1.一種超高真空催化裝置，其特征在于，包括用于傳遞團(tuán)簇的超高真空傳樣裝置、用于氣相催化的催化裝置、以及用于檢測(cè)催化產(chǎn)物的四極質(zhì)譜儀；超高真空傳樣裝置的出口端與催化裝置的進(jìn)口端連通，催化裝置的出口端與四極質(zhì)譜儀進(jìn)口端連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空催化裝置，其特征在于，所述催化裝置包括催化裝置本體、加熱裝置、樣品底座以及外部加熱電源，所述外部電源位于所述催化裝置本體外部，所述樣品底座設(shè)于所述催化裝置本體內(nèi)，所述加熱裝置的一端與所述樣品底座連接，所述加熱裝置的另一端與所述外部加熱電源連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超高真空催化裝置，其特征在于，所述催化裝置還包括外部電源儀表以及用于測(cè)量團(tuán)簇電學(xué)特性的電輸運(yùn)測(cè)量裝置，所述外部電源儀表設(shè)于所述催化裝置本體外部，所述電輸運(yùn)測(cè)量裝置的一端與所述樣品底座連接，所述電輸運(yùn)測(cè)量裝置的另一端與所述外部電源儀表連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空催化裝置，其特征在于，所述超高真空傳樣裝置包括傳遞桿、沉積室，所述傳遞桿與所述沉積室連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超高真空催化裝置，其特征在于，所述傳遞桿包括第一伸縮桿、第二伸縮桿、襯底夾、所述第一伸縮桿的一端封閉，另一端套設(shè)于所述第二伸縮桿的一端，所述第二伸縮桿的另一端與所述襯底夾連接。
6.權(quán)利要求5所述的超高真空催化裝置，其特征在于，所述傳遞桿還包括襯底片，所述襯底片與所述襯底夾活動(dòng)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超高真空催化裝置，其特征在于，所述沉積室還包括用于觀測(cè)團(tuán)簇沉積的觀察窗、沉積腔，所述觀察窗設(shè)于所述沉積腔的外部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空催化裝置，其特征在于，所述超高真空催化裝置還包括插板閥，所述插板閥位于所述催化裝置和所述超高真空傳樣裝置之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空催化裝置，其特征在于，所述超高真空催化裝置還包括流量計(jì)，所述流量計(jì)設(shè)置于所述催化裝置的氣體入口處。
10.一種團(tuán)簇沉積設(shè)備，其特征在于，包括團(tuán)簇產(chǎn)生裝置、質(zhì)量檢測(cè)裝置以及如權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的超高真空催化裝置。