本發(fā)明涉及精密儀器加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種砂輪的修整控制系統(tǒng)及方法。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體專用設(shè)備磨削過程中，基片材料，如晶圓的表面粗糙度和TTV(Total Thickness Variation，整體厚度偏差)直接依賴于砂輪的形狀和接觸面的清潔度，否則會(huì)造成磨削精度的誤差。

而目前，對(duì)于一些超硬的基片材料，如藍(lán)寶石，陶瓷等磨削比較困難，磨削過程中基片殘留物會(huì)附著在砂輪上，影響基片去除量、加工效率和基片表面加工精度，同時(shí)影響砂輪的磨削能力。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種砂輪的修整控制系統(tǒng)及方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中一些超硬的基片材料，在磨削過程中基片去除量少、加工效率低以及基片表面加工粗糙的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例提供的砂輪的修整控制系統(tǒng)，包括：

承片臺(tái)機(jī)構(gòu)、主軸磨削機(jī)構(gòu)、油石修整機(jī)構(gòu)；

用于驅(qū)動(dòng)所述主軸磨削機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

用于驅(qū)動(dòng)所述主軸磨削機(jī)構(gòu)沿主軸磨削機(jī)構(gòu)的主軸軸向運(yùn)動(dòng)的主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

用于驅(qū)動(dòng)承片臺(tái)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

用于驅(qū)動(dòng)油石修整機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

用于驅(qū)動(dòng)所述油石修整機(jī)構(gòu)沿平行于所述主軸軸向運(yùn)動(dòng)的油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

以及，控制模塊；所述控制模塊分別與油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；

其中，所述油石修整機(jī)構(gòu)中的油石表面和承片臺(tái)機(jī)構(gòu)中的承片臺(tái)表面，均朝向主軸磨削機(jī)構(gòu)中的主軸砂輪表面設(shè)置，且當(dāng)所述主軸磨削機(jī)構(gòu)相對(duì)所述承片臺(tái)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)至第一預(yù)定位置，所述油石修整機(jī)構(gòu)相對(duì)主軸磨削機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)至第二預(yù)定位置時(shí)，主軸砂輪表面同時(shí)與油石表面和承片臺(tái)表面相接觸。

其中，所述控制模塊，具體用于：

根據(jù)預(yù)先記錄的所述油石修整機(jī)構(gòu)中的油石表面從預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置到所述承片臺(tái)機(jī)構(gòu)中的承片臺(tái)表面的第一距離值，控制所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述油石以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并控制油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述油石相對(duì)于所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，沿平行于所述主軸軸向的方向，以第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，停止向上運(yùn)動(dòng)，所述第二預(yù)定位置為與所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置距離為所述第一距離值+待磨削基片材料的初始片厚的位置；

根據(jù)預(yù)先記錄的所述主軸磨削機(jī)構(gòu)中的主軸砂輪表面從預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置到所述承片臺(tái)表面的第二距離值，控制所述主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以及第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并控制所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪相對(duì)于所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，沿所述主軸軸向的方向，以第二預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)至初始位置時(shí)，控制所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以第三預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)，所述第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速大于所述第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速，所述初始位置為距離所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置是所述第二距離值-待磨削基片材料的初始片厚-預(yù)設(shè)空進(jìn)給距離的位置，所述第三預(yù)設(shè)速度小于所述第二預(yù)設(shè)速度；

當(dāng)所述主軸砂輪以所述第三預(yù)設(shè)速度運(yùn)動(dòng)至所述第一預(yù)定位置時(shí)，根據(jù)所述待磨削基片材料的目標(biāo)片厚，控制所述主軸砂輪對(duì)所述待磨削基片材料進(jìn)行磨削，并控制所述油石對(duì)所述主軸砂輪表面進(jìn)行修整，所述第一預(yù)定位置為與所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置距離為所述第二距離值-待磨削基片材料的初始片厚的位置。

其中，所述控制模塊，還具體用于：

當(dāng)所述主軸磨削機(jī)構(gòu)滿足預(yù)設(shè)磨削條件時(shí)，控制所述承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述承片臺(tái)機(jī)構(gòu)中的承片臺(tái)以第三預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。

其中，所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于接收所述控制模塊輸出的第一轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。

其中，所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：與所述控制模塊連接的油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器以及與所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器連接的油石旋轉(zhuǎn)電機(jī)；

