本實(shí)用新型涉及有機(jī)電致發(fā)光器件制備領(lǐng)域，更具體涉及一種噴嘴。

背景技術(shù)：

有機(jī)電致顯示(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件由于同時(shí)具備自發(fā)光、不需背光源、對(duì)比度高、厚度薄、視角廣、反應(yīng)速度快、可用于撓曲性面板、使用溫度范圍廣、構(gòu)造及制作過(guò)程較簡(jiǎn)單等優(yōu)異的特性，被認(rèn)為是下一代的平面顯示器的新興應(yīng)用技術(shù)。

OLED器件在制作過(guò)程中，線性蒸發(fā)源將有機(jī)材料進(jìn)行加熱，材料分子在受熱后通過(guò)內(nèi)板(Inner plate)均一化后，經(jīng)過(guò)線性蒸發(fā)源的噴嘴(Nozzle)將其蒸鍍到低溫多晶硅(LTPS)基板上。傳統(tǒng)技術(shù)中由于線性蒸發(fā)源的坩堝加熱的溫度均勻性不好，坩堝頂部溫度高于底部溫度，而坩堝頂部的加熱絲在加熱過(guò)程中加熱噴嘴的底部位置，坩堝底部的加熱絲在加熱過(guò)程中加熱噴嘴的頂部位置，噴嘴頂部又靠近冷卻板，這樣導(dǎo)致噴嘴頂部的溫度相對(duì)低，圖1A、圖1B分別為線性蒸發(fā)源的噴嘴的側(cè)視圖和俯視圖。溫度過(guò)低會(huì)導(dǎo)致材料經(jīng)過(guò)噴嘴頂部時(shí)發(fā)生材料粘貼在噴嘴內(nèi)壁上的現(xiàn)象，時(shí)間長(zhǎng)就會(huì)導(dǎo)致噴嘴堵塞。目前由于噴嘴堵塞造成的線性蒸發(fā)源故障的頻率在10％～15％左右。噴嘴堵塞后導(dǎo)致坩堝內(nèi)部壓強(qiáng)發(fā)生變化，蒸鍍形成的有機(jī)材料薄膜厚度均一性變差，影響器件性能。

另外，目前線性蒸發(fā)源為10個(gè)有機(jī)蒸鍍腔室，共19個(gè)線性坩堝，每個(gè)坩堝上面至少有9個(gè)噴嘴，并且是在在線工作Inline狀態(tài)下所有腔室一起蒸鍍，如有一個(gè)坩堝上的一個(gè)噴嘴發(fā)生堵塞，解決噴嘴阻塞(Nozzle Clogging)問(wèn)題時(shí)需要同時(shí)停止其他腔室中的噴嘴，其他腔室中噴嘴的利用率嚴(yán)重下，造成資源的浪費(fèi)。并且處理噴嘴堵塞需要降溫開(kāi)腔后處理再升溫抽成真空，目前對(duì)于該問(wèn)題的處理至少需要12小時(shí)，嚴(yán)重影響了工作效率和產(chǎn)品的制作效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何提高蒸鍍噴嘴噴頭部位的溫度。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種噴嘴，所述噴嘴包括噴射件以及溫度維持部件，所述溫度維持部件設(shè)置在所述噴射件的外側(cè)或內(nèi)側(cè)，所述溫度維持部件用于將所述噴射件向外輻射的熱量反射回所述噴射件，以提高所述噴射件的噴射部位的溫度，或者通過(guò)熱傳導(dǎo)的方式將噴射件底部的熱量傳導(dǎo)到所述噴射件的噴射部位，以提高所述噴射件的噴射部位的溫度。

優(yōu)選地，所述溫度維持部件設(shè)置在所述噴射件的外側(cè)，與所述噴射件不接觸，并且所述溫度維持部件為筒狀結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述溫度維持部件與所述噴射件同軸。

優(yōu)選地，所述溫度維持部件與所述噴射件等高。

優(yōu)選地，所述溫度維持部件包括多個(gè)外徑不同的筒狀結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述溫度維持部件的每個(gè)所述筒狀結(jié)構(gòu)的厚度均為0.1～1mm。

