本實(shí)用新型涉及一種真空鍍膜機(jī)，屬于鍍膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)在進(jìn)行支架傳輸時(shí)比較困難，而且浪費(fèi)時(shí)間，工作效率低，操作復(fù)雜。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種真空鍍膜機(jī)。
本實(shí)用新型的一種真空鍍膜機(jī)，它包含機(jī)架、第一過(guò)渡腔、鍍膜腔、第二過(guò)渡腔、真空隔離閥、真空抽泵、過(guò)渡門、支架傳輸軌、鍍膜支架、電弧濺射源機(jī)構(gòu)、氣液分離器、單向氣閥；機(jī)架的內(nèi)部分別設(shè)置有第一過(guò)渡腔、鍍膜腔、第二過(guò)渡腔，第一過(guò)渡腔、鍍膜腔、第二過(guò)渡腔之間依次通過(guò)真空隔離閥連接，鍍膜腔、第二過(guò)渡腔的內(nèi)部安裝有鍍膜支架，第一過(guò)渡腔的一側(cè)安裝有過(guò)渡門，真空吸泵安裝在機(jī)架的側(cè)面，且真空吸泵通過(guò)管道分別與第一過(guò)渡腔、鍍膜腔、第二過(guò)渡腔的抽真空口連接，且抽真空口上安裝有單向氣閥，氣液分離器安裝在真空吸泵的管道上，電弧濺射源機(jī)構(gòu)安裝在鍍膜腔的內(nèi)部，支架傳輸軌安裝在機(jī)架的內(nèi)部，且支架傳輸軌與鍍膜腔、第二過(guò)渡腔連接。
作為優(yōu)選，所述的真空抽泵為大功率真空抽泵。
作為優(yōu)選，所述的機(jī)架的底部安裝有支撐腳。
本實(shí)用新型的有益效果為：便于實(shí)現(xiàn)快速抽真空與真空鍍膜，同時(shí)傳輸快速，節(jié)省時(shí)間。
附圖說(shuō)明：
為了易于說(shuō)明，本實(shí)用新型由下述的具體實(shí)施及附圖作以詳細(xì)描述。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中：1-機(jī)架；2-第一過(guò)渡腔；3-鍍膜腔；4-第二過(guò)渡腔；5-真空隔離閥；6-真空抽泵；7-過(guò)渡門；8-支架傳輸軌；9-鍍膜支架；10-電弧濺射源機(jī)構(gòu)；11-氣液分離器；12-單向氣閥。
具體實(shí)施方式：
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明了，下面通過(guò)附圖中示出的具體實(shí)施例來(lái)描述本實(shí)用新型。但是應(yīng)該理解，這些描述只是示例性的，而并非要限制本實(shí)用新型的范圍。此外，在以下說(shuō)明中，省略了對(duì)公知結(jié)構(gòu)和技術(shù)的描述，以避免不必要地混淆本實(shí)用新型的概念。
如圖1所示，本具體實(shí)施方式采用以下技術(shù)方案：它包含機(jī)架1、第一過(guò)渡腔2、鍍膜腔3、第二過(guò)渡腔4、真空隔離閥5、真空抽泵6、過(guò)渡門7、支架傳輸軌8、鍍膜支架9、電弧濺射源機(jī)構(gòu)10、氣液分離器11、單向氣閥12；機(jī)架1的內(nèi)部分別設(shè)置有第一過(guò)渡腔2、鍍膜腔3、第二過(guò)渡腔4，第一過(guò)渡腔2、鍍膜腔3、第二過(guò)渡腔4之間依次通過(guò)真空隔離閥5連接，鍍膜腔3、第二過(guò)渡腔4的內(nèi)部安裝有鍍膜支架9，第一過(guò)渡腔2的一側(cè)安裝有過(guò)渡門7，真空吸泵6安裝在機(jī)架1的側(cè)面，且真空吸泵6通過(guò)管道分別與第一過(guò)渡腔2、鍍膜腔3、第二過(guò)渡腔4的抽真空口連接，且抽真空口上安裝有單向氣閥12，氣液分離器11安裝在真空吸泵6的管道上，電弧濺射源機(jī)構(gòu)10安裝在鍍膜腔3的內(nèi)部，支架傳輸軌8安裝在機(jī)架1的內(nèi)部，且支架傳輸軌8與鍍膜腔3、第二過(guò)渡腔4連接。
進(jìn)一步的，所述的真空抽泵6為大功率真空抽泵。
進(jìn)一步的，所述的機(jī)架1的底部安裝有支撐腳。
本具體實(shí)施方式的工作原理為：第一過(guò)渡腔中的鍍膜支架裝上被鍍工件，真空吸泵6實(shí)現(xiàn)抽真空，同時(shí)對(duì)第一過(guò)渡腔中的工件進(jìn)行加熱與離子清洗，打開真空隔離閥5，鍍膜支架進(jìn)入鍍膜腔進(jìn)行鍍膜，完成后，通過(guò)支架傳輸軌8將鍍膜支架傳輸?shù)降诙^(guò)渡腔7內(nèi)，第二過(guò)渡腔7內(nèi)的工件通過(guò)打開真空隔離閥5傳輸?shù)藉兡で粌?nèi)，能節(jié)省時(shí)間，操作簡(jiǎn)便。
以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。