所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器，用于接收所述控制模塊輸出的所述第一轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石旋轉(zhuǎn)電機(jī)，使油石以所述第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，所述油石旋轉(zhuǎn)電機(jī)與所述油石連接。

其中，所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于接收所述控制模塊輸出的第一位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石相對(duì)于所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，沿平行于所述主軸軸向的方向，以第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)；且當(dāng)所述油石運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，接收所述控制模塊輸出的第三位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石停止向上運(yùn)動(dòng)。

其中，所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：與所述控制模塊連接油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器以及與所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器連接的油石進(jìn)給電機(jī)；

所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器，用于接收所述控制模塊輸出的所述第一位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石進(jìn)給電機(jī)，使油石以所述第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)；且當(dāng)所述油石運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，接收所述控制模塊輸出的所述第三位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石進(jìn)給電機(jī)，使油石停止向上運(yùn)動(dòng)。

其中，所述主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于接收所述控制模塊輸出的第二轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)主軸砂輪以第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，所述第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速大于所述第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速。

其中，所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于接收所述控制模塊輸出的第二位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以第二預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)；且當(dāng)所述主軸砂輪運(yùn)動(dòng)至初始位置時(shí)，接收所述控制模塊輸出的第四位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以第三預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)。

其中，所述承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于接收所述控制模塊輸出的第三轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)承片臺(tái)以第三預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。

本發(fā)明實(shí)施例還提供一種砂輪的修整控制方法，應(yīng)用于如上述所述的砂輪的修整控制系統(tǒng)，所述修整控制方法包括：

根據(jù)預(yù)先記錄的所述油石修整機(jī)構(gòu)中的油石從預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置到所述承片臺(tái)機(jī)構(gòu)中的承片臺(tái)的第一距離值，控制所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述油石以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并控制油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述油石相對(duì)于所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，沿平行于所述主軸軸向的方向，以第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，停止向上運(yùn)動(dòng)，所述第二預(yù)定位置為所述第一距離值+待磨削基片材料的初始片厚；

根據(jù)預(yù)先記錄的所述主軸磨削機(jī)構(gòu)中的主軸砂輪從預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置到所述承片臺(tái)的第二距離值，控制所述主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以及第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并控制所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪相對(duì)于所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，沿所述主軸軸向的方向，以第二預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)至初始位置時(shí)，控制所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以第三預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)，所述第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速大于所述第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速，所述初始位置為距離所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置是所述第二距離值-待磨削基片材料的初始片厚-預(yù)設(shè)空進(jìn)給距離的位置，所述第三預(yù)設(shè)速度小于所述第二預(yù)設(shè)速度；

當(dāng)所述主軸砂輪以所述第三預(yù)設(shè)速度運(yùn)動(dòng)至所述第一預(yù)定位置時(shí)，根據(jù)所述待磨削基片材料的目標(biāo)片厚，控制所述主軸砂輪對(duì)所述待磨削基片材料進(jìn)行磨削，并控制所述油石對(duì)所述主軸砂輪表面進(jìn)行修整。

其中，根據(jù)預(yù)先記錄的所述油石修整機(jī)構(gòu)中的油石從預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置到所述承片臺(tái)機(jī)構(gòu)中的承片臺(tái)的第一距離值，控制所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述油石以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并控制油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述油石相對(duì)于所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，沿平行于所述主軸軸向的方向，以第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，停止向上運(yùn)動(dòng)的步驟包括：

在油石位于預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置時(shí)，控制模塊向油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第一轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，并向油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第一位置控制信號(hào)；所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第一轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)；所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第一位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石相對(duì)于所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，沿平行于所述主軸軸向的方向，以第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)；

當(dāng)所述油石向上運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，控制模塊向所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第三位置控制信號(hào)；所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第三位置信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石停止向上運(yùn)動(dòng)。

其中，根據(jù)預(yù)先記錄的所述主軸磨削機(jī)構(gòu)中的主軸砂輪從預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置到所述承片臺(tái)的第二距離值，控制所述主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以及第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并控制所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪相對(duì)于所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，沿所述主軸軸向的方向，以第二預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)至初始位置時(shí)，控制所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以第三預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)的步驟，包括：

