本發(fā)明涉及硅片加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置。

背景技術(shù)：

由于太陽光照射到太陽能電池的硅片上，其中一部分太陽光會(huì)被反射，即使對(duì)將硅表面設(shè)計(jì)成絨面，雖然入射光會(huì)產(chǎn)生多次反射可以增加光的吸收率，但是，還是會(huì)有一部分的太陽光會(huì)被反射，為了減少太陽光的反射損失，通常所采取的辦法是在太陽能電池的硅片表面覆蓋一層減反射膜，這層薄膜可以減少太陽光的反射率，增加光電轉(zhuǎn)換效率，在晶體硅表面淀積減反射膜技術(shù)中，氮化硅膜具有高絕緣性、化學(xué)穩(wěn)定性好、致密性好、硬度高等特點(diǎn)，同時(shí)具有良好的掩蔽金屬和水離子沉積的能力，從而被廣泛采用。

在晶體硅太陽能電池制造過程中，制備氮化硅膜通常采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法，簡稱為PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，PECVD是利用強(qiáng)電場使所需的氣體源分子電離產(chǎn)生等離子體，等離子體中含有很多活性很高的化學(xué)基團(tuán)，這些基團(tuán)經(jīng)過經(jīng)一系列化學(xué)和等離子體反應(yīng)，在硅片表面形成固態(tài)薄膜。

目前，在晶體硅太陽能電池制造過程中，用于制備氮化硅膜的裝置主要包括設(shè)置有爐門的真空沉積室，真空沉積室內(nèi)設(shè)有石墨舟，硅片放置于石墨舟上，真空沉積室上設(shè)有進(jìn)氣口與排氣口，所述進(jìn)氣口上連接有用于通入制程氣體的進(jìn)氣管，所述排氣口上連接有排放管，排放管末端連接有真空泵，真空泵的進(jìn)口與排放管的出口相連，真空泵的出口連接有尾排管，其中，在將硅片放置于石墨舟上或?qū)⒐杵瑥氖蹆?nèi)取出時(shí)通過人工實(shí)現(xiàn)硅片的取放，這是一種單調(diào)、重復(fù)的體力勞動(dòng)，效率非常低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種工作效率較高的用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：該用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置，包括支架，所述支架上設(shè)置有托架，所述托架用于放置石墨舟，所述托架上方設(shè)置有用于取放硅片的機(jī)械手，所述支架上通過可拆卸裝置固定有硅片上料盒與硅片下料盒，所述機(jī)械手將硅片上料盒內(nèi)的硅片取出后放入石墨舟內(nèi)或?qū)⑹蹆?nèi)的硅片取出后放入硅片下料盒內(nèi)；

所述機(jī)械手包括移動(dòng)平臺(tái)、兩個(gè)互相平行設(shè)置的第一滑軌，兩個(gè)第一滑軌固定在支架上，所述移動(dòng)平臺(tái)的下表面設(shè)置有兩個(gè)互相平行的第一滑槽，兩個(gè)第一滑軌分別卡入兩個(gè)第一滑槽內(nèi)，所述移動(dòng)平臺(tái)上連接有用于使移動(dòng)平臺(tái)來回移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置，所述移動(dòng)平臺(tái)的上表面設(shè)置有第二滑槽，所述第二滑槽與第一滑槽互相垂直，所述第二滑槽內(nèi)設(shè)置有第一滑塊，所述第一滑塊沿第二滑槽來回滑動(dòng)，所述第二滑槽內(nèi)設(shè)置有用于使第一滑塊來回移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一滑塊上固定有第一支撐板，所述第一支撐板水平設(shè)置，所述第一支撐板的下表面固定有第一U形支撐架，所述第一支撐板與第一U形支撐架圍成第一通孔，所述移動(dòng)平臺(tái)穿過第一通孔，所述第一U形支撐架的底部固定有第二支撐板，所述第二支撐板豎直設(shè)置，所述第二支撐板的一側(cè)設(shè)置有第一支撐桿，所述第二支撐板上設(shè)置有用于使第一支撐桿上下移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一支撐桿上固定有第一支撐架，所述第一支撐架上設(shè)置有第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過軸承固定在第一支撐架上，所述第一支撐架上設(shè)置有用于使第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的第四驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸的末端連接有硅片吸取裝置；

