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一種適合石墨烯生長的制備裝置的制作方法

文檔序號:12099718閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種適合石墨烯生長的制備裝置,其特征在于:包括生長沉淀倉(1),冷卻倉(2);生長沉淀倉(1)與冷卻倉(2)內(nèi)設(shè)有傳輸帶(3),傳輸帶(3)上放置基底(4),基底(4)上放置石墨烯材料(5);所述的生長沉淀倉(1)內(nèi)設(shè)有加熱裝置,冷卻倉(2)進行冷卻。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適合石墨烯生長的制備裝置,其特征在于:所述的加熱裝置為若干根加熱棒(6),若干根加熱棒(6)縱向布置,相互之間平行放置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適合石墨烯生長的制備裝置,其特征在于:所述的生長沉淀倉(1)還設(shè)有進風管(7);進風管(7)布置在傳輸帶(3)上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的適合石墨烯生長的制備裝置,其特征在于:所述的生長沉淀倉(1)頂部還有設(shè)有抽風設(shè)備(8)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適合石墨烯生長的制備裝置,其特征在于:所述的冷卻倉(2)內(nèi)設(shè)有冷卻設(shè)備(9);冷卻設(shè)備(9)分別布置在冷卻倉(2)的側(cè)壁與頂端。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適合石墨烯生長的制備裝置,其特征在于:所述的生長沉淀倉(1)開啟加熱裝置進行石墨烯生長。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的適合石墨烯生長的制備裝置,其特征在于:關(guān)閉加熱裝置進行石墨烯沉淀。

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