本實(shí)用新型涉及薄膜蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種加熱源裝置。

背景技術(shù)：

目前制備OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)主要采用蒸鍍法，即加熱蒸鍍材料，使蒸鍍材料升華或熔融氣化，進(jìn)而附著在待蒸鍍的基板上，形成所需要的薄膜。

進(jìn)行薄膜的蒸鍍所使用的設(shè)備為加熱源裝置，一般加熱源裝置包括具有加熱功能的加熱源，加熱源具有用于容納蒸鍍材料的腔室，加熱源的頂部設(shè)有與所述腔室相通的噴嘴。蒸鍍時(shí)，將蒸鍍材料放置于加熱源的腔室中，并將待蒸鍍的基板放置于加熱源裝置外部、噴嘴的上方，利用加熱源加熱蒸鍍材料，使蒸鍍材料氣化，從噴嘴噴出，附著在待蒸鍍的基板上。

目前蒸鍍過(guò)程存在如下問(wèn)題：蒸鍍過(guò)程中主要依靠加熱源的腔室內(nèi)壁產(chǎn)熱來(lái)進(jìn)行蒸鍍材料的加熱，而制備OLED所需的蒸鍍材料一般為有機(jī)材料，有機(jī)材料的導(dǎo)熱性能較差，這導(dǎo)致蒸鍍材料受熱不均，局部受熱過(guò)高，最終導(dǎo)致蒸鍍速率不穩(wěn)定、蒸鍍材料裂解變性，引起蒸鍍薄膜的質(zhì)量下降。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提供一種加熱源裝置，以解決蒸鍍材料受熱不均所引起的蒸鍍速率不穩(wěn)定、蒸鍍材料裂解變性的問(wèn)題，提高蒸鍍薄膜的質(zhì)量。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

本實(shí)用新型提供了一種加熱源裝置，包括加熱源和安裝在所述加熱源的側(cè)壁上的至少一個(gè)噴嘴，所述加熱源為筒狀，且所述加熱源能夠繞其自身的中心軸旋轉(zhuǎn)；所述加熱源裝置還包括套設(shè)于所述加熱源外部的外筒，所述外筒上設(shè)有至少一個(gè)通孔，在需要進(jìn)行蒸鍍時(shí)，所述加熱源相對(duì)于所述外筒旋轉(zhuǎn)，使至少一個(gè)噴嘴與至少一個(gè)通孔的位置一一對(duì)應(yīng)的重合。

在上述加熱源裝置中，在需要進(jìn)行蒸鍍時(shí)，加熱源相對(duì)于外筒旋轉(zhuǎn)，使至少一個(gè)噴嘴與至少一個(gè)通孔的位置一一對(duì)應(yīng)的重合，從而氣化的蒸鍍材料能夠經(jīng)過(guò)位置相重合的噴嘴和通孔噴出，進(jìn)而附著到待蒸鍍的基板上，形成薄膜。在蒸鍍過(guò)程中，由于加熱源能夠繞其自身的中心軸旋轉(zhuǎn)，因此加熱源內(nèi)部所容納的蒸鍍材料會(huì)在加熱源的旋轉(zhuǎn)作用下而發(fā)生翻動(dòng)，從而使蒸鍍材料受熱均勻，不會(huì)出現(xiàn)局部受熱過(guò)高的現(xiàn)象，提高了蒸鍍速率的穩(wěn)定性，避免了蒸鍍材料裂解變性的問(wèn)題，從而提高了蒸鍍薄膜的質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的加熱源裝置的截面結(jié)構(gòu)圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的加熱源裝置的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的截面結(jié)構(gòu)圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的加熱源裝置的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件封堵噴嘴時(shí)的截面結(jié)構(gòu)圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的加熱源裝置的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件在一種工作狀態(tài)下的截面結(jié)構(gòu)圖；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的加熱源裝置的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件在另一種工作狀態(tài)下的截面結(jié)構(gòu)圖；

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的加熱源裝置的立體結(jié)構(gòu)圖；

圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的加熱源裝置的加熱源的立體結(jié)構(gòu)圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

100-加熱源裝置； 1-加熱源；

11-加熱源本體； 12-加熱絲；

2-噴嘴； 3-外筒；

31-通孔； 4-旋轉(zhuǎn)構(gòu)件；

41-轉(zhuǎn)軸； 42-彈簧；

43-密封堵頭； 44-支撐桿；

45-攪拌桿； 5-內(nèi)蓋；

6-外蓋； 7-主軸；

200-基板。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，均屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

