之字板2把合固定住。每條工藝模塊安裝適合后，在把兩條模塊固定在基板5上，最后把基板5固定在基座6上，即完成了整個(gè)模塊的安裝。兩條氣體模塊中間需要工藝管路6相連接，那么就把工藝管路6連接好，再把整理放在基板5上，把固定螺釘旋緊固定。以此類推，逐個(gè)都安裝固定好，此時(shí)，即完成了氣相沉積控制元件的模塊化安裝。