在主軸砂輪位于預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置時(shí)，控制模塊向主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第二轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，控制模塊并向主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第二位置控制信號(hào)，所述主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第二轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)與所述主軸砂輪以第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)；所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第二位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪相對(duì)于所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，沿所述主軸軸向的方向，以第二預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)；

當(dāng)所述主軸砂輪向下運(yùn)動(dòng)至初始位置時(shí)，控制模塊向所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第四位置控制信號(hào)，所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第四位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以第三預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)。

其中，當(dāng)所述主軸砂輪以所述第三預(yù)設(shè)速度運(yùn)動(dòng)至所述第一預(yù)定位置時(shí)，根據(jù)所述待磨削基片材料的目標(biāo)片厚，控制所述主軸砂輪對(duì)所述待磨削基片材料進(jìn)行磨削，并控制所述油石對(duì)所述主軸砂輪表面進(jìn)行修整的步驟之后，所述方法還包括：

當(dāng)所述待磨削基片材料的片厚到達(dá)目標(biāo)片厚時(shí)，控制所述主軸砂輪以第四預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)至所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，并控制所述主軸砂輪停止旋轉(zhuǎn)，所述第四預(yù)設(shè)速度大于所述第三預(yù)設(shè)速度；

控制所述油石以第五預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)至所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，并控制所述油石停止旋轉(zhuǎn)，所述第五預(yù)設(shè)速度大于所述第一預(yù)設(shè)速度。

本發(fā)明的上述技術(shù)方案的有益效果如下：

本發(fā)明實(shí)施例的上述方案中，通過控制模塊分別控制主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使得主軸磨削機(jī)構(gòu)相對(duì)承片臺(tái)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)至第一預(yù)定位置、油石修整機(jī)構(gòu)相對(duì)主軸磨削機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)至第二預(yù)定位置時(shí)，主軸砂輪表面同時(shí)與油石表面和承片臺(tái)表面相接觸，可實(shí)現(xiàn)邊磨削基片材料邊修整砂輪的目的，增加基片材料的去除量，提高基片材料的加工效率和表面加工精度，同時(shí)保證砂輪的磨削能力。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例的砂輪的修整控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖之一；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例的砂輪的修整控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖之二；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例的砂輪的修整控制系統(tǒng)的具體硬件結(jié)構(gòu)原理框圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例的砂輪的修整控制方法的流程圖之一；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例的砂輪的修整控制方法的流程圖之二。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。

第一實(shí)施例

如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例提供一種砂輪的修整控制系統(tǒng)，包括：

承片臺(tái)機(jī)構(gòu)、主軸磨削機(jī)構(gòu)、油石修整機(jī)構(gòu)；

這里需說明的是，承片臺(tái)機(jī)構(gòu)包括：承片臺(tái)1；主軸磨削機(jī)構(gòu)包括：主軸(圖中未顯示)以及與主軸連接的主軸砂輪2；油石修整機(jī)構(gòu)包括：油石3以及毛刷(圖中未顯示)。

用于驅(qū)動(dòng)主軸磨削機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4；

用于驅(qū)動(dòng)主軸磨削機(jī)構(gòu)沿主軸磨削機(jī)構(gòu)的主軸軸向運(yùn)動(dòng)的主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5；

用于驅(qū)動(dòng)承片臺(tái)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖中未顯示)；

用于驅(qū)動(dòng)油石修整機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6；

用于驅(qū)動(dòng)油石修整機(jī)構(gòu)沿平行于所述主軸軸向運(yùn)動(dòng)的油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)7；

以及，控制模塊(圖中未顯示)；控制模塊分別與油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6、油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)7、主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4、主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5以及承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，如圖3所示，為砂輪的修整控制系統(tǒng)的具體硬件結(jié)構(gòu)原理框圖；

其中，油石修整機(jī)構(gòu)中的油石3表面和承片臺(tái)機(jī)構(gòu)中的承片臺(tái)1表面，均朝向主軸磨削機(jī)構(gòu)中的主軸砂輪2表面設(shè)置，且當(dāng)主軸磨削機(jī)構(gòu)相對(duì)承片臺(tái)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)至第一預(yù)定位置，油石修整機(jī)構(gòu)相對(duì)主軸磨削機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)至第二預(yù)定位置時(shí)，主軸砂輪2表面同時(shí)與油石3表面和承片臺(tái)1表面相接觸。

