1.一種多級(jí)乙硅烷精餾裝置，包括依次連接的第一精餾塔、第二精餾塔，其特征在于，還包括與所述第一精餾塔的頂部排氣口連接的輔助精餾塔，與所述第二精餾塔連接的第三精餾塔；所述第二精餾塔、第三精餾塔和輔助精餾塔的頂部排氣口分別與第二廢棄罐、第三廢棄罐和輔助廢棄罐連接；所述第一精餾塔、第二精餾塔、第三精餾塔和輔助精餾塔下方分別與第一再沸器、第二再沸器、第三再沸器和輔助再沸器連接；所述第一精餾塔、第二精餾塔、第三精餾塔和輔助冷凝器內(nèi)分別設(shè)有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和輔助冷凝器；所述第三精餾塔的底部出料口與乙硅烷存儲(chǔ)罐連接；所述第二精餾塔的底部出料口通過(guò)2根導(dǎo)管分別與第三精餾塔、乙硅烷存儲(chǔ)罐連接；所述輔助精餾塔的底部出料口與輔助存儲(chǔ)罐連接；與所述第二精餾塔的底部出料口連接的2根導(dǎo)管上分別設(shè)有一個(gè)閥門(mén)開(kāi)關(guān)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多級(jí)乙硅烷精餾裝置，其特征在于，所述第一冷凝器的溫度小于所述第二冷凝器的溫度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多級(jí)乙硅烷精餾裝置，其特征在于，所述第一冷凝器的溫度為-39℃~-35℃，所述第二冷凝器的溫度為-20℃~-14℃。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多級(jí)乙硅烷精餾裝置，其特征在于，所述輔助冷凝器的溫度為-120℃~-112℃。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多級(jí)乙硅烷精餾裝置，其特征在于，所述第三冷凝器的溫度大于或等于所述第二冷凝器的溫度。