專利名稱：局部潔凈區(qū)形成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在作業(yè)領(lǐng)域中形成清潔空氣空間的局部潔凈區(qū)形成裝置。
背景技術(shù)：
近年來，在IC芯片的制造等半導(dǎo)體制造、平板顯示器等的液晶部件制造、手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)等光學(xué)部件制造等為首的聞功能化的精密機(jī)器的制造現(xiàn)場，或者化學(xué)、醫(yī)藥品等處理制造、檢查、研究等現(xiàn)場中，由于塵埃、環(huán)境微生物等的混入會對制品的品質(zhì)、研究結(jié)果產(chǎn)生很大影響，因此，對這些現(xiàn)場的作業(yè)空間的凈化的要求在擴(kuò)大。對于這樣的要求，一般是僅對必須進(jìn)行凈化的一部分的作業(yè)空間進(jìn)行局部性凈 化的方式，作為這樣的代表性的潔凈區(qū)形成技術(shù)，凈化工作臺方式是代表性的。該凈化工作臺方式，只在作業(yè)臺的近前面設(shè)置作業(yè)用的開口部，其他的面，為了保持清潔度，包括天井在內(nèi)的圍擋將周圍包圍起來。結(jié)構(gòu)為在該圍擋內(nèi)設(shè)置清潔空氣吹出口，作業(yè)人員從近前的作業(yè)用開口部將手伸進(jìn)去進(jìn)行操作。還提出了在具有這樣的基本結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上賦予各種功能的凈化工作臺。作為提出這些凈化工作臺的公開刊物例子，有JP2001-141273A、JP2005-48970A 及 JP2006-162174A。以往所知的凈化工作臺的作業(yè)用開口部多較為狹小，精密機(jī)械等的裝配作業(yè)困難，在作業(yè)性方面有難點(diǎn)。此外，在裝配作業(yè)等中，在由傳輸帶等搬送制品、部件的同時(shí)進(jìn)行制造的生產(chǎn)線中，凈化工作臺方式中必不可少的圍擋就成為了障礙，因而無法將其納入到生產(chǎn)線中。這種情況下，雖能采用將包括生產(chǎn)線在內(nèi)的全部作業(yè)房屋進(jìn)行凈化的潔凈室方式，但這樣的方式中，因設(shè)備的規(guī)模大、裝置大型化而導(dǎo)致的設(shè)置空間的確保、裝置自身費(fèi)用、施工費(fèi)用等都高額化，這成為難點(diǎn)。而且，用于維持寬大空間的高清潔度的電費(fèi)、交換過濾器的維持費(fèi)等運(yùn)行成本也非常巨大。作為除此之外的不污染制造部件等來進(jìn)行制造的方法，有將制造部件等用隔壁圍擋，通過與作業(yè)人員隔離而在隔壁內(nèi)進(jìn)行部分的污染控制的無塵車間方式等，能夠制作高潔凈區(qū)，其反面，難點(diǎn)在于需要將制造部件等與作業(yè)人員完全隔離，作業(yè)人員不能直接進(jìn)行作業(yè)。本發(fā)明人等先前提出了局部空氣清潔化裝置(JP2008-275266A)，不對作業(yè)性優(yōu)良的作業(yè)對象進(jìn)行限制，作為可提供優(yōu)良的潔凈區(qū)的局部空氣清潔化裝置，將一對吹風(fēng)罩(7° 'y V 二 7— F push hood)相互正對來配置來使得二股空氣流相沖突。該裝置中，在與一對正對的吹風(fēng)罩的空氣吹出面之間所形成的氣流方向相平行的邊界面全部處于開放狀態(tài)，不使用隔壁、圍擋等而形成清潔空氣空間，由于沒有圍擋等成為作業(yè)的障礙，因而作業(yè)性優(yōu)良。此外，還具有如下特征，即由于沒有圍擋，在伴隨部件搬送的生產(chǎn)線中也可以使用。但是，這種裝置中會有這樣的難點(diǎn)由于需要將吹出開口面正對，在伴隨部件搬送的生產(chǎn)線等中，有時(shí)會有作業(yè)人員自身不能進(jìn)入形成的氣流中而難以進(jìn)行作業(yè)的情況，這種情況下，會有作業(yè)人員阻擋吹風(fēng)罩的空氣吹出面的狀況，從而不能形成潔凈區(qū)。此外的問題是，在裝置的設(shè)置區(qū)域中如果存在柱子、制造設(shè)備等移動困難的障礙物的場所或者在狹窄的作業(yè)房屋等中不能將吹出開口面設(shè)置成正對的位置，即使能設(shè)置，也要占用不必要的空間。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明的目的本發(fā)明的目的是在活用先前提出的局部空氣清潔化裝置的優(yōu)點(diǎn)的基礎(chǔ)上，提供新的局部潔凈區(qū)形成裝置，該裝置提高了應(yīng)用可能性及實(shí)用性，而且作業(yè)性優(yōu)良，對于作業(yè)對象沒有限制，將裝置的設(shè)置空間控制為節(jié)省空間，能夠在廉價(jià)、容易地實(shí)現(xiàn)優(yōu)良的潔凈區(qū)。發(fā)明的概要本發(fā)明的第I發(fā)明是局部潔凈區(qū)形成裝置，具有如下的結(jié)構(gòu)將用于形成等速空氣流的整流機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)在空氣吹出面內(nèi)而形成的一對吹風(fēng)罩配置為相互的該空氣吹出面之 間平行且該空氣吹出面的中心之間不是正對關(guān)系，以使由該吹風(fēng)罩吹出的等速空氣流之間相對而沖突，同時(shí)，將該等速空氣流在相對于該空氣吹出面的斜向上以角度而吹出。本發(fā)明的第2發(fā)明是根據(jù)上述第I發(fā)明中所述的局部潔凈區(qū)形成裝置，其中，該整流機(jī)構(gòu)由至少一個(gè)蜂窩形并列多孔體和至少一個(gè)空氣阻擋體構(gòu)成，該蜂窩形并列多孔體的多孔部在相對于該空氣吹出面的斜向上以角度而排列。本發(fā)明的第3發(fā)明是根據(jù)上述第2發(fā)明中所述的局部潔凈區(qū)形成裝置，其中，該整流機(jī)構(gòu)的蜂窩形并列多孔體的多孔部在相對于該空氣吹出面的水平斜向上以角度而排列。本發(fā)明的第4發(fā)明是根據(jù)上述第3發(fā)明中所述的局部潔凈區(qū)形成裝置，其特征在于，在從頂面方向觀察該吹風(fēng)罩時(shí)，形成該吹風(fēng)罩的外觀形狀的殼體(housing)的具有該空氣吹出面的殼體面的與邊界相接的2個(gè)側(cè)面中的至少任一側(cè)面，與相對于該空氣吹出面在水平斜向吹出的等速空氣流的角度平行。