所述硅片吸取裝置包括底座，所述底座的一側(cè)表面固定在第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸的末端，底座的另一側(cè)表面固定有多個(gè)卡板，多個(gè)卡板依次平行設(shè)置，相鄰的兩個(gè)卡板之間的間距與石墨舟的兩個(gè)相鄰的石墨板的間距相同，且卡板的數(shù)量與石墨舟的石墨板數(shù)量相同，每個(gè)卡板上設(shè)置有多個(gè)通孔，每個(gè)通孔的邊緣設(shè)置有多個(gè)固定孔，每個(gè)固定孔內(nèi)設(shè)置有一個(gè)固定板，所述固定板的厚度小于卡板的厚度，每個(gè)通孔中心設(shè)置有吸盤，吸盤上連接有多個(gè)彈簧，多個(gè)彈簧與多個(gè)固定孔一一對(duì)應(yīng)，彈簧的一端固定在吸盤上，另一端固定在固定板上，所述卡板的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)線槽，導(dǎo)線槽的數(shù)量與通孔的數(shù)量相同，每個(gè)導(dǎo)線槽與一個(gè)通孔連通，導(dǎo)線槽內(nèi)設(shè)置有壓縮空氣管，壓縮空氣管的一端與空氣壓縮機(jī)相連，另一端與吸盤相連，所述吸盤、多個(gè)彈簧、每個(gè)固定孔內(nèi)的固定板、每個(gè)導(dǎo)線槽內(nèi)的壓縮空氣管均位于卡板的兩個(gè)表面組成的間隙空間內(nèi)；

所述硅片上料盒包括底板，所述底板的上表面設(shè)置有第一擋板與第二擋板，所述第一擋板與第二擋板平行設(shè)置，所述第一擋板朝向第二擋板的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)第一卡槽，所述第二擋板朝向第一擋板的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)第二卡槽，多個(gè)第一卡槽與多個(gè)第二卡槽一一對(duì)應(yīng)，硅片的一端卡入第一卡槽內(nèi)，硅片的另一端卡入與第一卡槽對(duì)應(yīng)的第二卡槽內(nèi)，所述相鄰的兩個(gè)第一卡槽之間的間距與相鄰的兩個(gè)卡板之間的間距相同，所述第一卡槽的數(shù)量與卡板的數(shù)量相同，所述硅片下料盒與硅片上料盒的結(jié)構(gòu)相同。

進(jìn)一步的是，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置、第二驅(qū)動(dòng)裝置、第三驅(qū)動(dòng)裝置均為電動(dòng)推桿。

進(jìn)一步的是，所述第四驅(qū)動(dòng)裝置為旋轉(zhuǎn)電機(jī)。

進(jìn)一步的是，每個(gè)卡板上通孔的數(shù)量為三個(gè)，且三個(gè)通孔的中心組成一個(gè)等腰三角形。

進(jìn)一步的是，所述第一擋板的上端與第二擋板的上端通過U形連接板相連。

進(jìn)一步的是，所述可拆卸裝置為卡扣。

本發(fā)明的有益效果是：該用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置在工作時(shí)，只需將石墨舟放置在托架的指定位置，然后利用機(jī)械手將硅片上料盒內(nèi)的硅片取出后放入石墨舟內(nèi)或?qū)⑹蹆?nèi)的硅片取出后放入硅片下料盒內(nèi)，可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)的機(jī)械化和自動(dòng)化，取締人工單調(diào)、繁復(fù)的體力勞動(dòng)，大大降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，節(jié)約了人力成本，而且每次取出和放入的硅片數(shù)量較多，大大提高了工作效率。

附圖說明

圖1本發(fā)明所述用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2本發(fā)明所述機(jī)械手的部分結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明所述硅片吸取裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明所述卡板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明所述硅片上料盒的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標(biāo)記說明：支架 1、托架 2、機(jī)械手 3、移動(dòng)平臺(tái) 301、第一滑軌 302、第一滑槽 303、第一驅(qū)動(dòng)裝置 304、第二滑槽 305、第一滑塊 306、第二驅(qū)動(dòng)裝置 307、第一支撐板 308、第一U形支撐架 309、第一通孔 310、第二支撐板 311、第一支撐桿 312、第三驅(qū)動(dòng)裝置 313、第一支撐架 314、第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸 315、第四驅(qū)動(dòng)裝置 316、硅片吸取裝置 317、底座 31701、卡板 31702、固定孔 31703、固定板 31704、吸盤 31705、彈簧 31706、導(dǎo)線槽 31707、壓縮空氣管 31708、硅片上料盒 4、底板 401、第一擋板 402、第二擋板 403、第一卡槽 404、第二卡槽 405、U形連接板 406、硅片下料盒 5。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。