如圖1所示，本實(shí)施例提供了一種加熱源裝置100，該加熱源裝置100包括：加熱源1、噴嘴2和外筒3，其中，加熱源1為筒狀，且加熱源1能夠繞其自身的中心軸旋轉(zhuǎn)；噴嘴2的數(shù)量至少為一個(gè)，且噴嘴2安裝在加熱源1的側(cè)壁上；外筒3套設(shè)于加熱源1外部，外筒3上設(shè)有通孔31，通孔31的數(shù)量至少為一個(gè)。在需要進(jìn)行蒸鍍時(shí)，加熱源1相對(duì)于外筒3旋轉(zhuǎn)，能夠使至少一個(gè)噴嘴2與至少一個(gè)通孔31的位置一一對(duì)應(yīng)的重合，從而加熱源1內(nèi)部氣化的蒸鍍材料(即圖1中所示出的氣體分子)能夠經(jīng)過(guò)位置相重合的噴嘴2與通孔31噴出，進(jìn)而附著在設(shè)置于加熱源裝置100外部的基板200上，實(shí)現(xiàn)薄膜的蒸鍍。

在采用上述加熱源裝置100進(jìn)行蒸鍍過(guò)程中，由于加熱源1能夠繞其自身的中心軸旋轉(zhuǎn)，因此加熱源1內(nèi)部所容納的蒸鍍材料會(huì)在加熱源1的旋轉(zhuǎn)作用下而發(fā)生翻動(dòng)，從而使蒸鍍材料受熱均勻，不會(huì)出現(xiàn)局部受熱過(guò)高的現(xiàn)象，提高了蒸鍍速率的穩(wěn)定性，避免了蒸鍍材料裂解變性的問(wèn)題，從而提高了蒸鍍薄膜的質(zhì)量。

本實(shí)施例中，噴嘴2在加熱源1的側(cè)壁上的設(shè)置形式可為：加熱源1的側(cè)壁上安裝有至少一組噴嘴2，每組噴嘴2包括沿加熱源1的周向均勻分布的N個(gè)噴嘴，N≥2，也就是說(shuō)，每組噴嘴2設(shè)置為圍繞加熱源1的中心軸的一圈噴嘴2。當(dāng)某一噴嘴2發(fā)生堵塞時(shí)，可通過(guò)旋轉(zhuǎn)加熱源1，使另外未發(fā)生堵塞的噴嘴2與外筒3上的通孔31位置相重合，達(dá)到更換用于蒸鍍的噴嘴2的目的，從而有效地避免了由于噴嘴堵塞所引起的蒸鍍速率下降、蒸鍍薄膜質(zhì)量下降的問(wèn)題。

進(jìn)一步的，若加熱源1的側(cè)壁上僅安裝有一組噴嘴2，則外筒3上可設(shè)置一個(gè)通孔31，當(dāng)加熱源1相對(duì)于外筒3繞自身中心軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，該組噴嘴2中的某一噴嘴2能夠與該通孔31的位置重合，從而加熱源1內(nèi)部氣化的蒸鍍材料能夠噴出，這種結(jié)構(gòu)中僅有一個(gè)噴嘴2和一個(gè)通孔31能夠在蒸鍍時(shí)噴出蒸鍍材料，因此具有這種結(jié)構(gòu)的加熱源裝置100為點(diǎn)型加熱源裝置。

另外，若加熱源1的側(cè)壁上安裝有多組噴嘴2，則外筒3上可設(shè)置多個(gè)通孔31，噴嘴2的組數(shù)與通孔31的個(gè)數(shù)相同，且外筒3上所設(shè)置的多個(gè)通孔31沿平行于外筒3的中心軸的方向排成一列，當(dāng)加熱源1相對(duì)于外筒3繞自身中心軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，每組噴嘴2中均有的一個(gè)噴嘴2能夠與一個(gè)通孔31的位置重合，從而加熱源1內(nèi)部氣化的蒸鍍材料能夠噴出，這種結(jié)構(gòu)中有多個(gè)噴嘴2和多個(gè)通孔31能夠在蒸鍍時(shí)噴出蒸鍍材料，而多個(gè)通孔31排成一列，因此具有這種結(jié)構(gòu)的加熱源裝置100為線型加熱源裝置。