本發(fā)明的第5發(fā)明是根據(jù)上述第4發(fā)明中所述的局部潔凈區(qū)形成裝置，特征在于，在從頂面方向觀察該吹風(fēng)罩時(shí)，該吹風(fēng)罩中，形成該吹風(fēng)罩的外觀形狀的殼體的具有該空氣吹出面的面與和邊界相接的側(cè)面所成的角度是鈍角，且該側(cè)面在相對于該空氣吹出面的水平斜向上吹出的等速空氣流的角度平行，在該吹風(fēng)罩中，從形成該鈍角的側(cè)面的吹風(fēng)罩內(nèi)的空氣吹出面直至與該空氣吹出面相對的另一側(cè)的背面?zhèn)葰んw，且在從該空氣吹出面的上端直至下端的縱方向上，內(nèi)設(shè)遮蔽板。本發(fā)明的第6發(fā)明是根據(jù)上述第I 第5發(fā)明中所述的局部潔凈區(qū)形成裝置，其中，與在該一對吹風(fēng)罩的空氣吹出面之間所形成的潔凈區(qū)的氣流方向相平行的潔凈區(qū)的邊界面全部為開放狀態(tài)。發(fā)明效果本發(fā)明的局部潔凈區(qū)形成裝置，相對于空氣吹出面在斜向上以角度而吹出，一對吹風(fēng)罩相互地使從空氣吹出面被吹出的等速空氣流彼此相對而沖突，在該一對吹風(fēng)罩的空氣吹出面間形成潔凈區(qū)，由此在沒有像凈化工作臺那樣的圍擋的情況下能夠形成具有高清潔度的潔凈區(qū)，由于沒有作為作業(yè)的障礙的圍擋從而潔凈區(qū)中作業(yè)人員的作業(yè)性優(yōu)良，對這樣的作業(yè)對象沒有限制。此外，由于本發(fā)明的局部潔凈區(qū)形成裝置沒有圍擋而能夠在相對于空氣吹出面斜向上以角度而吹出，即使在伴隨制造部件等的搬送的生產(chǎn)線中，僅將該生產(chǎn)線的對象作業(yè)區(qū)域由一對吹風(fēng)罩傾斜夾持而使等速空氣流彼此沖突從而能夠形成潔凈區(qū)，不需要將生產(chǎn)線全體圍擋起來或者對作業(yè)房屋全體進(jìn)行凈化這樣的大型設(shè)備，能夠容易地形成局部的潔凈區(qū)。此外，由于裝置的設(shè)置空間是節(jié)省空間的，裝置自身費(fèi)用、施工費(fèi)用等都較低，僅對需要的局部空間進(jìn)行凈化，因此可以消減無謂的交換過濾器、電費(fèi)等的維持費(fèi)。而且，不會發(fā)生因作業(yè)人員的身體進(jìn)入到形成潔凈區(qū)的氣流中而產(chǎn)生大的亂流，從而對潔凈區(qū)的形成造成阻礙，由于僅手腕之前的部分進(jìn)入到潔凈區(qū)的氣流中也能作業(yè)從而能夠維持潔凈區(qū)。此外，本發(fā)明的局部潔凈區(qū)形成裝置，即使在裝置的設(shè)置區(qū)域存在柱子、制造設(shè)備等移動困難的障礙物的情況下，通過避開障礙物而使從一對吹風(fēng)罩中吹出的等速空氣流之間相互傾斜吹出來并相對，能夠?qū)?yīng)于障礙物、作業(yè)房屋的結(jié)構(gòu)來形成潔凈區(qū)。在至今為止不能設(shè)置的狹窄作業(yè)房屋中也能形成潔凈區(qū)，將設(shè)置空間實(shí)質(zhì)地控制為節(jié)省空間，能夠有效利用作業(yè)區(qū)域。此外，以往的吹風(fēng)罩，僅有相對于空氣吹出面的垂直方向上吹出氣流的吹風(fēng)罩，本發(fā)明中，具有在相對于吹風(fēng)罩的空氣吹出面傾斜著以角度吹出的功能。由于本發(fā)明的裝置 的使用者或者裝置的設(shè)置者難以判斷以怎樣的角度吹出空氣，將與具有空氣吹出面的殼體面和邊界相接的2個(gè)側(cè)面中的至少一個(gè)側(cè)面形成為相對于空氣吹出面傾斜著具有角度且與吹出等速空氣流的角度平行，這樣，僅從吹風(fēng)罩的外觀看去，就能判明該裝置是以怎樣的角度吹出氣流的裝置。此外，本發(fā)明的局部潔凈區(qū)形成裝置，能夠?qū)⒁粚Υ碉L(fēng)罩的空氣吹出面在從地面至天井等任意的高度或者范圍內(nèi)自由配置，能夠適合于作業(yè)、用途自由地設(shè)立潔凈區(qū)的范圍。此外，本發(fā)明的局部潔凈區(qū)形成裝置，由于可以相對較小型地形成吹風(fēng)罩的裝置本體，根據(jù)需要在裝置上設(shè)置腳輪等移動手段，能夠容易地移動裝置，對應(yīng)于作業(yè)格局的變更、作業(yè)房屋內(nèi)的移動等裝置運(yùn)用的變化得到推廣。


圖I是顯示本發(fā)明的使用一對吹風(fēng)罩的局部潔凈區(qū)形成裝置的設(shè)置例的立體圖。圖2_a是顯示由一臺吹風(fēng)罩形成的等速空氣流空間的圖。圖2_b是顯示一對吹風(fēng)罩在設(shè)置成氣流相對時(shí)形成的等速空氣流空間的圖。圖3_a是顯示本發(fā)明中使用的整流機(jī)構(gòu)的代表例的俯視透視圖。圖3_b是顯示本發(fā)明中使用的整流機(jī)構(gòu)的代表例的俯視透視圖。圖3-c是顯示本發(fā)明中使用的整流機(jī)構(gòu)的代表例的俯視透視圖。圖3-d是顯示本發(fā)明中使用的整流機(jī)構(gòu)的代表例的俯視透視圖。圖4_a是顯示本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩的代表例的四面圖。圖4_b是顯示本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩的代表例的四面圖。圖4-c是顯示本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩的代表例的四面圖。圖4-d是顯示本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩的代表例的四面圖。圖5_a是本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩的殼體形狀的代表例的俯視圖。圖5_b是本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩的殼體形狀的代表例的俯視圖。