如圖1所示，需要說明的是，油石3表面指的是油石3的上表面；承片臺(tái)1表面指的是承片臺(tái)1的上表面；主軸砂輪2的表面指的是主軸砂輪2的下表面，也就是磨削固定在承片臺(tái)1上的基片材料的磨削面。

具體的，控制模塊與主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4、油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)7以及油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6通過CAN-open總線(現(xiàn)場(chǎng)總線)連接；控制模塊與主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5、承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)通過EtherCAT總線(現(xiàn)場(chǎng)總線)連接。

這里需要說明的是，控制模塊可以包括可編程控制器，可集成于計(jì)算機(jī)上。操作人員可在人機(jī)交互界面上錄入待磨削基片材料的磨削工藝參數(shù)，如初始片厚、目標(biāo)片厚、空進(jìn)給距離等等，便于主軸砂輪2和油石3的進(jìn)給與定位。

這里，主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5、油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)7采用位置控制模式；主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4、油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6和承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)采用旋轉(zhuǎn)控制模式。

具體的，本發(fā)明實(shí)施例中所述控制模塊，具體用于：

根據(jù)預(yù)先記錄的所述油石修整機(jī)構(gòu)中的油石3表面從預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置到所述承片臺(tái)機(jī)構(gòu)中的承片臺(tái)1表面的第一距離值，控制所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6，驅(qū)動(dòng)所述油石3以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并控制油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)7，驅(qū)動(dòng)所述油石3相對(duì)于所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，沿平行于所述主軸軸向的方向，以第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，停止向上運(yùn)動(dòng)，所述第二預(yù)定位置為與所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置距離為所述第一距離值+待磨削基片材料的初始片厚的位置；

這里需說明的是，油石3被驅(qū)動(dòng)做向上進(jìn)給運(yùn)動(dòng)的起點(diǎn)位置可自行設(shè)置，這里，優(yōu)選的為預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，當(dāng)然也可以是預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置到第二預(yù)定位置之間的其他位置。

這里，油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)7包括：油石進(jìn)給電機(jī)和油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器(圖中均未顯示)。其中，系統(tǒng)上電后，油石進(jìn)給電機(jī)可以通過尋零位開關(guān)啟動(dòng)位置傳感器，確定預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，該預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置為參考零點(diǎn)，便于后續(xù)對(duì)油石3的定位。

這里，第一距離值為操作人員根據(jù)預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置預(yù)先測(cè)量得到的，并寫入到控制模塊中。

具體的測(cè)量過程如下：

操作人員調(diào)節(jié)油石進(jìn)給機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)按鈕，用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量塊標(biāo)記油石3到承片臺(tái)1表面的距離，也就是，油石3表面從預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置運(yùn)動(dòng)至承片臺(tái)1表面的距離，即油石3的實(shí)際進(jìn)給距離。

根據(jù)預(yù)先記錄的所述主軸磨削機(jī)構(gòu)中的主軸砂輪2表面從預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置到所述承片臺(tái)1表面的第二距離值，控制所述主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪2以及第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并控制所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪2相對(duì)于所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，沿所述主軸軸向的方向，以第二預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)至初始位置時(shí)，控制所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪2以第三預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)，所述第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速大于所述第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速，所述初始位置為距離所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置是所述第二距離值-待磨削基片材料的初始片厚-預(yù)設(shè)空進(jìn)給距離的位置，所述第三預(yù)設(shè)速度小于所述第二預(yù)設(shè)速度；

這里需要說明的是，主軸砂輪2被驅(qū)動(dòng)做向下進(jìn)給運(yùn)動(dòng)的起點(diǎn)位置可自行設(shè)置，這里，優(yōu)選的為預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，當(dāng)然也可以是預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置到初始位置之間的其他位置。

這里，主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5包括：主軸進(jìn)給電機(jī)和主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器(圖中均未顯示)。其中，系統(tǒng)上電后，主軸進(jìn)給電機(jī)可以通過尋零位開關(guān)啟動(dòng)位置傳感器，確定預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，該預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置為參考零點(diǎn)，便于后續(xù)對(duì)主軸砂輪2的定位。

這里，第二距離值為操作人員根據(jù)預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置預(yù)先測(cè)量得到的，并寫入到控制模塊中。

