技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種生長(zhǎng)石墨烯的裝置，包括反應(yīng)腔、進(jìn)氣機(jī)構(gòu)和真空抽氣機(jī)構(gòu)，所述反應(yīng)腔內(nèi)固定設(shè)置有用于將反應(yīng)腔分為生長(zhǎng)室和勻氣室的勻氣篩，所述生長(zhǎng)室內(nèi)固定設(shè)置有層層疊加的生長(zhǎng)基底，所述進(jìn)氣機(jī)構(gòu)和真空抽氣機(jī)構(gòu)均通過電磁閥與勻氣室連通。本實(shí)用新型能使各層生長(zhǎng)基底之間的氣流均勻分布，解決了石墨烯生長(zhǎng)過程中各層生長(zhǎng)基底之間氣流均一性差的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：牟舜禹;高華;尹天平;何洪泉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：德陽(yáng)烯碳科技有限公司
文檔號(hào)碼：201720073313
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.21
技術(shù)公布日：2017.08.22