圖5-c是本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩的殼體形狀的代表例的俯視圖。圖5-d是本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩的殼體形狀的代表例的俯視圖。圖6_a是顯示本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩中的一部分氣流的流動的俯視透視圖。圖6_b是顯示本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩中的一部分氣流的流動的俯視透視圖。圖7_a是顯示作為以往的使用一對吹風(fēng)罩的局部潔凈區(qū)形成裝置的專利文獻(xiàn)4的裝置的設(shè)置例的俯視圖。圖7_b是顯示本發(fā)明的使用一對吹風(fēng)罩的局部潔凈區(qū)形成裝置的設(shè)置例的俯視圖。圖8_a是顯示本發(fā)明的使用一對吹風(fēng)罩的局部潔凈區(qū)形成裝置的設(shè)置例的俯視圖。 圖8_b是顯示作為以往的使用一對吹風(fēng)罩的局部潔凈區(qū)形成裝置的專利文獻(xiàn)4的裝置的設(shè)置例的俯視圖。圖9_a是實(shí)驗(yàn)例I的測定位置及測定結(jié)果的說明圖。圖9_b是實(shí)驗(yàn)例2的測定位置及測定結(jié)果的說明圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的局部潔凈區(qū)形成裝置的特征在于，來自一對吹風(fēng)罩的相對于空氣吹出面傾斜地吹出的等速空氣流彼此相對，但作為本發(fā)明中使用的吹出等速空氣流的吹風(fēng)罩，可以采用以往的push-pull型換氣裝置中使用的吹風(fēng)罩的結(jié)構(gòu)作為基礎(chǔ)，將其加上傾斜地吹出的結(jié)構(gòu)就能成為本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩。本發(fā)明中由一對吹風(fēng)罩構(gòu)成的局部潔凈區(qū)形成裝置的使用代表例如圖I所示。該等速空氣流也稱為等速捕捉氣流、層流，在垂直于從空氣吹出面吹出的氣流的斷面上觀察時(shí)，是流動的速度的大小在該斷面的任何位置實(shí)質(zhì)上是恒定的狀態(tài)的空氣流，在沒有障礙物的狀態(tài)下的速度分布的偏差相對于平均值為±50%以內(nèi)(粉塵障礙防止規(guī)貝U，基于粉塵規(guī)則第11條第2項(xiàng)第4號的規(guī)定由厚生勞動大臣所規(guī)定的要件(平成10年勞動省告示第30號))，特別優(yōu)選為±20%以內(nèi)。此外，作為適合于等速空氣流的風(fēng)速，優(yōu)選為在空氣吹出面的吹出的初速為0. 3 I. 5m/秒左右的低風(fēng)速，如果從空氣吹出面吹出這樣的氣流，氣流的斷面上整體的空氣向著從空氣吹出面吹出的方向流動而緩慢輸送。吹風(fēng)罩中，形成吹風(fēng)罩外觀的殼體、其內(nèi)設(shè)的整流機(jī)構(gòu)，從制作效率方面希望構(gòu)成為多具有能夠進(jìn)行直線地切斷、彎曲或接合等的加工的直線部的形狀，而且，從空氣吹出面的面積效率方面來看，也同樣希望這樣的形狀。為此，作為用于形成這樣的等速空氣流的空氣吹出面，希望形成為正方形或長方形，特別優(yōu)選為從長邊與短邊的比例為5 I的長方形狀直至正方形的范圍內(nèi)的四邊形狀。但是，在不需要考慮這樣的制作上或結(jié)構(gòu)上的損失而重視外觀性等的情況下，也可以適宜地選擇圓或其他自由的形狀。不限于等速空氣流，氣流通常被吹出后以10°左右的角度向前方擴(kuò)散，維持等速空氣流的范圍對應(yīng)于從空氣吹出面到吹出的距離而前端收縮。圖2-a是顯示由一臺吹風(fēng)罩形成的從短邊方向看去的等速空氣流空間的圖，圖中的能夠維持由一臺吹風(fēng)罩I吹出的等速空氣流的等速性的范圍，取決于包括空氣吹出面2的正方形在內(nèi)的長方形的短邊L的距離，該距離是空氣吹出面2的短邊L的大體3倍左右，該等速空氣流空間，在從短邊方向觀察時(shí)，由以空氣吹出面2的短邊L為底邊，連接空氣吹出面2的中心取其3倍距離的等腰三角形狀的面積3所構(gòu)成的空間，從長邊方向觀察時(shí)，由底邊(長邊)、上邊(長邊-L)、高度(3L)的梯形形狀(未圖示)所構(gòu)成的空間。圖2_b是顯示將一對吹風(fēng)罩設(shè)置成氣流相對時(shí)而形成的等速空氣流空間的圖，是顯示本發(fā)明中所使用的氣流的圖。如圖2-b所示，在將吹出等速空氣流的一對吹風(fēng)罩I的氣流3設(shè)置成以空氣吹出面2的短邊L的3倍距離而相對的情況下，能夠形成等速空氣流的范圍是包括將以空氣吹出面2的短邊L為底邊、連接空氣吹出面2的中心取其3倍距離而成的等腰三角形狀設(shè)置成等腰三角形的底邊位于相向的吹風(fēng)罩I的各自的空氣吹出面2上時(shí)的包含各等速空氣流3重合的部分的面積，但實(shí)際上，這樣的兩個(gè)等速空氣流3不會重合，在一對吹風(fēng)罩I的中間付近，兩個(gè)等速空氣流3沖突，之后氣流流向改變?yōu)橄鄬τ诹鲃又链说牧鲃臃较虻拇怪狈较?，被從由一對吹風(fēng)罩I間形成的等速空氣流空間3擠出。這是因?yàn)閬碜源碉L(fēng)罩I的等速空氣流3被連續(xù)地吹出。如圖2-a所示的僅由I臺吹風(fēng)罩I吹出的氣流，等速空氣流空間3相應(yīng)于距空氣吹出面2的吹出距離而前端收縮，但如圖2-b所示的由一對吹風(fēng)罩I吹出的等速空氣流彼此沖突而幾乎不發(fā)生前端收縮，發(fā)生沖突，在由I臺 吹風(fēng)罩不能形成等速空氣流的3a的部位也形成了等速空氣流，包括發(fā)生沖突的周圍的氣流的流向變?yōu)榕c其垂直方向上，形成為如圖I所示將一對吹風(fēng)罩I的空氣吹出面2的4邊之間直線地連接的邊界面都為開放狀態(tài)的氣流空間。即可以在由空氣吹出面2的短邊L和短邊L的3倍的乘積構(gòu)成的面積與空氣吹出面2的長邊的乘積范圍內(nèi)，形成等速空氣流空間。需要說明的是，本發(fā)明中，希望在吹風(fēng)罩內(nèi)內(nèi)設(shè)高性能過濾器，這樣形成的空間就成為與過濾器的性能相對應(yīng)的潔凈區(qū)。此外，與等速空氣流易于混同的氣流是風(fēng)幕，風(fēng)幕氣流是由扁平的長方形狀的狹縫狀的空氣吹出部吹出的強(qiáng)力噴流形成的風(fēng)的氣簾，由此將空間分隔，對應(yīng)防塵、防臭、防蟲、隔熱等目的而多樣化。這樣的風(fēng)幕氣流的空氣吹出部的風(fēng)速為初速5 lOm/s的程度，與等速空氣流的風(fēng)速相比具有非?？斓娘L(fēng)速。這是因?yàn)椋绻L(fēng)速不夠快，不能將風(fēng)幕形成至較遠(yuǎn)，由于狹縫狀空氣吹出部是扁平長方形，短邊不得不變短，其結(jié)果，是幾乎不具有等速性的氣流。在本發(fā)明中采用這樣的風(fēng)幕氣流的情況下，氣流不具有等速性，同時(shí)在氣流內(nèi)作業(yè)人員進(jìn)行作業(yè)時(shí)，由于氣流的風(fēng)速過快，與作業(yè)人員、制造部件等沖突的氣流折返而產(chǎn)生亂流。