技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種高效氮摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，包括如下步驟：（1）清洗玻璃基片，后用高壓N2吹干；（2）采用直流耦合射頻磁控濺射的方法沉積氮摻雜二氧化鈦薄膜，即射頻電源與匹配器相連接后與直流電源一起連接至濾波器，濾波器直接連接陰極，射頻電源和直流電源一起供電給陰極。本發(fā)明采用直流耦合射頻磁控濺射的方法沉積氮摻雜二氧化鈦薄膜，從而得到沉積速率快，膜層質(zhì)量高的薄膜。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單，條件易控，制備周期短，易于規(guī)模放大。制備的氮摻雜二氧化鈦薄膜結(jié)晶度高，與基底結(jié)合牢固，穩(wěn)定性好，可重復(fù)使用。

技術(shù)研發(fā)人員：彭壽;馬立云;楊勇;姚婷婷;李剛;金克武;沈洪雪;王天齊;甘治平;徐根保
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院;中國(guó)建材國(guó)際工程集團(tuán)有限公司
文檔號(hào)碼：201611188589
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.21
技術(shù)公布日：2017.05.10