如圖1至5所示，該用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置，包括支架1，所述支架1上設(shè)置有托架2，所述托架2用于放置石墨舟，所述托架2上方設(shè)置有用于取放硅片的機(jī)械手3，所述支架1上通過可拆卸裝置固定有硅片上料盒4與硅片下料盒5，所述機(jī)械手3將硅片上料盒4內(nèi)的硅片取出后放入石墨舟內(nèi)或?qū)⑹蹆?nèi)的硅片取出后放入硅片下料盒5內(nèi)；所述機(jī)械手3包括移動(dòng)平臺(tái)301、兩個(gè)互相平行設(shè)置的第一滑軌302，兩個(gè)第一滑軌302固定在支架1上，所述移動(dòng)平臺(tái)301的下表面設(shè)置有兩個(gè)互相平行的第一滑槽303，兩個(gè)第一滑軌302分別卡入兩個(gè)第一滑槽303內(nèi)，所述移動(dòng)平臺(tái)301上連接有用于使移動(dòng)平臺(tái)301來回移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置304，所述移動(dòng)平臺(tái)301的上表面設(shè)置有第二滑槽305，所述第二滑槽305與第一滑槽303互相垂直，所述第二滑槽305內(nèi)設(shè)置有第一滑塊306，所述第一滑塊306沿第二滑槽305來回滑動(dòng)，所述第二滑槽305內(nèi)設(shè)置有用于使第一滑塊306來回移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置307，所述第一滑塊306上固定有第一支撐板308，所述第一支撐板308水平設(shè)置，所述第一支撐板308的下表面固定有第一U形支撐架309，所述第一支撐板308與第一U形支撐架309圍成第一通孔310，所述移動(dòng)平臺(tái)301穿過第一通孔310，所述第一U形支撐架309的底部固定有第二支撐板311，所述第二支撐板311豎直設(shè)置，所述第二支撐板311的一側(cè)設(shè)置有第一支撐桿312312，所述第二支撐板311上設(shè)置有用于使第一支撐桿312312上下移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)裝置313，所述第一支撐桿312312上固定有第一支撐架314，所述第一支撐架314上設(shè)置有第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315通過軸承固定在第一支撐架314上，所述第一支撐架314上設(shè)置有用于使第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315轉(zhuǎn)動(dòng)的第四驅(qū)動(dòng)裝置316，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315的末端連接有硅片吸取裝置317；所述硅片吸取裝置317包括底座31701，所述底座31701的一側(cè)表面固定在第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸315的末端，底座31701的另一側(cè)表面固定有多個(gè)卡板31702，多個(gè)卡板31702依次平行設(shè)置，相鄰的兩個(gè)卡板31702之間的間距與石墨舟的兩個(gè)相鄰的石墨板的間距相同，且卡板31702的數(shù)量與石墨舟的石墨板數(shù)量相同，每個(gè)卡板31702上設(shè)置有多個(gè)通孔，每個(gè)通孔的邊緣設(shè)置有多個(gè)固定孔31703，每個(gè)固定孔31703內(nèi)設(shè)置有一個(gè)固定板31704，所述固定板31704的厚度小于卡板31702的厚度，每個(gè)通孔中心設(shè)置有吸盤31705，吸盤31705上連接有多個(gè)彈簧31706，多個(gè)彈簧31706與多個(gè)固定孔31703一一對(duì)應(yīng)，彈簧31706的一端固定在吸盤31705上，另一端固定在固定板31704上，所述卡板31702的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)線槽31707，導(dǎo)線槽31707的數(shù)量與通孔的數(shù)量相同，每個(gè)導(dǎo)線槽31707與一個(gè)通孔連通，導(dǎo)線槽31707內(nèi)設(shè)置有壓縮空氣管31708，壓縮空氣管31708的一端與空氣壓縮機(jī)相連，另一端與吸盤31705相連，所述吸盤31705、多個(gè)彈簧31706、每個(gè)固定孔31703內(nèi)的固定板31704、每個(gè)導(dǎo)線槽31707內(nèi)的壓縮空氣管31708均位于卡板31702的兩個(gè)表面組成的間隙空間內(nèi)；所述硅片上料盒4包括底板401，所述底板401的上表面設(shè)置有第一擋板402與第二擋板403，所述第一擋板402與第二擋板403平行設(shè)置，所述第一擋板402朝向第二擋板403的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)第一卡槽404，所述第二擋板403朝向第一擋板402的一側(cè)表面設(shè)置有多個(gè)第二卡槽405，多個(gè)第一卡槽404與多個(gè)第二卡槽405一一對(duì)應(yīng)，硅片的一端卡入第一卡槽404內(nèi)，硅片的另一端卡入與第一卡槽404對(duì)應(yīng)的第二卡槽405內(nèi)，所述相鄰的兩個(gè)第一卡槽404之間的間距與相鄰的兩個(gè)卡板31702之間的間距相同，所述第一卡槽404的數(shù)量與卡板31702的數(shù)量相同，所述硅片下料盒5與硅片上料盒4的結(jié)構(gòu)相同。該用于石墨舟設(shè)備的硅片取放裝置的工作原理如下所述：在需要將硅片放入石墨舟時(shí)，首先將石墨舟放置在托架2的指定位置，并將空的硅片上料盒4從支架1上取下，換上裝滿硅片的硅片上料盒4，由于相鄰的兩個(gè)第一卡槽404之間的間距與相鄰的兩個(gè)卡板31702之間的間距相同，因此可以控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316使每個(gè)卡板31702均插入硅片上料盒4內(nèi)相鄰的兩個(gè)硅片之間，且由于第一卡槽404的數(shù)量與卡板31702的數(shù)量相同，每個(gè)硅片都會(huì)對(duì)應(yīng)一個(gè)卡板31702，此時(shí)空氣壓縮機(jī)工作，每個(gè)吸盤31705將與之對(duì)應(yīng)的硅片吸住，由于相鄰的兩個(gè)卡板31702之間的間距與石墨舟的兩個(gè)相鄰的石墨板的間距相同，因此控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316可以使卡板31702從硅片上料盒4內(nèi)取出并插入石墨舟內(nèi)相鄰的石墨板之間，同時(shí)將空的硅片上料盒4取下?lián)Q上裝滿硅片的硅片上料盒4，此時(shí)空氣壓縮機(jī)停止工作，每個(gè)吸盤31705將與之對(duì)應(yīng)的硅片松開，硅片落入石墨舟內(nèi)，由于卡板31702的數(shù)量與石墨舟的石墨板數(shù)量相同，每次可以放置一排硅片，然后控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316使卡板31702從石墨舟內(nèi)取出并插入硅片上料盒4內(nèi)相鄰的兩個(gè)硅片之間，進(jìn)行下一次硅片放置，重復(fù)上述過程便可以將硅片依次放入石墨舟內(nèi)，而且通過第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313可以控制卡板31702的上下左右前后三個(gè)方向的位移，通過第四驅(qū)動(dòng)裝置316控制卡板31702的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)卡板31702的精確定位，在需要將硅片從石墨舟取出時(shí)，首先控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316使每個(gè)卡板31702均插入石墨舟內(nèi)相鄰的石墨板之間，此時(shí)空氣壓縮機(jī)工作，每個(gè)吸盤31705將與之對(duì)應(yīng)的硅片吸住，由于卡板31702的數(shù)量與石墨舟的石墨板數(shù)量相同，每次可以取出一排硅片，然后再控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316使卡板31702從石墨舟內(nèi)取出并插入硅片下料盒5內(nèi)，并且使每個(gè)硅片的兩端都插入一個(gè)第一卡槽404和第二卡槽405內(nèi)，此時(shí)空氣壓縮機(jī)停止工作，每個(gè)吸盤31705將與之對(duì)應(yīng)的硅片松開，硅片落入硅片上料盒4內(nèi)，同時(shí)將滿的硅片下料盒5取下?lián)Q上空的硅片下料盒5，再控制第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316使卡板31702從硅片下料盒5內(nèi)取出并插入石墨舟內(nèi)具有硅片的石墨板之間，進(jìn)行下一次硅片取出，重復(fù)上述過程便可以將硅片依次取出石墨舟并放入硅片下料盒5內(nèi)，整個(gè)過程可以自動(dòng)進(jìn)行，可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)的機(jī)械化和自動(dòng)化，取締人工單調(diào)、繁復(fù)的體力勞動(dòng)，大大降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，而且每次取出和放入的硅片數(shù)量較多，大大提高了工作效率。