由于這些折返而產(chǎn)生的亂流依然維持較快的風(fēng)速，進(jìn)而在作業(yè)空間的各處都產(chǎn)生亂流，無法形成等速空氣流空間，其結(jié)果事實(shí)上不可能形成有效的潔凈區(qū)。這里，對于適于本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩進(jìn)行說明。吹風(fēng)罩是覆蓋裝置全體的殼體，可以使用考慮到內(nèi)設(shè)的整流機(jī)構(gòu)為首的部件或者外觀性等而對厚度0. 3 5. Omm的鋼板進(jìn)行彎曲加工、沖壓加工等而采用適宜的形狀。此外，也可以是組裝金屬制等的L形框架等來形成裝置全體的骨架后用鋼板或合成樹脂板等覆蓋裝置表面的殼體結(jié)構(gòu)。作為吹風(fēng)罩的殼體，并不限定于這些結(jié)構(gòu)、材質(zhì)，可以在考慮內(nèi)設(shè)的整流機(jī)構(gòu)等的重量等的基礎(chǔ)上采用合適的結(jié)構(gòu)。作為本發(fā)明的優(yōu)選殼體結(jié)構(gòu)，在考慮生產(chǎn)性的情況下，從加工性和強(qiáng)度的平衡性出發(fā)，特別優(yōu)選將厚度t I. 0 I. 6mm的不銹鋼板進(jìn)行直線性彎曲、切斷、焊接等加工來形成殼體。在殼體的一個(gè)面上有空氣吹出面，在該空氣吹出面上優(yōu)選設(shè)置用于保在鄰接設(shè)置于裝置內(nèi)部的整流機(jī)構(gòu)的通氣表面的橫梁(桟)。對該橫梁的材質(zhì)沒有限制，可以適宜選擇鋼或樹脂等，可以將斷面(pO.5 cplO.Omm的線材、斷面口 0. 5 口 10. Omm的方形材或斷面0. 5 10. OmmX I. 0 100. Omm的方形材在縱向、橫向和斜向等以各種自由的組合在空氣吹出面全體上形成橫梁。優(yōu)選以對于來自整流機(jī)構(gòu)的通風(fēng)的氣流的風(fēng)速、風(fēng)向等的氣流沒有影響的程度將該橫梁構(gòu)成為稀疏的間隔。此外，該橫梁上也可以使用金屬網(wǎng)或樹脂制的網(wǎng)。其固定方法沒有限制，通過從殼體的內(nèi)側(cè)在空氣吹出面的周圍進(jìn)行焊接或在殼體上設(shè)置框架等來固定該桿等。在空氣吹出面的橫梁12的內(nèi)側(cè)配置構(gòu)成為使從空氣吹出面2吹出等速空氣流的整流機(jī)構(gòu)6，該整流機(jī)構(gòu)6在與空氣吹出面2的橫梁12之間設(shè)有空隙且與空氣吹出面2的通氣面重疊。整流機(jī)構(gòu)6由具有與空氣吹出面2的面積同等或比其稍稍大一點(diǎn)的面積的多個(gè)部件相重合來構(gòu)成。整流機(jī)構(gòu)6的下游側(cè)，即與空氣吹出面2最鄰接的位置上，配置至少一個(gè)以上的蜂窩形并列多孔體10，且在其上游側(cè)優(yōu)選配置至少一個(gè)空氣阻擋體11。整流機(jī)構(gòu)6，首先，將從整流機(jī)構(gòu)6的上游側(cè)被送來的且相對于對著空氣吹出面2全體通氣量有偏差的氣流在空氣阻擋體11中進(jìn)行修正，使其成為在空氣吹出面2全體沒有偏差的均勻化的氣流。其次，在蜂窩形并列多孔體10中對被空氣阻擋體11均勻化的氣流施加方向性，使得 等速空氣流的方向性穩(wěn)定地從空氣吹出面2吹出，可以形成穩(wěn)定的等速空氣流空間。本發(fā)明中，所謂蜂窩形并列多孔體10意味著，具有并列的多個(gè)多孔體的同時(shí)，狀態(tài)為與單個(gè)多孔體的橫斷面的直徑相比縱斷面的直徑即深度更大的多孔體。因此，并列的多孔體并不限定于狹義的蜂窩結(jié)構(gòu)，還包括橫斷面形狀為三角以上的多邊形狀、圓形狀的結(jié)構(gòu)，其單個(gè)多孔體的橫斷面的直徑優(yōu)選為I 10mm，相對于與該直徑的深度的比優(yōu)選為
I: 1.2 I : 5。此外，這些蜂窩形并列多孔體10的材質(zhì)代表性的有不銹鋼、鋁、鈦等金屬或氯乙烯樹脂等合成樹脂，但本發(fā)明中對于材質(zhì)沒有特別限制。本發(fā)明中使用的空氣阻擋體11，只要是將從整流機(jī)構(gòu)6的上游側(cè)送來的風(fēng)相對于空氣吹出面2全體具有通氣量偏差的氣流修正為在空氣吹出面2全體沒有偏差的均勻化的氣流的送風(fēng)空氣的阻擋體即可，可以毫無疑問地適宜地采用沖孔板、網(wǎng)部件、無紡布或初濾器、中性能過濾器等過濾器材質(zhì)。其中，作為空氣阻擋體中采用沖孔板時(shí)的優(yōu)選形態(tài)，沖孔板的孔的形狀除了三角以上的多邊形狀、圓形狀之外還有其他各種形狀，其孔形狀、這些孔的排列或間隔等優(yōu)選為使沖孔板自身的每單位面積的開口率的差異越小越好。此外，在空氣阻擋體中使用網(wǎng)部件時(shí)，只要是作為空氣阻擋體來起作用的網(wǎng)，可以適宜地從以平紋(平織)、斜紋(綾織)、平疊紋(平畳織)、斜疊紋(綾畳織)等的金屬網(wǎng)、燒結(jié)金網(wǎng)或合成樹脂性網(wǎng)等為首的各種網(wǎng)部件中選擇使用。此外，空氣阻擋體采用無紡布時(shí)，可以適當(dāng)?shù)厥褂米鳛榭諝庾钃躞w起作用的物質(zhì)，在空氣阻擋體使用過濾器時(shí)也可以基于其通氣阻擋來適宜使用。圖3-a、圖3-b、圖3-c、圖3_d是顯示本發(fā)明的吹風(fēng)罩中由整流機(jī)構(gòu)6以斜向角度a 17a吹出時(shí)的整流機(jī)構(gòu)6的頂面斷面圖。圖3_a中，在靠近空氣吹出面2配置多孔體的角度17a為a °的蜂窩形并列多孔體10a、在其上游側(cè)配置與蜂窩形并列多孔體IOa存在間隔而設(shè)置的由沖孔板構(gòu)成的空氣阻擋體11a。氣流通過整流機(jī)構(gòu)6的空氣阻擋體11a，將相對于空氣吹出面2全體而通氣量具有偏差的氣流而均勻化，且通過的氣流經(jīng)由蜂窩形并列多孔體IOa將流向改變?yōu)榻嵌萢 17a從而被整流，這是本發(fā)明中使用的整流機(jī)構(gòu)6的基本結(jié)構(gòu)。由這樣的基本結(jié)構(gòu)，可以使速度分布的偏差相對于平均值為±50%以內(nèi)。該角度a 17a相對于空氣吹出面2在比10°大比90°小的范圍內(nèi)可以對應(yīng)于裝置的使用方法等而適宜選擇。通常相對于空氣吹出面2在30° 85°的范圍內(nèi)選擇的話會具有實(shí)質(zhì)的效果，因而優(yōu)選。