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一種加壓式多晶硅坩堝模具的制作方法

文檔序號:11041587閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種加壓式多晶硅坩堝模具,其特征在于,包括坩堝左殼體(1)、坩堝右殼體(2)和2個坩堝隔板(3),所述坩堝左殼體(1)和所述坩堝右殼體(2)均為敞口式殼體,所述坩堝左殼體(1)和所述坩堝右殼體(2)的開口端對接后形成一個密閉腔體,2個所述坩堝隔板(3)分別安裝在所述坩堝左殼體(1)和所述坩堝右殼體(2)內(nèi)部,所述坩堝隔板(3)與所述坩堝左殼體(1)形成第一空腔(4),所述坩堝隔板(3)與所述坩堝右殼體(2)形成第二空腔(5),所述坩堝左殼體(1)和所述坩堝右殼體(2)對接處形成第三空腔(6),所述第一空腔(4)和所述第二空腔(5)可容納原料,所述第三空腔(6)內(nèi)設(shè)有加熱系統(tǒng)和用于控制和調(diào)節(jié)加熱系統(tǒng)溫度的控制器,所述坩堝左殼體(1)和所述坩堝右殼體(2)內(nèi)壁上由內(nèi)到外依次設(shè)有保溫層、防火層和耐磨層,所述坩堝左殼體(1)上設(shè)有第一加壓孔和第一排氣孔,所述第一加壓孔和所述第一排氣孔與所述第一空腔(4)連通,所述坩堝右殼體(2)上設(shè)有第二加壓孔和第二排氣孔,所述第二加壓孔和所述第二排氣孔與所述第二空腔(5)連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加壓式多晶硅坩堝模具,其特征在于,所述坩堝隔板(2)尺寸比所述坩堝左殼體(1)和所述坩堝右殼體(2)內(nèi)壁尺寸小1-2mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加壓式多晶硅坩堝模具,其特征在于,所述坩堝隔板(2)上設(shè)有手柄。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加壓式多晶硅坩堝模具,其特征在于,所述坩堝隔板(2)為高導(dǎo)熱性隔板。

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