具體的測(cè)量過程如下：

操作人員調(diào)節(jié)主軸進(jìn)給機(jī)構(gòu)5的運(yùn)動(dòng)按鈕，用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量塊標(biāo)記主軸砂輪2到承片臺(tái)1表面的距離；

這里，操作人員一直調(diào)節(jié)主軸進(jìn)給機(jī)構(gòu)的5運(yùn)動(dòng)按鈕，使主軸砂輪2從預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置向下運(yùn)動(dòng)，也就是一直向靠近承片臺(tái)1表面的方向移動(dòng)，待主軸砂輪2與放置在承片臺(tái)1表面的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量塊接觸后，計(jì)算得到第二距離值，即主軸砂輪2的實(shí)際進(jìn)給距離+標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量塊的厚度。

這里，承片臺(tái)1表面放置標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量塊的目的是防止主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5快速進(jìn)給時(shí)，主軸砂輪2撞上承片臺(tái)1表面，保護(hù)承片臺(tái)1表面以及主軸砂輪2表面。

這里需說明的是，預(yù)設(shè)空進(jìn)給距離是為了消除標(biāo)定誤差設(shè)置的冗余量。

當(dāng)所述主軸砂輪2以所述第三預(yù)設(shè)速度運(yùn)動(dòng)至所述第一預(yù)定位置時(shí)，根據(jù)所述待磨削基片材料的目標(biāo)片厚，控制所述主軸砂輪2對(duì)所述待磨削基片材料進(jìn)行磨削，并控制所述油石3對(duì)所述主軸砂輪2表面進(jìn)行修整，所述第一預(yù)定位置為與所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置距離為所述第二距離值-待磨削基片材料的初始片厚的位置。

這里需要說明的是，油石3已經(jīng)到達(dá)第一預(yù)定位置，也就是高出承片臺(tái)1表面待磨削基片材料的初始片厚的位置；當(dāng)主軸砂輪2向下運(yùn)動(dòng)至第二預(yù)定位置，也就是與承片臺(tái)1表面距離為待磨削基片材料的初始片厚的位置，也就是主軸砂輪2表面與待磨削基片材料接觸，而與此同時(shí)，主軸砂輪2表面也與油石3表面相接觸，這樣便達(dá)到邊磨削基片材料，邊修整主軸砂輪2的目的。

這里，待磨削基片材料可包括：晶圓、藍(lán)寶石、陶瓷、金剛石等等。

需要說明的是，如圖2所示，主軸磨削機(jī)構(gòu)中的主軸砂輪2表面、油石修整機(jī)構(gòu)中的油石3表面以及承片臺(tái)機(jī)構(gòu)中的承片臺(tái)1表面之間的位置關(guān)系均為半壓結(jié)構(gòu)，也就是說，該位置關(guān)系在主軸砂輪2磨削基片材料，同時(shí)油石3修整主軸砂輪表面時(shí)，相互之間不會(huì)造成影響。

具體的，本發(fā)明實(shí)施例中所述控制模塊，還具體用于：

當(dāng)所述主軸磨削機(jī)構(gòu)滿足預(yù)設(shè)磨削條件時(shí)，控制所述承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述承片臺(tái)機(jī)構(gòu)中的承片臺(tái)1以第三預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。

具體的，本發(fā)明實(shí)施例中油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6，用于接收所述控制模塊輸出的第一轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石3以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。

更具體的，油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6包括：與所述控制模塊連接的油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器以及與所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器連接的油石旋轉(zhuǎn)電機(jī)(圖中均未顯示)；

這里，油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器，用于接收所述控制模塊輸出的所述第一轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石旋轉(zhuǎn)電機(jī)，使油石3以所述第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，所述油石旋轉(zhuǎn)電機(jī)與所述油石3連接。

具體的，本發(fā)明實(shí)施例中油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)7，用于接收所述控制模塊輸出的第一位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石3相對(duì)于所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，沿平行于所述主軸軸向的方向，以第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)；且當(dāng)所述油石3運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，接收所述控制模塊輸出的第三位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石3停止向上運(yùn)動(dòng)。

更具體的，油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)7包括：與所述控制模塊連接油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器以及與所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器連接的油石進(jìn)給電機(jī)(圖中均未顯示)；