此外，該角度a 17a并非僅限于水平方向，從空氣吹出面2以任意角度吹出都可以。圖3-b中，靠近空氣吹出面2配置多孔部的角度17a為a °的蜂窩形并列多孔體10a、在其上游側(cè)的配置2張由相同開口率的沖孔板構(gòu)成的空氣阻擋體IlaUlb且蜂窩形并 列多孔體IOa以及各自的空氣阻擋體IlaUlb之間存在間隔，進(jìn)而在其上游側(cè)配置多孔體的角度為垂直的蜂窩形并列多孔體lib。該整流機(jī)構(gòu)6與圖3-a的整流機(jī)構(gòu)6同樣，由最后的蜂窩形并列多孔體IOa改變流動使氣流為角度a 17a來進(jìn)行整流。但是，與圖3_a的整流機(jī)構(gòu)6相比追加了空氣阻擋體Ilb及多孔體的角度垂直的蜂窩形并列多孔體10b，由此，首先，由在整流機(jī)構(gòu)6的入口處追加的蜂窩形并列多孔體IOb來調(diào)整氣流的方向性，然后由第一張空氣阻擋體Ilb來修正通氣量的偏差，以后，與圖3-a的整流機(jī)構(gòu)6相同。由此，由于在向作為本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)的圖3-a的整流機(jī)構(gòu)中通入氣流之前的階段氣流的方向性和均勻性既是調(diào)整到某種程度的狀態(tài)，可以將速度分布的偏差為相對于平均值的±30%以內(nèi)。圖3-c中，將圖3-b的蜂窩形并列多孔體IOb改變?yōu)榕c蜂窩形并列多孔體IOa的多孔部的角度a相同的蜂窩形并列多孔體10c，整流機(jī)構(gòu)6全體為與蜂窩形并列多孔體IOa的多孔部的角度a平行的平行四邊形狀，從整流機(jī)構(gòu)2入口處蜂窩形并列多孔體IOc至蜂窩形并列多孔體10a，都以角度a 17a斜向吹出。作為整流機(jī)構(gòu)，整流機(jī)構(gòu)6的入口處的蜂窩形并列多孔體的多孔體的角度，可以選擇以與空氣吹出面2側(cè)的蜂窩形并列多孔體IOa相同的角度a 17a排列、垂直地排列中的任一種，圖3-c也與圖3-b同樣,速度分布的偏差相對于平均值可以為±30%以內(nèi)，但圖3-c中，2個(gè)蜂窩形并列多孔體10a、10c的多孔部的角度相同，因而可以實(shí)現(xiàn)部件的共通化。圖3-d是在圖3-c中進(jìn)一步追加一張由與空氣阻擋體11a、Ilb相同開口率的沖孔板構(gòu)成的空氣阻擋體11c，使用了空氣阻擋體的合計(jì)枚數(shù)為3張，從下游側(cè)的多孔板Ila開始向著上游側(cè)具有空隙10mm、20mm的間隔。由此，相對于空氣吹出面2全體通氣量有偏差的氣流可以進(jìn)一步精度良好地修正、均勻化。圖3-d所例示的整流機(jī)構(gòu)6由于提高等速空氣流的等速性并具有進(jìn)一步擴(kuò)大其等速空氣流形成空間的效果，因而是特別優(yōu)選的形態(tài)。此夕卜，作為吹出等速空氣流的整流機(jī)構(gòu)6的結(jié)構(gòu)，空氣阻擋體11、蜂窩形并列多孔體10所使用的張數(shù)、順序或者其中的間隔等可以適宜地變更。此外，為了達(dá)到潔凈區(qū)的平衡，對抗的等速空氣流的風(fēng)速優(yōu)選為同等。吹風(fēng)罩I的殼體13內(nèi)，設(shè)置具有比整流機(jī)構(gòu)6的外形稍大形狀的筒部，在該筒部的內(nèi)側(cè)，優(yōu)選將作為整流機(jī)構(gòu)6的構(gòu)成部件的蜂窩形并列多孔體10和空氣阻擋體11隔著適宜的間隔以串聯(lián)狀進(jìn)行收納，并對各整流機(jī)構(gòu)部件使用封裝等以成為氣密狀態(tài)。作為本發(fā)明的整流機(jī)構(gòu)在吹風(fēng)罩內(nèi)的固定方法不限于這樣的結(jié)構(gòu)，可以選擇適宜的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明中，為了形成潔凈區(qū)，優(yōu)選在吹風(fēng)罩I中內(nèi)設(shè)HEPA過濾器、ULPA過濾器等對應(yīng)于清潔化水平的高性能過濾器7，特別地本發(fā)明中將其以通氣面串聯(lián)狀重疊的方式配置在整流機(jī)構(gòu)6的上游側(cè)則吹風(fēng)罩I的格局上空間的損失減少，因而優(yōu)選。此外，本發(fā)明的局部潔凈區(qū)形成裝置中，使用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)等送風(fēng)裝置來產(chǎn)生氣流，因此優(yōu)選在這些送風(fēng)裝置8的上游側(cè)設(shè)置初濾器或中性能過濾器9等，在吹風(fēng)罩I的最上游側(cè)預(yù)先一定程度過濾空氣來保護(hù)在其下游側(cè)配置的送風(fēng)裝置8，或者進(jìn)一步抑制配置在下游側(cè)的高性能過濾器7的網(wǎng)孔堵塞。作為吹風(fēng)罩I的送風(fēng)機(jī)構(gòu)6，包括內(nèi)設(shè)于吹風(fēng)罩I本體中，和與吹風(fēng)罩I本體分開設(shè)置的送風(fēng)機(jī)構(gòu)，在將送風(fēng)機(jī)構(gòu)8內(nèi)設(shè)在吹風(fēng)罩I本體中的情況下，將鼓風(fēng)機(jī)內(nèi)設(shè)在吹風(fēng)罩I本體內(nèi)以便向高性能過濾器7的上游側(cè)通氣，這樣的鼓風(fēng)機(jī)可以使用離心鼓風(fēng)機(jī)8a、軸流鼓風(fēng)機(jī)8b等。圖4-a、圖4-b、圖4-c、圖4-d例示了本發(fā)明的實(shí)施方式。圖4_a中，在吹風(fēng)罩I的上部具有空氣吹出面2，其上部側(cè)內(nèi)設(shè)整流機(jī)構(gòu)6、高性能過濾器7，下部側(cè)內(nèi)設(shè)離心鼓風(fēng)機(jī)8a，在與吹風(fēng)罩I的空氣吹出面2的相反側(cè)的背面?zhèn)认虏吭O(shè)置空氣吸入口 5。在該空氣吸入面5中，可以適當(dāng)?shù)厥褂迷诳諝獯党雒?中也使用的焊接網(wǎng)等網(wǎng)狀物質(zhì)、在整流機(jī)構(gòu)6的空氣阻擋體11中使用的沖孔板等各種網(wǎng)部件等，優(yōu)選具有不影響離心鼓風(fēng)機(jī)8a的吸引力的程度的通氣性。通過吹風(fēng)罩I中內(nèi)設(shè)的離心鼓風(fēng)機(jī)8a從空氣吸入口 5吸引吹風(fēng)罩的裝置外的空氣，該空氣由在離心鼓風(fēng)機(jī)8a的上游側(cè)設(shè)置的初濾器9將來自裝置外的吸 引的空氣中所含有的較大的塵埃等去除。