本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石襯底加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種藍(lán)寶石襯底拋光裝置。

背景技術(shù)：

隨著高亮度LED在照明工程領(lǐng)域需求量的急劇增長(zhǎng)，帶動(dòng)了國(guó)內(nèi)藍(lán)寶石襯底材料制備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。由于藍(lán)寶石晶體具有耐高溫、耐腐蝕、透光波段寬等顯著特點(diǎn)，是外延長(zhǎng)的首選襯底材料，但也正是由于藍(lán)寶石硬度極高、脆性大、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的特點(diǎn)，給材料加工，尤其是晶片表面納米級(jí)拋光在技術(shù)上帶來(lái)很多困難，為應(yīng)對(duì)光電技術(shù)的發(fā)展對(duì)產(chǎn)品襯底材料表面提出的超光滑、無(wú)損傷的要求，必須對(duì)藍(lán)寶石襯底進(jìn)行精細(xì)拋光，拋光時(shí)需要使拋光盤(pán)與藍(lán)寶石襯底貼合以產(chǎn)生壓力進(jìn)行拋光，但是由于藍(lán)寶石襯底材質(zhì)較脆，在對(duì)其進(jìn)行拋光的時(shí)候要注意，傳統(tǒng)的藍(lán)寶石襯底拋光機(jī)對(duì)藍(lán)寶石襯底的固定不夠好，在對(duì)藍(lán)寶石襯底進(jìn)行拋光時(shí)可能會(huì)導(dǎo)致其發(fā)生損壞，導(dǎo)致報(bào)廢，造成經(jīng)濟(jì)損失，而且傳統(tǒng)的拋光機(jī)不能調(diào)節(jié)拋光盤(pán)與藍(lán)寶石襯底貼合程度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種藍(lán)寶石襯底拋光裝置，具備對(duì)藍(lán)寶石襯底固定效果好的優(yōu)點(diǎn)，解決了傳統(tǒng)拋光機(jī)對(duì)藍(lán)寶石襯底固定效果不好的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種藍(lán)寶石襯底拋光裝置，包括底座，所述底座的頂部設(shè)置有固定架，所述固定架的頂部開(kāi)設(shè)有第一通孔，所述第一通孔的內(nèi)部設(shè)置有軸承，所述固定架的頂部還設(shè)置有電機(jī)支架，所述電機(jī)支架的內(nèi)部設(shè)置有電機(jī)。

所述固定架的內(nèi)部設(shè)置有置物板，所述置物板上開(kāi)設(shè)有第二通孔，所述置物板的上表面開(kāi)設(shè)有滑槽，所述滑槽的內(nèi)部設(shè)置有滑塊，所述滑塊的一側(cè)面與滑槽的內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)置有間隙，間隙內(nèi)設(shè)置有第一彈簧，所述滑槽的內(nèi)底壁開(kāi)設(shè)有凹槽。

所述固定架的內(nèi)部還設(shè)置有定位桿，所述定位桿的一端與底座的上表面固定連接，所述定位桿的另一端延伸出第二通孔并設(shè)置有限位塊，所述限位塊的下表面與置物板的上表面接觸，所述定位桿的外表面設(shè)置有限位螺母，所述定位桿的外表面還套接有第二彈簧，所述固定架的內(nèi)部還設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一端設(shè)置有拋光盤(pán)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外表面與軸承的內(nèi)表面固定連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的另一端延伸出第一通孔與電機(jī)的輸出端通過(guò)聯(lián)軸器固定連接。

優(yōu)選的，所述凹槽的截面呈三角形狀，所述凹槽的內(nèi)部設(shè)置有防滑塊，所述防滑塊為橡膠防滑塊。

優(yōu)選的，四個(gè)所述第二通孔以兩兩對(duì)稱的形式設(shè)置在置物板上，四個(gè)所述定位桿的外表面分別與四個(gè)所述第二通孔的內(nèi)表面接觸。

優(yōu)選的，所述定位桿的外表面還設(shè)置有螺紋，所述限位螺母的內(nèi)表面與定位桿的外表面螺紋連接。

優(yōu)選的，所述第二彈簧的頂部與置物板的下表面固定連接，所述第二彈簧的底部與限位螺母的上表面接觸。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果如下：

1、本實(shí)用新型通過(guò)在置物板的上表面開(kāi)設(shè)有滑槽，滑槽的內(nèi)部設(shè)置有滑塊，滑塊的一側(cè)面與滑槽的內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)置有間隙，間隙內(nèi)設(shè)置有第一彈簧，能夠?qū)Σ煌笮〉乃{(lán)寶石襯底起到很好的緊固效果，滑槽的內(nèi)底壁開(kāi)設(shè)有凹槽，凹槽的內(nèi)部設(shè)置有防滑塊，橡膠防滑塊能夠防止藍(lán)寶石襯底在置物板上發(fā)生移動(dòng)，達(dá)到了對(duì)藍(lán)寶石襯底很好的固定的效果。