本實(shí)施例中，外筒3的作用為：在進(jìn)行蒸鍍時(shí)，通過(guò)自身通孔31暴露需要使用的噴嘴2，同時(shí)通過(guò)自身側(cè)壁封閉其余不需要使用的噴嘴2，但是外筒3僅能從噴嘴2的出氣端封閉噴嘴2，不能從噴嘴2的進(jìn)氣端封閉噴嘴2。為了更好地封閉不需要使用的噴嘴2，防止蒸鍍材料由噴嘴2的進(jìn)氣端進(jìn)入噴嘴2內(nèi)部造成噴嘴2堵塞，參見(jiàn)圖1和圖2，可在加熱源1的腔室內(nèi)設(shè)置至少一組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4，加熱源1側(cè)壁上所安裝的至少一組噴嘴2與加熱源1的腔室內(nèi)所設(shè)置的至少一組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4一一對(duì)應(yīng)，也就是說(shuō)，加熱源1側(cè)壁上所安裝的噴嘴2的組數(shù)與加熱源1的腔室內(nèi)所設(shè)置的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4的組數(shù)相同，并且各組噴嘴2與各組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4的位置一一對(duì)應(yīng)。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中稱(chēng)噴嘴2的靠近外筒3的端口為其出氣端，稱(chēng)噴嘴2的與加熱源1內(nèi)部腔室相通的端口為其進(jìn)氣端。

每組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4的結(jié)構(gòu)為：包括轉(zhuǎn)軸41、彈簧42和密封堵頭43，其中，轉(zhuǎn)軸41的軸向沿加熱源1的軸向(即其中心軸的軸向)；彈簧42的數(shù)量為N-1個(gè)，也就是說(shuō)，每組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4所包括的彈簧42的數(shù)量比對(duì)應(yīng)組噴嘴2所包括的噴嘴2的數(shù)量少1，彈簧42的一端安裝在轉(zhuǎn)軸41上，且彈簧42沿轉(zhuǎn)軸41的徑向；密封堵頭43的數(shù)量也為N-1個(gè)，每組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4所包括的N-1個(gè)彈簧42與每組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4所包括N-1個(gè)密封堵頭43一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，密封堵頭43安裝于對(duì)應(yīng)彈簧42遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)軸41的一端。

如圖3所示，當(dāng)需要封堵噴嘴2的進(jìn)氣端時(shí)，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸41，在轉(zhuǎn)軸41的帶動(dòng)下，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4的密封堵頭43的外端與待封堵的噴嘴2的進(jìn)氣端相接觸，當(dāng)轉(zhuǎn)軸41進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)時(shí)，彈簧42壓縮，密封堵頭43的外端與待封堵的噴嘴2的進(jìn)氣端相抵，在彈簧42的回彈力的作用下，密封堵頭43的外端封堵住待封堵的噴嘴2的進(jìn)氣端。經(jīng)過(guò)上述過(guò)程，在轉(zhuǎn)軸41的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)下，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4的所包括的N-1個(gè)密封堵頭43能夠?qū)?duì)應(yīng)組噴嘴2中的N-1個(gè)噴嘴2分別封堵，對(duì)應(yīng)組噴嘴2中的僅余一個(gè)噴嘴2未被封堵，用于噴出氣化的蒸鍍材料。

旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4可以有兩種工作過(guò)程：第一種工作過(guò)程為，如圖4所示，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4隨加熱源1旋轉(zhuǎn)，從而保證在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中需要封堵的噴嘴2始終被旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4的密封堵頭43所封堵，這種工作過(guò)程比較適用于熔融型蒸鍍材料的加熱，有效地避免受熱后熔融呈液態(tài)的蒸鍍材料流入噴嘴2中。第二種工作過(guò)程為，如圖5所示，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4不旋轉(zhuǎn)，加熱源1旋轉(zhuǎn)，這種工作過(guò)程比較適用于升華型蒸鍍材料的加熱。

優(yōu)選的，為了使密封堵頭43能夠比較容易的封堵住待封堵的噴嘴2的進(jìn)氣端，并提高封堵的嚴(yán)密性，可以將密封堵頭43的外端端面設(shè)置為球面，這樣的設(shè)計(jì)使得密封堵頭43的外端能夠沿著自身的表面弧度比較容易的滑入待封堵的噴嘴2的進(jìn)氣端端口內(nèi)，并且密封堵頭43的外端一部分或全部處于待封堵的噴嘴2的進(jìn)氣端端口內(nèi)，提高了封堵的嚴(yán)密性。

請(qǐng)?jiān)俅螀⒁?jiàn)圖1和圖2，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4還可包括支撐桿44，每組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4所包括的支撐桿44的數(shù)量為N-1個(gè)，這N-1個(gè)支撐桿44與每組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4所包括的N-1個(gè)彈簧42一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，支撐桿44連接于對(duì)應(yīng)彈簧42和密封堵頭43之間，支撐桿44的設(shè)置使得密封堵頭43對(duì)噴嘴2的封堵作用易于實(shí)現(xiàn)，并且方便了密封堵頭43的安裝。

本實(shí)施例中，每組噴嘴2所包括的噴嘴2的數(shù)量可根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置，可選的，每組噴嘴2可包括4個(gè)噴嘴2，相應(yīng)的，每組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4所包括的彈簧42和密封堵頭43的數(shù)量可均為3個(gè)。