這里，油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器，用于接收所述控制模塊輸出的所述第一位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石進(jìn)給電機(jī)，使油石3以所述第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)；且當(dāng)所述油石3運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，接收所述控制模塊輸出的所述第三位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石進(jìn)給電機(jī)，使油石3停止向上運(yùn)動(dòng)。

這里需要說明的是，油石3到達(dá)第二預(yù)設(shè)位置時(shí)，停止向上進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，但油石3仍以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。

具體的，本發(fā)明實(shí)施例中主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4，用于接收所述控制模塊輸出的第二轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)主軸砂輪2以第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，所述第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速大于所述第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速。

這里可以理解為，主軸砂輪2以第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速高速旋轉(zhuǎn)，油石3以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速低速旋轉(zhuǎn)。

更具體的，主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4可以包括：與控制模塊連接的主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器以及與所述主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器連接的主軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)(圖中均未顯示)；

所述主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器，用于接收控制模塊輸出的第二轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)主軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)，使主軸砂輪2以第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。

這里，主軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)與主軸砂輪2連接。

具體的，本發(fā)明實(shí)施例中主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5，用于接收所述控制模塊輸出的第二位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪2以第二預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)；且當(dāng)所述主軸砂輪2運(yùn)動(dòng)至初始位置時(shí)，接收所述控制模塊輸出的第四位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪2以第三預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)。

這里，第三預(yù)設(shè)速度小于第二預(yù)設(shè)速度，可以理解為主軸砂輪2先高速向下進(jìn)給，到達(dá)初始位置時(shí)，再低速向下進(jìn)給，這樣，可避免主軸砂輪2一直以高速進(jìn)給方式運(yùn)動(dòng)到第一預(yù)定位置時(shí)，由于速度過猛撞擊待磨削基片材料，使其受損，嚴(yán)重時(shí)將其撞碎。

更具體的，主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5可以包括：與控制模塊連接的主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器以及與主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器連接的主軸進(jìn)給電機(jī)(圖中均未顯示)；

所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器，用于接收控制模塊輸出的第二位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)主軸進(jìn)給電機(jī)，使主軸砂輪2以第二預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)；且當(dāng)所述主軸砂輪2運(yùn)動(dòng)至初始位置時(shí)，接收控制模塊輸出的第四位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)主軸進(jìn)給電機(jī)，使主軸砂輪2以第三預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)。

這里，主軸進(jìn)給電機(jī)與主軸砂輪2連接。

具體的，本發(fā)明實(shí)施例中承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于接收所述控制模塊輸出的第三轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)承片臺(tái)1以第三預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。

本發(fā)明實(shí)施例提供的砂輪的修整控制系統(tǒng)，控制模塊分別控制主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使得主軸磨削機(jī)構(gòu)相對(duì)承片臺(tái)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)至第一預(yù)定位置、油石修整機(jī)構(gòu)相對(duì)主軸磨削機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)至第二預(yù)定位置時(shí)，主軸砂輪表面同時(shí)與油石表面和承片臺(tái)表面相接觸，可實(shí)現(xiàn)邊磨削基片材料邊修整砂輪的目的，增加基片材料的去除量，提高基片材料的加工效率和表面加工精度，同時(shí)保證砂輪的磨削能力。

第二實(shí)施例

如圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種砂輪的修整控制方法，應(yīng)用于第一實(shí)施例中的砂輪的修整控制系統(tǒng)，包括：

步驟101，根據(jù)預(yù)先記錄的所述油石修整機(jī)構(gòu)中的油石從預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置到所述承片臺(tái)機(jī)構(gòu)中的承片臺(tái)的第一距離值，控制所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述油石以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并控制油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述油石相對(duì)于所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，沿平行于所述主軸軸向的方向，以第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，停止向上運(yùn)動(dòng)，所述第二預(yù)定位置為所述第一距離值+待磨削基片材料的初始片厚；

步驟102，根據(jù)預(yù)先記錄的所述主軸磨削機(jī)構(gòu)中的主軸砂輪從預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置到所述承片臺(tái)的第二距離值，控制所述主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以及第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，并控制所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪相對(duì)于所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，沿所述主軸軸向的方向，以第二預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)至初始位置時(shí)，控制所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以第三預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)，所述第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速大于所述第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速，所述初始位置為距離所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置是所述第二距離值-待磨削基片材料的初始片厚-預(yù)設(shè)空進(jìn)給距離的位置，所述第三預(yù)設(shè)速度小于所述第二預(yù)設(shè)速度；