優(yōu)選地，所述噴射件為不銹鋼噴射件。

優(yōu)選地，所述噴射件為筒狀結(jié)構(gòu)，并且所述噴射件的內(nèi)壁設(shè)置有導(dǎo)熱膜。

優(yōu)選地，所述噴射件為銅噴射件。

優(yōu)選地，溫度維持部件為不銹鋼溫度維持部件。

優(yōu)選地，所述噴射件為筒狀結(jié)構(gòu)，所述溫度維持部件為設(shè)置在所述噴射件的內(nèi)壁的金屬薄膜。

優(yōu)選地，所述噴射件的內(nèi)壁設(shè)置有銅薄膜。

優(yōu)選地，所述銅薄膜的厚度為0.5～5mm。

本實(shí)用新型提供了一種噴嘴，該噴嘴包括噴射件和溫度維持部件，溫度維持部件設(shè)置在噴射件的外側(cè)或內(nèi)側(cè)，溫度維持部件用于將噴射件向外輻射的熱量反射回噴射件，以提高噴射件的噴射部位的溫度，或者通過(guò)熱傳導(dǎo)的方式將噴射件底部的熱量傳導(dǎo)到噴射件的噴射部位，以提高噴射件的噴射部位的溫度，從而避免了噴射物冷卻粘貼在噴射件的噴射部位(即噴頭位置)而造成堵塞和因噴射件(或噴嘴)，阻塞造成的線性蒸發(fā)源利用率下降，從提高了工作效率和產(chǎn)品的制作效率，同時(shí)由于噴嘴的受熱均勻，因此提高了蒸鍍形成的蒸鍍膜厚度的均一性，從而保證了器件的性能。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1A是現(xiàn)有技術(shù)中線性蒸發(fā)源噴嘴的側(cè)視圖；

圖1B是現(xiàn)有技術(shù)中線性蒸發(fā)源噴嘴的俯視圖；

圖2是本實(shí)用新型的實(shí)施例一的噴嘴的側(cè)視圖；

圖3是本實(shí)用新型的實(shí)施例三的噴嘴的側(cè)視圖；

圖4為本實(shí)用新型的實(shí)施例四的噴嘴的俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不能用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。

一種噴嘴，所述噴嘴包括噴射件以及溫度維持部件，所述溫度維持部件設(shè)置在所述噴射件的外側(cè)或內(nèi)側(cè)，所述溫度維持部件用于將所述噴射件向外輻射的熱量反射回所述噴射件，以提高所述噴射件的噴射部位的溫度，或者通過(guò)熱傳導(dǎo)的方式將噴射件底部的熱量傳導(dǎo)到所述噴射件的噴射部位，以提高所述噴射件的噴射部位的溫度，從而避免了噴射物冷卻粘貼在噴射件的噴射部位(即噴頭位置)而造成堵塞和因噴射件(或噴嘴)阻塞造成的線性蒸發(fā)源利用率下降，從而提高了工作效率和產(chǎn)品的制作效率，同時(shí)由于噴嘴受熱均勻，提高了蒸鍍形成的蒸鍍膜厚度的均一性，從而保證了器件的性能。

進(jìn)一步地，溫度維持部件設(shè)置在所述噴射件的外側(cè)，與所述噴射件不接觸，并且所述溫度維持部件為筒狀結(jié)構(gòu)，此種結(jié)構(gòu)的噴嘴能夠利用溫度維持部件將所述噴射件向外輻射的熱量反射回所述噴射件，以提高所述噴射件的噴射部位的溫度。另外，將所述噴射件設(shè)計(jì)為筒狀結(jié)構(gòu)。筒狀的結(jié)構(gòu)使噴射件對(duì)其內(nèi)部材料的壓力均一，從而使噴射出去的材料的均更加均勻，從而進(jìn)一步提高了形成的蒸鍍膜的厚度發(fā)熱均一性。

進(jìn)一步地，為保證溫度維持部件反射回噴射件的熱量更加均勻，將所述溫度維持部件設(shè)計(jì)為與所述噴射件同軸，從而實(shí)現(xiàn)均勻的提高噴射件噴射部位的溫度。為進(jìn)一步提高溫度維持部件反射回噴射件的熱量均勻性，將所述反射件與所述噴射件等高設(shè)置。例如可將溫度維持部件和噴射件設(shè)置為等高、同軸的圓筒狀結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述溫度維持部件為不銹鋼溫度維持部件。

為了進(jìn)一步地提高噴射件噴射部位的溫度，避免噴射物粘貼，將所述溫度維持部件設(shè)計(jì)為包括多個(gè)外徑不同并且同軸的筒狀結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，每個(gè)所述筒狀結(jié)構(gòu)的厚度可以為0.1～1mm。外徑不同的多個(gè)筒狀結(jié)構(gòu)可以將透過(guò)內(nèi)層的筒狀結(jié)構(gòu)的熱能被外層筒狀結(jié)構(gòu)反射回噴射件，從而達(dá)到進(jìn)一步提高噴射件噴射部位的溫度的目的。