如圖6所示，若本實(shí)施例所提供的加熱源裝置100包括多組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4，則這些旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4優(yōu)選的可共用同一根轉(zhuǎn)軸41，這樣就可以同時(shí)控制這些旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4，使這些旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4同步旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步的，為了方便轉(zhuǎn)軸41的設(shè)置，可在轉(zhuǎn)軸41的兩端分別安裝一內(nèi)蓋5，將這兩個(gè)內(nèi)蓋5設(shè)置于加熱源1內(nèi)部，且固定在加熱源1的側(cè)壁上，并使轉(zhuǎn)軸41能夠相對(duì)于這兩個(gè)內(nèi)蓋5旋轉(zhuǎn)，從而利用內(nèi)蓋5實(shí)現(xiàn)了轉(zhuǎn)軸41的設(shè)置。此外，為了給轉(zhuǎn)軸41的旋轉(zhuǎn)提供驅(qū)動(dòng)力，可將轉(zhuǎn)軸41連接至一電機(jī)，稱(chēng)該電機(jī)為第一電機(jī)，從而可利用第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸41旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使轉(zhuǎn)軸41帶動(dòng)密封堵頭43旋轉(zhuǎn)。

請(qǐng)?jiān)俅螀⒁?jiàn)圖6，本實(shí)施例中，每組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4還可包括N-1根攪拌桿45，這N-1根攪拌桿45與每組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4所包括的N-1個(gè)密封堵頭43一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，攪拌桿45安裝于對(duì)應(yīng)密封堵頭43上，且攪拌桿45平行于轉(zhuǎn)軸41的軸向，這樣的設(shè)計(jì)使得在旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，攪拌桿45能夠起到翻動(dòng)蒸鍍材料的作用，從而進(jìn)一步提高了蒸鍍材料的受熱均勻性。進(jìn)一步的，若加熱源裝置100包括多組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4，則這些旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4優(yōu)選的可共用同一根轉(zhuǎn)軸41，且共用N-1根攪拌桿45，也就是說(shuō)，利用一根轉(zhuǎn)軸41來(lái)同時(shí)控制多組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4的旋轉(zhuǎn)，并且各組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4中，在沿平行于轉(zhuǎn)軸41的方向上排成一列的各密封堵頭43與同一根攪拌桿45依次相接，由于每組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4包括N-1個(gè)密封堵頭43，因此從整體來(lái)看在沿平行于轉(zhuǎn)軸41的方向上會(huì)有N-1列密封堵頭43，從而多組旋轉(zhuǎn)構(gòu)件4可共用N-1根攪拌桿45，這樣的設(shè)計(jì)可簡(jiǎn)化加熱源裝置100的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，并且增強(qiáng)蒸鍍材料的翻動(dòng)效果。

請(qǐng)?jiān)俅螀⒁?jiàn)圖6，為了在加熱源1內(nèi)部形成密閉腔室，本實(shí)施例中的加熱源裝置100還可包括兩個(gè)外蓋6，這兩個(gè)外蓋6分別安裝于加熱源1的兩端，與加熱源1形成密閉的腔室。為了實(shí)現(xiàn)加熱源1的旋轉(zhuǎn)功能，可在所形成的密閉的腔室外部設(shè)置主軸7，主軸7沿加熱源1的軸向，主軸7的數(shù)量可為一根，安裝于某一外蓋6上(參見(jiàn)圖6)，主軸7的數(shù)量也為兩根，分別安裝在兩個(gè)外蓋6上，通過(guò)主軸7的旋轉(zhuǎn)能夠帶動(dòng)加熱源1繞自身中心軸旋轉(zhuǎn)。為了給主軸7的旋轉(zhuǎn)提供驅(qū)動(dòng)力，可將主軸7連接至一電機(jī)，稱(chēng)該電機(jī)為第二電機(jī)，利用第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)主軸7旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)加熱源1旋轉(zhuǎn)。

進(jìn)一步的，對(duì)于既包括轉(zhuǎn)軸41，又包括主軸7的加熱源裝置100，可采用同一個(gè)電機(jī)為轉(zhuǎn)軸41和主軸7提供驅(qū)動(dòng)力，即所述第一電機(jī)和所述第二電機(jī)為同一個(gè)電機(jī)，從而減少了電機(jī)的使用數(shù)量，有利于降低成本。

如圖7所示，本實(shí)施例中，加熱源1的結(jié)構(gòu)可為：包括加熱源主體11，及設(shè)置于加熱源主體11內(nèi)部的加熱絲12，加熱絲12圍繞加熱源主體11的中心軸呈螺旋狀，這樣可提高加熱源1內(nèi)部溫度的均勻性。

以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。