由初濾器9過濾后的空氣通過離心鼓風(fēng)機(jī)8a，在吹風(fēng)罩I內(nèi)流向作為裝置的上部側(cè)的空氣吹出面2的相反側(cè)的背面?zhèn)?。然后，在HEPA過濾器等高性能過濾器7中進(jìn)一步過濾較細(xì)的塵埃等，在整流機(jī)構(gòu)6中被整流，且相對于空氣吹出面2以45°的角度成為等速空氣流，從空氣吹出面2的焊接網(wǎng)制的橫梁12吹出。這樣的整流機(jī)構(gòu)6、高性能過濾器7與作為送風(fēng)裝置的離心鼓風(fēng)機(jī)8a沒有串聯(lián)狀配置，可以減薄風(fēng)罩I本體的厚度。吹風(fēng)罩I的裝置背面的空氣吸入口 5的網(wǎng)狀部件，由裝潢用螺栓(化粧木)等來拆裝容易地固定以使得在初濾器9的網(wǎng)孔堵塞的情況下可以將初濾器9從吹風(fēng)罩I取下來更換。此外，對于高性能過濾器7，同樣地在高性能過濾器7的吹風(fēng)罩I的裝置背面?zhèn)仍O(shè)置過濾器交換窗16以在高性能過濾器7的網(wǎng)孔堵塞的情況下能夠從吹風(fēng)罩I取下來更換。圖4-b中，在吹風(fēng)罩I上部具有空氣吹出面2，在其上部側(cè)以串聯(lián)狀態(tài)配置整流機(jī)構(gòu)6、高性能過濾器7、軸流鼓風(fēng)機(jī)Sb、初濾器9、空氣吸入口 5，在吹風(fēng)罩I的裝置下部偵牝在吹風(fēng)罩I的四角設(shè)置支柱20來用于將吹風(fēng)罩支撐到距地面一定高度，在該支柱20的頂端分別安裝腳輪19。這種情況下，吹風(fēng)罩I的裝置本體的厚相比圖4-a變得更厚，但吹風(fēng)罩I全體被控制得更緊湊。本發(fā)明中使用的送風(fēng)裝置用的鼓風(fēng)機(jī)，可以適宜使用離心鼓風(fēng)機(jī)8a、軸流鼓風(fēng)機(jī)Sb等。此外，也可以沒有圖4-b的支柱20而裝載在作業(yè)機(jī)等上來使用。圖4-c是將圖4-a中例示的裝置的空氣吹出面2設(shè)在下部側(cè)時(shí)的例示,與圖4-a所例示的裝置的結(jié)構(gòu)正好相反。圖4-d中使用離心鼓風(fēng)機(jī)8a，在縱向上在長的整流機(jī)構(gòu)6的上下分別以串聯(lián)狀態(tài)設(shè)置2列高性能過濾器7、離心鼓風(fēng)機(jī)8a、初濾器9、空氣吸入口 5。圖4_d的整流機(jī)構(gòu)6是一個(gè)，但也可以是分割成2個(gè)以上來構(gòu)成。這樣的裝置雖然考慮到噪音等而不使用大型的送風(fēng)機(jī)構(gòu)8，也可以在廣闊范圍內(nèi)形成潔凈區(qū)。特別是在不需要擔(dān)心噪音等的場所，也可以由I臺大型的鼓風(fēng)機(jī)來控制送風(fēng)機(jī)構(gòu)8。此外，通過將該圖4-d的裝置的構(gòu)成在橫向上改變，可以將潔凈區(qū)在橫向上擴(kuò)展，可以根據(jù)適宜的用途來構(gòu)成。本發(fā)明中，送風(fēng)機(jī)構(gòu)8與吹風(fēng)罩I本體分開設(shè)置的情況下，構(gòu)成為由風(fēng)扇等送風(fēng)裝置8通過管道向吹風(fēng)罩I的高性能過濾器7的上游側(cè)通氣，管道與吹風(fēng)罩I的背面等連接。對于送風(fēng)機(jī)構(gòu)8與吹風(fēng)罩I本體分開的結(jié)構(gòu)也可以使用多個(gè)送風(fēng)機(jī)構(gòu)8和管道，在一臺吹風(fēng)罩上可以連接多個(gè)管道以將較廣闊的范圍成為潔凈區(qū)，可以根據(jù)適宜的用途來構(gòu)成。此夕卜，送風(fēng)機(jī)構(gòu)8與吹風(fēng)罩I本體分開設(shè)置、送風(fēng)機(jī)構(gòu)8內(nèi)設(shè)在吹風(fēng)罩I本體的任一情況下，可以將多個(gè)吹風(fēng)罩I本體在橫向并列狀地多臺并列，以形成廣闊范圍的潔凈區(qū)。這種情況下，從多個(gè)吹風(fēng)罩噴出的空氣流的風(fēng)速，優(yōu)選在多個(gè)吹風(fēng)罩全體的速度分布的偏差的±50%以內(nèi)。通過吹風(fēng)罩I中內(nèi)設(shè)的鼓風(fēng)機(jī)或者與吹風(fēng)罩I的裝置本體分開的管道而設(shè)置的風(fēng)扇等的送風(fēng)裝置8中希望具有由相位控制、逆變控制或印加電壓控制等產(chǎn)生的可變風(fēng)速的功能。由此，例如移動吹風(fēng)罩I的設(shè)置場所而改變吹風(fēng)罩間的距離時(shí)，能夠容易地確保適合的風(fēng)速。此外，在因吹風(fēng)罩I內(nèi)的高性能過濾器7的網(wǎng)孔堵塞等而·使得風(fēng)速的平衡破壞時(shí)，能夠調(diào)節(jié)風(fēng)速而容易地返回到潔凈區(qū)的平衡。此外，還可以使得吹風(fēng)罩I的裝置本體小型化、在吹風(fēng)罩I的底面設(shè)置腳輪19等的移動手段。由此，可以容易地移動裝置，擴(kuò)大對應(yīng)作業(yè)格局的變更、作業(yè)房屋間的移動等裝置運(yùn)用的應(yīng)用。圖5-a、圖5-b、圖5-c、圖5-d是顯示從頂面觀察本發(fā)明的吹風(fēng)罩I時(shí)的狀態(tài)的圖。該裝置的外觀可以實(shí)施為圖5-a所示的立方體或者直方體，但由于相對于吹風(fēng)罩I的空氣吹出面2斜向吹出氣流的裝置，則對于直方體或立方體而言在設(shè)置吹風(fēng)罩I時(shí)或設(shè)置后，作業(yè)人員自身不可能判別是何種角度的吹出裝置。因此，如圖5_b、圖5_c、圖5_d所不,形成為與具有空氣吹出面2的殼體面和邊界相接的2個(gè)側(cè)面中的至少一個(gè)側(cè)面形成為相對于空氣吹出面2與斜向吹出的等速空氣流的角度平行，由此，可以形成如下的吹風(fēng)罩I的外觀形狀，即使得僅看吹風(fēng)罩I的外觀就能判別該裝置是以何種角度吹出氣流的裝置。圖5-b是從頂面方向觀察吹風(fēng)罩I的殼體13時(shí)為平行四邊形、圖5-c、圖5-d是為梯形的適宜的形的例示，可以根據(jù)吹風(fēng)罩來識別所產(chǎn)生氣流的方向。圖6_a、圖6_b是顯不的吹風(fēng)罩I 一例的俯視圖，該吹風(fēng)罩I具有形成為相對于空氣吹出面2水平斜向吹出的等速空氣流平行的殼體13側(cè)面。