進(jìn)一步地，所述噴射件為不銹鋼噴射件，為了提高噴射件的熱均勻性，在噴射件的內(nèi)壁設(shè)置有導(dǎo)熱性能好的導(dǎo)熱膜，例如金屬薄膜，優(yōu)選地，噴射件的內(nèi)壁設(shè)置有銅薄膜，從而有效提高噴射件內(nèi)部的溫度以及噴射件不同部位的熱均勻性。其中所述銅薄膜的厚度可以為0.5～5mm。

另外，所述噴射件可以為銅噴射件，進(jìn)一步地提高了噴射件的導(dǎo)熱性，從而實(shí)現(xiàn)將噴射件底部的熱量很好的傳導(dǎo)到噴射件的噴射部，達(dá)到提高噴射件噴射部位溫度的目的。

進(jìn)一步地，所述溫度維持部件為設(shè)置在所述噴射件的內(nèi)壁的金屬薄膜，其中噴射件為筒狀結(jié)構(gòu)，優(yōu)選地，在所述噴射件的內(nèi)壁設(shè)置銅薄膜，通過(guò)利用金屬薄膜的良好的熱傳導(dǎo)性將將噴射件底部的熱量很好的傳導(dǎo)到噴射件的噴射部，提高噴射件噴射部位溫度。

下面通過(guò)幾個(gè)具體的實(shí)施例對(duì)上述噴嘴進(jìn)行詳細(xì)介紹。

實(shí)施例一：

如圖2所示，本實(shí)施例的噴嘴包括噴射件1以及設(shè)置在所述噴射件外部的溫度維持部件2，所述溫度維持部件2將所述噴射件1向外輻射的熱量反射回所述噴射件1，從而提高了所述噴射件1的噴射部位的溫度。

本實(shí)施例中，噴射件采用導(dǎo)熱性能更好的Cu材質(zhì)，為圓筒狀。如圖2所示，溫度維持部件為多個(gè)同軸、等高、直徑不同的圓筒狀，并且與噴射件同軸等高。溫度維持部件采用不銹鋼SUS材質(zhì)，厚度為0.5mm。溫度維持部件的作用是將熱量傳遞給Cu噴射件，溫度維持部件設(shè)置為多個(gè)同軸、半徑不同并且互不接觸的圓筒狀設(shè)置，其作用是可以更加有效的將噴射件輻射的熱量以及透過(guò)反射件輻射出去的熱量重新反射回噴射件，從而可以更加有效的提高噴射件噴射部位(即提高Cu噴射件頂部)以及整個(gè)噴射件的溫度，頂部溫度升高后噴射材料不容易粘貼在噴射件內(nèi)壁上，不會(huì)引起噴嘴堵塞。另外，Cu材質(zhì)的噴射件的直徑可以是現(xiàn)有技術(shù)中的噴嘴的直徑的一半，最外圍的反射件的直徑與現(xiàn)有技術(shù)中的噴嘴的直徑相等，從而使本實(shí)施例中的噴嘴的直徑與現(xiàn)有技術(shù)中噴嘴的直徑相等。

本實(shí)施例中的噴嘴利用溫度維持部件2將噴射件1輻射出來(lái)的熱量重新反射回噴射件1，從而可以提高噴射件噴射部位的溫度，避免了由于噴射件噴射部位溫度冷卻快造成的噴射物冷卻粘貼在噴射件的噴射部位，造成堵塞和線性蒸發(fā)源利用率下降的問(wèn)題。同時(shí)利用溫度維持部件2將噴射件1的輻射出來(lái)的熱量反射回噴射件可以提高熱量的利用率，節(jié)省由于保持或提高反射件的溫度所消耗的資源。

實(shí)施例二：

本實(shí)施例與實(shí)施例一的區(qū)別在于，本實(shí)施例的噴射件的材質(zhì)為不銹鋼SUS。相比于實(shí)施例一本實(shí)施例的噴射件的導(dǎo)熱性不夠好，但是由于設(shè)置了多個(gè)同軸、等高、直徑不同的筒狀的溫度維持部件，同樣可以有效的將噴射件輻射的熱量以及透過(guò)內(nèi)層溫度維持部件輻射出去的熱量重新反射回噴射件，從而可以有效的提高噴射件噴射部位以及整個(gè)噴射件的溫度，從而使使材料不容易粘貼在冷卻的噴射件內(nèi)壁上，避免引起噴嘴堵塞。

