技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種多級乙硅烷精餾裝置，包括第一精餾塔、第二精餾塔、第三精餾塔和輔助精餾塔；第二精餾塔、第三精餾塔和輔助精餾塔的頂部排氣口分別與第二廢棄罐、第三廢棄罐和輔助廢棄罐連接；第一精餾塔、第二精餾塔、第三精餾塔和輔助冷凝器內(nèi)分別設(shè)有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和輔助冷凝器；第三精餾塔的底部出料口與乙硅烷存儲罐連接；第二精餾塔的底部出料口通過2根導(dǎo)管分別與第三精餾塔、乙硅烷存儲罐連接。本實用新型的有益之處在于：可以對硅烷進行回收，單獨存儲，保證硅烷的安全；并且可以保證乙硅烷的純度。

技術(shù)研發(fā)人員：徐昕;鄭春寧;何波
受保護的技術(shù)使用者：南京亞格泰新能源材料有限公司
文檔號碼：201621036182
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.30
技術(shù)公布日：2017.06.06