本發(fā)明涉及藍(lán)寶石技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝。

背景技術(shù)：

藍(lán)寶石晶體具有優(yōu)良的光學(xué)性能、物理性能和穩(wěn)定的化學(xué)性能，廣泛應(yīng)用于高亮度LED襯底材料、各種光學(xué)元器件、掃描儀窗口材料。藍(lán)寶石窗口片用于光學(xué)窗口領(lǐng)域具有以下幾個優(yōu)良特征：1.高光學(xué)透射率，藍(lán)寶石晶體有很好的透光性能，其透光范圍為0.15～7.5微米，覆蓋了紫外、可見、近紅外、中紅外等波段；2.高耐磨性，膨脹系數(shù)僅為5X10-6/度，熔點為2050°C，工作溫度可達(dá)1900°C，具有優(yōu)秀的耐熱沖擊和耐高溫性能；3.很好的機械性能，其硬度可達(dá)莫氏9級，同時還有很好的抗壓強度、壓縮強度和彎曲強度，同時具有抗電磁干擾、電磁兼容性能，抗輻射性能、電絕緣性能。隨著藍(lán)寶石窗口片應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展，對藍(lán)寶石產(chǎn)品規(guī)格種類越來越多，在藍(lán)寶石加工過程中，晶片清洗大多采用硫酸清洗工藝，其化學(xué)危險性高，清洗過程中產(chǎn)生的硫不利于環(huán)保。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的問題是提供一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝，解決在藍(lán)寶石加工過程中，晶片清洗大多采用硫酸清洗工藝，其化學(xué)危險性高，清洗過程中產(chǎn)生的硫不利于環(huán)保的問題。

為解決以上問題本發(fā)明所采用的方案：

一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝，其清洗工藝如下：

（1）制片：先通過切割、研磨與拋光將藍(lán)寶石工件制成雙面拋光藍(lán)寶石薄片，其中雙面拋光藍(lán)寶石薄片的厚度為0.5-0.8mm；

（2）第一次清洗：將所制成的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第一弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為20-30min，每分鐘上下拋動20-40次，第一弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽內(nèi)的溫度為60℃-80℃；

（3）第二次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第一超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為15-45min，每分鐘上下拋動10-30次，第一超純水清洗槽內(nèi)的溫度為50℃-90℃；

（4）第三次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第二弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為10-30min，每分鐘上下拋動15-45次，第二弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗的溫度為55℃-85℃；

（5）第四次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第二超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為20-30min，每分鐘上下拋動10-30次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為20℃-30℃；

（6）第五次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第三超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為15-45min，每分鐘上下拋動15-45次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為25℃-35℃；

（7）第六次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第四超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為10-30min，每分鐘上下拋動10-30次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為10℃-25℃；

（8）第七次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第五超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為20-60min，每分鐘上下拋動20-60次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為80℃-100℃；

（9）烘干：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入烘干槽中進(jìn)行烘干處理即可，烘干時間為20-30min，烘干溫度為70℃-90℃。

上述一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝，其中，所述的第一弱堿性環(huán)保清洗劑與第二弱堿性環(huán)保清洗劑均是以20%的弱堿性環(huán)保清洗劑與80%的超純水混合配比而成。

本方案的有益效果：

本發(fā)明提供的一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝，先通過切割、研磨、拋光將藍(lán)寶石工件制成雙面拋光藍(lán)寶石薄片，然后在對雙面拋光藍(lán)寶石薄片進(jìn)行最終清洗，步驟簡單，制備方便，整個清洗過程包括利用兩次弱堿性環(huán)保清洗劑與五次超純水進(jìn)行清洗，較原有的清洗工藝而言，利用堿性清洗工藝進(jìn)行清洗，更加環(huán)保、晶片潔凈度好、安全性高，同時成本較低，及安全又環(huán)保。

具體實施方式

實施例1：一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝，其清洗工藝如下：

（1）制片：先通過切割、研磨與拋光將藍(lán)寶石工件制成雙面拋光藍(lán)寶石薄片，其中雙面拋光藍(lán)寶石薄片的厚度為0.5mm；

（2）第一次清洗：將所制成的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第一弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為25min，每分鐘上下拋動30次，第一弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽內(nèi)的溫度為70℃；