殼體13相對于空氣吹出面2該圖6-a的13b形成為鈍角，13a相反形成為銳角，13b側(cè)的27中所示的部位上有因產(chǎn)生堆積(吹^溜* >9 )而引起的在等速空氣流中產(chǎn)生的一些亂流。如圖6-b所示，從殼體13相對于空氣吹出面2形成為鈍角的一側(cè)13b的空氣吹出面2直至與其相對的背面?zhèn)鹊臍んw13，且從空氣吹出面的上端直至下端在縱向上內(nèi)設(shè)遮蔽板14，由此限制向13b側(cè)的通氣，從而不產(chǎn)生該堆積27。一般的必需潔凈區(qū)的制造現(xiàn)場中，存在制造部件等的同時(shí)，還多有伴隨包括這些或者包括制造作業(yè)人員在內(nèi)的這些的搬送的情形。至今為止，這樣的制造現(xiàn)場中難以形成對作業(yè)沒有限制的潔凈區(qū)4。即使由以往的相對于空氣吹出面2在垂直方向吹出氣流的一對吹風(fēng)罩I來夾持帶式傳輸帶等的制造部件等搬送手段21來形成潔凈區(qū)，作業(yè)人員自身26不得不進(jìn)入形成該潔凈區(qū)4的吹風(fēng)罩I的空氣吹出面2，由此作業(yè)人員自身26的身體實(shí)質(zhì)地阻擋空氣吹出面2，即使沒阻擋，由于氣流沖撞到作業(yè)人員自身26的身體上而氣流發(fā)生較大亂流，從而存在潔凈區(qū)4的清潔度下降的情形發(fā)生。圖7-a是顯示吹風(fēng)罩的吹出開口面2垂直正對時(shí)的俯視圖的一例的圖。圖7-b是顯示夾著帶式傳輸帶等的制造部件等搬送手段21來配置本發(fā)明的局部潔凈區(qū)形成裝置時(shí)的俯視圖的一例的圖。本發(fā)明的裝置是將構(gòu)成為相對于空氣吹出面2在斜向以角度17a來吹出等速空氣流的一對吹風(fēng)罩I配置為以下述方式夾著該搬送手段21，即使得相對于搬送手段21，在與搬送手段21的搬送方向21a垂直方向上相互的空氣吹出面2之間平行且空氣吹出面2的中心之間不是正對的位置關(guān)系，來使得從吹風(fēng)罩I吹出的等速空氣流之間相對而沖突，從而在一對吹風(fēng)罩I的空氣吹出面2之間，形成底邊為平行四邊形狀的在氣流的流動方向不具有圍擋的立體的潔凈區(qū)4。通過使用本發(fā)明的裝置，能夠在斜向上以角度17a形成潔凈區(qū)4，因此，由于能夠使得作業(yè)人員自身26的身體不進(jìn)入到氣流中而僅作業(yè)人員26的手臂前部進(jìn)入潔凈區(qū)的氣流中進(jìn)行作業(yè)，作業(yè)人員26能夠進(jìn)行作業(yè)而不會使得形成的潔凈區(qū)4的氣流中不產(chǎn)生大的亂流。此外，相對于以往的一對空氣吹出面2在垂直方向吹出氣流的吹風(fēng)罩I中，在狹窄的裝置設(shè)置區(qū)域中存在柱子、制造設(shè)備等難以移動的障礙物23時(shí)，對向設(shè)置氣流是困難的。假設(shè)即便能夠設(shè)置，由于必須使一對吹風(fēng)罩的空氣吹出面2正對，則設(shè)置區(qū)域22中包括了不必要的空間。由于本發(fā)明可以在斜向上以角度17a形成潔凈區(qū)4，能夠避開障礙物23而結(jié)合作業(yè)區(qū)域22的結(jié)構(gòu)來設(shè)置裝置。圖8-a是顯示本發(fā)明的局部潔凈區(qū)形成裝置在狹窄場所設(shè)置時(shí)的狀態(tài)的俯視圖。與圖8-b所示的正對方式相比，將設(shè)置空間實(shí)質(zhì)地控制為節(jié)省空間，可以有效地利用作業(yè)區(qū)域22，在到目前為止不可能設(shè)置的狹窄的作業(yè)區(qū)域22中也能夠形成潔凈區(qū)4。
本發(fā)明中使用的吹風(fēng)罩根據(jù)作業(yè)的內(nèi)容及其他條件，可以適宜地選擇空氣流吹出面的大小、吹出的風(fēng)速等功能條件、吹風(fēng)罩間的距離等。作為一例，可以例舉空氣流吹出面是一邊300 3000mm的正方形或長方形，吹出的風(fēng)速為0. I 2. Om/秒，吹風(fēng)罩間的距離為I 9m的條件。實(shí)施例以下，基于具體例說明本發(fā)明。實(shí)施例I在空氣吹出面2上將cpl.Omm的不銹鋼棒材在縱橫方向多個(gè)交疊成均等的網(wǎng)狀，以形成30mm的四方格子，對各自的棒材重疊的部位進(jìn)行焊接，將固定的焊接網(wǎng)用于橫梁12，將該橫梁12配置在吹風(fēng)罩I的上段上配置的900mmX 700mm的長方形狀的空氣吹出面2中，將具有與該空氣吹出面2的上游側(cè)的空氣吹出面2大體同樣尺寸的面積的整流機(jī)構(gòu)6固定在殼體內(nèi)設(shè)置的固定用框架上來配置，其更上游側(cè)與整流機(jī)構(gòu)6間隔開地配置有且HEPA過濾器7，使用封裝以使得整流機(jī)構(gòu)6與HEPA過濾器7之間不泄露流動的空氣，其更上游側(cè)吹風(fēng)罩I的下段內(nèi)設(shè)有離心鼓風(fēng)機(jī)8a以制作吹出等速流吹風(fēng)罩I。整流機(jī)構(gòu)6由作為空氣吹出面2側(cè)的氣流的更下游側(cè)的第I蜂窩形并列多孔體10a、3張由沖孔構(gòu)成的空氣阻擋體lla、llb、llc和第2蜂窩形并列多孔體IOc構(gòu)成。作為空氣阻擋體的3張沖孔板11a、lib、11c，分別設(shè)置為具有距離下游側(cè)的沖孔板1110mm、20mm的間隔、3張沖孔板11a、IlbUlc使用具有相同開口率的沖孔板，使用厚度tl. Omm的鋁制的、孔徑(pi.Omm的圓孔、間距2.0mm、60°棋盤格(千鳥)、開孔率23%的沖孔板。此外，所使用的蜂窩形并列多孔體10，第I、第2蜂窩形并列多孔體10a、10c都是板厚0. OOlmm的鋁制的、多孔部是正六角形的l/8inch大小，使用的多孔體以水平斜向的角度a45°傾斜的狀態(tài)的，蜂窩形并列多孔體11全體厚度為8mm。該吹風(fēng)罩的結(jié)構(gòu)為在圖4-a所示的吹風(fēng)罩中內(nèi)設(shè)圖3_d所示的整流機(jī)構(gòu)的吹風(fēng)罩。使用上記的吹風(fēng)罩1，對總共54個(gè)部位的測定位置24中的空氣吹出面2的風(fēng)速進(jìn)行測定?？諝獯党雒?飛風(fēng)速測定點(diǎn)及t/結(jié)果如圖9-a所示。相對于空氣吹出面風(fēng)速為約0. 5m/s時(shí)的平均風(fēng)速的風(fēng)速分布的偏差最大為15.0%。由以上結(jié)果可知，本發(fā)明中，明確低于作為必要的等速空氣流的條件的50%，是速度分布的偏差非常小的裝置。需要說明的是，整流機(jī)構(gòu)的空氣吹出面?zhèn)?，即使只設(shè)置了 I張沖孔板作為蜂窩形并列多孔體10a、其上游側(cè)的空氣阻擋體11a，也能達(dá)到50%以下的結(jié)果。實(shí)施例2接下來，對于使用實(shí)施例I的局部潔凈區(qū)形成裝置時(shí)的空氣的清潔度的測定例進(jìn)行描述。這里與清潔的潔凈室等使用的清潔度級別不同，使用如下的定義。在以鼓風(fēng)機(jī)吸入口付近(室內(nèi)空氣)的個(gè)數(shù)粉塵濃度(0. Iii m/0. Olcf)為C。、以吹出氣流的個(gè)數(shù)粉塵濃度(0. Iy m/0. Olcf)為Cp的情況下，清潔度由以下式求出。