在上述實(shí)施方式中，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313均為電動(dòng)推桿，所述第四驅(qū)動(dòng)裝置316為旋轉(zhuǎn)電機(jī)。這樣便可以通過PLC控制程序?qū)Φ谝或?qū)動(dòng)裝置304、第二驅(qū)動(dòng)裝置307、第三驅(qū)動(dòng)裝置313、第四驅(qū)動(dòng)裝置316進(jìn)行參數(shù)的自由設(shè)置，可以實(shí)現(xiàn)精確控制，且省時(shí)又省力。

為了使硅片吸取裝置317在移動(dòng)過程中避免發(fā)生硅片掉落，每個(gè)卡板31702上通孔的數(shù)量為三個(gè)，且三個(gè)通孔的中心組成一個(gè)等腰三角形，這樣每個(gè)硅片用三個(gè)吸盤31705將其吸住，且吸盤31705組成一個(gè)等腰三角形，其吸力均勻可以牢牢將硅片吸住，避免發(fā)生硅片掉落。

為了保證硅片上料盒4與硅片下料盒5的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，所述第一擋板402的上端與第二擋板403的上端通過U形連接板406相連。

為了方便將硅片上料盒4與硅片下料盒5安裝在支架1上，同是也便于將其拆卸下來，所述可拆卸裝置優(yōu)選為卡扣。