（3）第二次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第一超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為25min，每分鐘上下拋動30次，第一超純水清洗槽內(nèi)的溫度為70℃；

（4）第三次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第二弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為25min，每分鐘上下拋動30次，第二弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗的溫度為70℃；

（5）第四次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第二超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為25min，每分鐘上下拋動30次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為25℃；

（6）第五次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第三超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為25min，每分鐘上下拋動30次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為25℃；

（7）第六次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第四超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為25min，每分鐘上下拋動30次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為25℃；

（8）第七次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第五超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為25min，每分鐘上下拋動30次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為90℃；

（9）烘干：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入烘干槽中進(jìn)行烘干處理即可，烘干時間為25min，烘干溫度為80℃。

實施例2：一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝，其清洗工藝如下：

（1）制片：先通過切割、研磨與拋光將藍(lán)寶石工件制成雙面拋光藍(lán)寶石薄片，其中雙面拋光藍(lán)寶石薄片的厚度為0.6mm；

（2）第一次清洗：將所制成的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第一弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為20min，每分鐘上下拋動20次，第一弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽內(nèi)的溫度為60℃；

（3）第二次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第一超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為15min，每分鐘上下拋動10次，第一超純水清洗槽內(nèi)的溫度為50℃；

（4）第三次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第二弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為10min，每分鐘上下拋動15次，第二弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗的溫度為55℃；

（5）第四次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第二超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為20min，每分鐘上下拋動10次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為20℃；

（6）第五次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第三超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為15min，每分鐘上下拋動15次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為25℃；

（7）第六次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第四超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為10min，每分鐘上下拋動10次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為10℃；

（8）第七次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第五超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為20min，每分鐘上下拋動20次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為80℃；

（9）烘干：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入烘干槽中進(jìn)行烘干處理即可，烘干時間為20min，烘干溫度為70℃。

實施例3：一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝，其清洗工藝如下：

（1）制片：先通過切割、研磨與拋光將藍(lán)寶石工件制成雙面拋光藍(lán)寶石薄片，其中雙面拋光藍(lán)寶石薄片的厚度為0.8mm；

（2）第一次清洗：將所制成的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第一弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為30min，每分鐘上下拋動40次，第一弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽內(nèi)的溫度為80℃；

（3）第二次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第一超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為45min，每分鐘上下拋動30次，第一超純水清洗槽內(nèi)的溫度為90℃；

（4）第三次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第二弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為30min，每分鐘上下拋動45次，第二弱堿性環(huán)保清洗劑清洗槽中進(jìn)行清洗的溫度為85℃；

（5）第四次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第二超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為30min，每分鐘上下拋動30次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為30℃；

（6）第五次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第三超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為45min，每分鐘上下拋動45次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為35℃；

（7）第六次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第四超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為30min，每分鐘上下拋動30次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為25℃；

（8）第七次清洗：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入第五超純水清洗槽中進(jìn)行清洗，清洗時間為60min，每分鐘上下拋動60次，第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為100℃；

（9）烘干：將清洗后的雙面拋光藍(lán)寶石薄片放入烘干槽中進(jìn)行烘干處理即可，烘干時間為30min，烘干溫度為90℃。

上述一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝，其中，所述的第一弱堿性環(huán)保清洗劑與第二弱堿性環(huán)保清洗劑均是以20%的弱堿性環(huán)保清洗劑與80%的超純水混合配比而成。

本發(fā)明提供的一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝，先通過切割、研磨、拋光將藍(lán)寶石工件制成雙面拋光藍(lán)寶石薄片，然后在對雙面拋光藍(lán)寶石薄片進(jìn)行最終清洗，步驟簡單，制備方便，整個清洗過程包括利用兩次弱堿性環(huán)保清洗劑與五次超純水進(jìn)行清洗，較原有的清洗工藝而言，利用堿性清洗工藝進(jìn)行清洗，更加環(huán)保、晶片潔凈度好、安全性高，同時成本較低，及安全又環(huán)保。

本發(fā)明提供的一種藍(lán)寶石窗口片堿性清洗工藝，其中弱堿性環(huán)保清洗劑為SP2200清洗機，超純水為用實驗室純水機自制超純水。

僅為本發(fā)明較佳的具體實施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。