清潔度(％)=100x (C°~Cf)
Co根據(jù)本發(fā)明，使用與實(shí)施例I相同的2臺吹風(fēng)罩，如圖I所示設(shè)置，使得2股氣流相對，以相同的吹出風(fēng)速(0. 5m/秒)來測定清潔度。進(jìn)行設(shè)置成吹風(fēng)罩I的空氣吹出面2的垂直方向距離為1500mm, 2臺吹風(fēng)罩吹出間距離為2100_。清潔度的測定位置25為距各自的吹風(fēng)罩I的空氣吹出面2垂直方向250_的位置及吹風(fēng)罩間的中心位置的合計(jì)9部位上，進(jìn)行測定。由實(shí)驗(yàn)結(jié)果判明，全部的測定位置上都顯示高清潔度，吹風(fēng)罩間的全部領(lǐng)域成為清潔區(qū)域。實(shí)施例2中的清潔度的測定位置及測定結(jié)果如圖9_b所示。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明的局部潔凈區(qū)形成裝置可以在使用以往的凈化工作臺、潔凈棚或潔凈室等、潔凈區(qū)成為必要的領(lǐng)域等有效利用。符號說明
1吹風(fēng)罩
2空氣吹出面
3等速空氣流空間
3a 擴(kuò)大的等速空氣流空間
4潔凈區(qū)
5空氣吸入面6整流機(jī)構(gòu)
6a整流機(jī)構(gòu)(空氣吹出面?zhèn)?
7高性能過濾器(HEPA過濾器、ULPA過濾器)
8才幾
8a離心鼓風(fēng)機(jī)
8b軸流鼓風(fēng)機(jī)
9中性能過濾器(初濾器)
10蜂窩形并列多孔體
IOa第一蜂窩形并列多孔體(斜向)
IOb第二蜂窩形并列多孔體(垂直)
IOc第二蜂窩形并列多孔體(斜向)
11空氣阻擋體Ila第一空氣阻擋體Ilb第二空氣阻擋體Ilc第三空氣阻擋體
12橫梁
13殼體
13a殼體(銳角部)
13b殼體(鈍角部)
14遮蔽板
16過濾器交換窗
17空氣吹出角度
17a空氣吹出角度(斜向)
17b空氣吹出角度(垂直)
18送風(fēng)控制部
19腳輪
20支柱
21制造部件等搬送手段(帶式傳輸帶)
21a部件搬送方向
22設(shè)置區(qū)域

23障礙物(柱子、設(shè)備)
24風(fēng)速測定點(diǎn) 25清潔度測定點(diǎn)
26作業(yè)人員
27堆積
28非通氣部
權(quán)利要求
1.ー種局部潔凈區(qū)形成裝置，具有如下的結(jié)構(gòu) 將用于形成等速空氣流的整流機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)在空氣吹出面內(nèi)而形成的ー對吹風(fēng)罩配置為彼此的該空氣吹出面之間平行且該空氣吹出面的中心之間不是正對關(guān)系，以使由該吹風(fēng)罩吹出的等速空氣流之間相對而沖突，同時(shí)，將該等速空氣流在相對于該空氣吹出面的斜向上以角度而吹出。
2.如權(quán)利要求I所述的局部潔凈區(qū)形成裝置，其中，該整流機(jī)構(gòu)由至少ー個(gè)蜂窩形并列多孔體和至少ー個(gè)空氣阻擋體構(gòu)成，該蜂窩形并列多孔體的多孔部在相對于該空氣吹出面的斜向上以角度而排列。
3.如權(quán)利要求2所述的局部潔凈區(qū)形成裝置，其中，該整流機(jī)構(gòu)的蜂窩形并列多孔體的多孔部在相對于該空氣吹出面的水平斜向上以角度而排列。
4.如權(quán)利要求3所述的局部潔凈區(qū)形成裝置，其特征在于，在從頂面方向觀察該吹風(fēng)罩時(shí)，形成該吹風(fēng)罩的外觀形狀的殼體的與具有該空氣吹出面的殼體面的邊界相接的2個(gè)側(cè)面中的至少任ー側(cè)面，與相對于該空氣吹出面在水平斜向吹出的等速空氣流的角度平行。
5.如權(quán)利要求4所述的局部潔凈區(qū)形成裝置，其特征在干，在從頂面方向觀察該吹風(fēng)罩時(shí)，該吹風(fēng)罩的形成該吹風(fēng)罩的外觀形狀的殼體的具有該空氣吹出面的面與和邊界相接的側(cè)面所成的角度是鈍角，且該側(cè)面與在相對于該空氣吹出面的水平斜向上吹出的等速空氣流的角度平行，在該吹風(fēng)罩中，從形成該鈍角的側(cè)面的吹風(fēng)罩內(nèi)的空氣吹出面直至與該空氣吹出面相對的另ー側(cè)的背面?zhèn)葰んw，且在從該空氣吹出面的上端直至下端的縱向上，內(nèi)設(shè)遮蔽板。
6.如權(quán)利要求I 5任一項(xiàng)所述的局部潔凈區(qū)形成裝置，其中，與在該ー對吹風(fēng)罩的空氣吹出面之間所形成的潔凈區(qū)的氣流方向相平行的潔凈區(qū)的邊界面全部為開放狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明提供作業(yè)性優(yōu)良、對設(shè)置場所、作業(yè)對象沒有限制的能夠提供優(yōu)良清潔空氣空間的局部潔凈區(qū)形成裝置。該局部潔凈區(qū)形成裝置的結(jié)構(gòu)為將用于形成等速空氣流的整流機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)在空氣吹出面內(nèi)而形成的一對吹風(fēng)罩配置為相互的該空氣吹出面之間平行且該空氣吹出面的中心之間不是正對關(guān)系，并且由該吹風(fēng)罩吹出的等速空氣流之間相對而沖突，同時(shí)，將該等速空氣流在相對于該空氣吹出面的斜向上以角度而吹出。
文檔編號F24F9/00GK102762925SQ20118000897
公開日2012年10月31日 申請日期2011年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月15日
發(fā)明者久保田裕仁, 新田恒造, 藤代祐樹 申請人:興研株式會社