步驟103，當(dāng)所述主軸砂輪以所述第三預(yù)設(shè)速度運(yùn)動(dòng)至所述第一預(yù)定位置時(shí)，根據(jù)所述待磨削基片材料的目標(biāo)片厚，控制所述主軸砂輪對(duì)所述待磨削基片材料進(jìn)行磨削，并控制所述油石對(duì)所述主軸砂輪表面進(jìn)行修整。

這里需要說明的是，上述步驟101～103的執(zhí)行主體為砂輪的修整控制系統(tǒng)中的控制模塊。

具體的，本發(fā)明實(shí)施例中所述步驟101可進(jìn)一步包括：

步驟1011，在油石位于預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置時(shí)，控制模塊向油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第一轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，并向油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第一位置控制信號(hào)；所述油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第一轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石以第一預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)；所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第一位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石相對(duì)于所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，沿平行于所述主軸軸向的方向，以第一預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)；

步驟1012，當(dāng)所述油石向上運(yùn)動(dòng)至所述第二預(yù)定位置時(shí)，控制模塊向所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第三位置控制信號(hào)；所述油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第三位置信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述油石停止向上運(yùn)動(dòng)。

具體的，本發(fā)明實(shí)施例中所述步驟102可進(jìn)一步包括：

步驟1021，在主軸砂輪位于預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置時(shí)，控制模塊向主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第二轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，控制模塊并向主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第二位置控制信號(hào)，所述主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第二轉(zhuǎn)速控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)與所述主軸砂輪以第二預(yù)設(shè)轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)；所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第二位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪相對(duì)于所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，沿所述主軸軸向的方向，以第二預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)；

步驟1022，當(dāng)所述主軸砂輪向下運(yùn)動(dòng)至初始位置時(shí)，控制模塊向所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出第四位置控制信號(hào)，所述主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)接收所述第四位置控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述主軸砂輪以第三預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步的，如圖5所示，本發(fā)明實(shí)施例中在所述步驟103之后，所述方法還可包括：

步驟104，當(dāng)所述待磨削基片材料的片厚到達(dá)目標(biāo)片厚時(shí)，控制所述主軸砂輪以第四預(yù)設(shè)速度向上運(yùn)動(dòng)至所述預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置，并控制所述主軸砂輪停止旋轉(zhuǎn)，所述第四預(yù)設(shè)速度大于所述第三預(yù)設(shè)速度；

步驟105，控制所述油石以第五預(yù)設(shè)速度向下運(yùn)動(dòng)至所述預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置，并控制所述油石停止旋轉(zhuǎn)，所述第五預(yù)設(shè)速度大于所述第一預(yù)設(shè)速度。

這里需要說明的是，步驟104和步驟105為并列執(zhí)行的兩個(gè)步驟，目的是為了使待磨削基片材料的厚度磨削至目標(biāo)厚度時(shí)，主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)主軸砂輪以及油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)油石快速地退回至相應(yīng)的安全位置。

這里，優(yōu)選的，主軸砂輪對(duì)應(yīng)的安全位置為預(yù)設(shè)主軸零點(diǎn)位置；油石對(duì)應(yīng)的安全位置為預(yù)設(shè)油石零點(diǎn)位置。

需說明的是，本發(fā)明實(shí)施例的砂輪的修整控制方法步驟中涉及到的硬件機(jī)構(gòu)及零部件，其對(duì)應(yīng)的標(biāo)號(hào)與第一實(shí)施例中的硬件機(jī)構(gòu)及零部件的標(biāo)號(hào)一致。

本發(fā)明實(shí)施例提供的砂輪的修整控制方法，通過控制模塊分別控制主軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、主軸進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、油石旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及油石進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使得主軸磨削機(jī)構(gòu)相對(duì)承片臺(tái)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)至第一預(yù)定位置、油石修整機(jī)構(gòu)相對(duì)主軸磨削機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)至第二預(yù)定位置時(shí)，主軸砂輪表面同時(shí)與油石表面和承片臺(tái)表面相接觸，可實(shí)現(xiàn)邊磨削基片材料邊修整砂輪的目的，增加基片材料的去除量，提高基片材料的加工效率和表面加工精度，同時(shí)保證砂輪的磨削能力。

以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。