實(shí)施例三：

在實(shí)施例二的基礎(chǔ)上為了提高噴射件的導(dǎo)熱性，本實(shí)施例在噴射件1的內(nèi)壁上鍍一層銅質(zhì)薄膜3，作為導(dǎo)熱膜，如圖3所示，其中薄膜的厚度為2mm，通過(guò)銅的良好的導(dǎo)熱性，可以將噴射件頂部以下的部分的熱量有效的傳導(dǎo)到噴射件的噴射頂部，從而可以進(jìn)一步地提高噴射件頂部的溫度，從而使噴射材料不容易粘貼在噴射件內(nèi)壁上引起噴嘴堵塞。

實(shí)施例四：

本實(shí)施例的噴嘴的溫度維持部件為設(shè)置在所述噴射件的內(nèi)壁的金屬薄膜4，如圖4所示，并且該金屬薄膜4選用價(jià)格低導(dǎo)熱性能好的銅薄膜，其中銅薄膜的厚度設(shè)置為0.5～5mm之間，例如，可以為2mm，單獨(dú)在噴射件的內(nèi)壁設(shè)置導(dǎo)熱性能好的銅薄膜，同樣可以實(shí)現(xiàn)將噴射件底部的熱量傳導(dǎo)到噴射件的噴射部位，達(dá)到提高噴射件噴射部位溫度的目的，從而使噴射材料不容易粘貼在噴射件內(nèi)壁上引起噴嘴堵塞。

本實(shí)用新型的噴嘴通過(guò)設(shè)計(jì)溫度維持部件來(lái)提高噴射件噴射部位的溫度，溫度維持部件的作用是給噴射件傳遞熱量，使噴射件能夠受到溫度維持部件傳遞的熱量，來(lái)保證噴射件受到的熱量均勻。由于加熱絲加熱對(duì)噴嘴來(lái)說(shuō)，各個(gè)位置受到的熱量是有差異的，因此優(yōu)選地采用銅質(zhì)噴射件或內(nèi)壁鍍銅的噴射件來(lái)提高噴射件的導(dǎo)熱性，達(dá)到提高噴射件熱均勻性、提高噴射件頂部溫度的目的。另外可以使用多圈溫度維持部件的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)噴射件頂部溫度的提高，避免由于噴射件受熱不均導(dǎo)致的噴嘴堵塞，材料浪費(fèi)以及最終導(dǎo)致的蒸鍍膜厚不均勻的問(wèn)題，本實(shí)用新型能夠有效的提高噴射件內(nèi)壁的溫度，防止噴嘴堵塞，提高量產(chǎn)產(chǎn)能，保證器件性能。

需要說(shuō)明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。術(shù)語(yǔ)“上”、“下”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

本發(fā)明的說(shuō)明書(shū)中，說(shuō)明了大量具體細(xì)節(jié)。然而能夠理解的是，本發(fā)明的實(shí)施例可以在沒(méi)有這些具體細(xì)節(jié)的情況下實(shí)踐。在一些實(shí)例中，并未詳細(xì)示出公知的方法、結(jié)構(gòu)和技術(shù)，以便不模糊對(duì)本說(shuō)明書(shū)的理解。類似地，應(yīng)當(dāng)理解，為了精簡(jiǎn)本發(fā)明公開(kāi)并幫助理解各個(gè)發(fā)明方面中的一個(gè)或多個(gè)，在上面對(duì)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的描述中，本發(fā)明的各個(gè)特征有時(shí)被一起分組到單個(gè)實(shí)施例、圖、或者對(duì)其的描述中。然而，并不應(yīng)將該公開(kāi)的方法解釋呈反映如下意圖：即所要求保護(hù)的本發(fā)明要求比在每個(gè)權(quán)利要求中所明確記載的特征更多的特征。更確切地說(shuō)，如權(quán)利要求書(shū)所反映的那樣，發(fā)明方面在于少于前面公開(kāi)的單個(gè)實(shí)施例的所有特征。因此，遵循具體實(shí)施方式的權(quán)利要求書(shū)由此明確地并入該具體實(shí)施方式，其中每個(gè)權(quán)利要求本身都作為本發(fā)明的單獨(dú)實(shí)施例。需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。本發(fā)明并不局限于任何單一的方面，也不局限于任何單一的實(shí)施例，也不局限于這些方面和/或?qū)嵤├娜我饨M合和/或置換。而且，可以單獨(dú)使用本發(fā)明的每個(gè)方面和/或?qū)嵤├蛘吲c一個(gè)或更多其他方面和/或其實(shí)施例結(jié)合使用。

最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上各實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍，其均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求和說(shuō)明書(shū)的范圍當(dāng)中。