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一種多晶硅鑄錠爐的制作方法

文檔序號(hào):11040365閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種多晶硅鑄錠爐,所述鑄錠爐內(nèi)設(shè)置有坩堝、護(hù)板、蓋板、底板,坩堝放置在底板上,護(hù)板設(shè)置在坩堝外側(cè),蓋板設(shè)置在坩堝上方,其特征在于:所述護(hù)板四周設(shè)置有保溫材料,所述保溫材料設(shè)置在所述護(hù)板上方的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于:所述的保溫材料為石墨碳?xì)帧?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于:所述的石墨碳?xì)譃槭矚只蚴洑帧?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于:所述的石墨硬氈或石墨軟氈通過(guò)石墨螺桿和螺帽固定在石墨護(hù)板上或通過(guò)石墨膠粘合在護(hù)板上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于:所述保溫材料底端距護(hù)板底端的距離為5cm-20cm。

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