2、本實(shí)用新型通過(guò)定位桿的另一端延伸出第二通孔并設(shè)置有限位塊，所述限位塊的下表面與置物板的上表面接觸，防止定位桿從第二通孔內(nèi)脫落，定位桿的外表面設(shè)置有限位螺母，定位桿的外表面還套接有第二彈簧，第二彈簧的頂部與置物板的下表面固定連接，第二彈簧的底部與限位螺母的上表面接觸，通過(guò)調(diào)節(jié)限位螺母的位置改變第二彈簧的伸縮長(zhǎng)度，以改變拋光盤(pán)與襯底之間的貼合程度，從而有效的解決了傳統(tǒng)的拋光機(jī)不能調(diào)節(jié)拋光盤(pán)與藍(lán)寶石襯底貼合程度的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型置物板剖面圖；

圖3為本實(shí)用新型置物板結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1底座、2固定架、3第一通孔、4軸承、5電機(jī)支架、6電機(jī)、7置物板、8第二通孔、9滑槽、10滑塊、11第一彈簧、12凹槽、13防滑塊、14定位桿、15限位塊、16限位螺母、17第二彈簧、18轉(zhuǎn)動(dòng)軸、19拋光盤(pán)、20聯(lián)軸器、21螺紋。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1，一種藍(lán)寶石襯底拋光裝置，包括底座1，底座1的頂部設(shè)置有固定架2，固定架2的頂部開(kāi)設(shè)有第一通孔3，第一通孔3的內(nèi)部設(shè)置有軸承4，固定架2的頂部還設(shè)置有電機(jī)支架5，電機(jī)支架5的內(nèi)部設(shè)置有電機(jī)6。

請(qǐng)參閱圖1-3，固定架2的內(nèi)部設(shè)置有置物板7，置物板7上開(kāi)設(shè)有第二通孔8，四個(gè)第二通孔8以兩兩對(duì)稱的形式設(shè)置在置物板7上，第二通孔8開(kāi)設(shè)在置物板7的四角，使定位桿14對(duì)置物板7的穩(wěn)定效果更好，有效的避免置物板7在藍(lán)寶石襯底拋光過(guò)程中發(fā)生錯(cuò)位的情況，置物板7的上表面開(kāi)設(shè)有滑槽9，滑槽9的內(nèi)部設(shè)置有滑塊10，滑塊10的一側(cè)面與滑槽9的內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)置有間隙，間隙內(nèi)設(shè)置有第一彈簧11，能夠?qū)Σ煌笮〉乃{(lán)寶石襯底起到很好的緊固效果，滑槽9的內(nèi)底壁開(kāi)設(shè)有凹槽12，凹槽12的內(nèi)部設(shè)置有防滑塊13，凹槽12的截面呈三角形狀，防滑塊13為橡膠防滑塊，三角形的穩(wěn)定性最好，配合三角形的橡膠防滑塊，能夠?qū)λ{(lán)寶石襯底起到更好的防滑固定作用，而且橡膠有很好的減震效果，能夠降低藍(lán)寶石襯底在拋光時(shí)所受到的振動(dòng)，避免因?yàn)檎駝?dòng)造成損壞，達(dá)到了對(duì)藍(lán)寶石襯底很好的固定的效果。

固定架2的內(nèi)部還設(shè)置有定位桿14，定位桿14的一端與底座1的上表面固定連接，定位桿14的另一端延伸出第二通孔8并設(shè)置有限位塊15，防止定位桿14從第二通孔8內(nèi)脫落，四個(gè)定位桿14的外表面分別與四個(gè)第二通孔8的內(nèi)表面接觸，限位塊15的下表面與置物板7的上表面接觸，定位桿14的外表面設(shè)置有限位螺母16，定位桿14的外表面還套接有第二彈簧17，第二彈簧17的頂部與置物板7的下表面固定連接，第二彈簧17的底部與限位螺母16的上表面接觸，定位桿14的外表面還設(shè)置有螺紋21，限位螺母16的內(nèi)表面與定位桿14的外表面螺紋連接，用戶可以通過(guò)改變限位螺母16的位置，以改變第二彈簧17的伸縮長(zhǎng)度達(dá)到調(diào)節(jié)藍(lán)寶石襯底與拋光盤(pán)19之間的貼合程度，第二彈簧17的設(shè)置即能夠用來(lái)調(diào)節(jié)藍(lán)寶石襯底與拋光盤(pán)19之間的壓力，又能避免拋光盤(pán)19與藍(lán)寶石襯底之間壓力過(guò)大導(dǎo)致襯底損壞的情況，有效的解決了傳統(tǒng)的拋光機(jī)不能調(diào)節(jié)拋光盤(pán)19與藍(lán)寶石襯底貼合程度的問(wèn)題，固定架2的內(nèi)部還設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)軸18，轉(zhuǎn)動(dòng)軸18的一端設(shè)置有拋光盤(pán)19，轉(zhuǎn)動(dòng)軸18的外表面與軸承4的內(nèi)表面固定連接，轉(zhuǎn)動(dòng)軸18的另一端延伸出第一通孔3與電機(jī)6的輸出端通過(guò)聯(lián)軸器20固定連接。

工作原理：將需要拋光的藍(lán)寶石襯底通過(guò)滑塊10和第一彈簧11固定在置物板7上表面的滑槽9內(nèi)，根據(jù)拋光需要的壓力調(diào)節(jié)限位螺母16的位置，啟動(dòng)電機(jī)6，對(duì)襯底進(jìn)行打磨。

綜上所述：該藍(lán)寶石襯底拋光裝置，通過(guò)在置物板7的上表面開(kāi)設(shè)有滑槽9，滑槽9的內(nèi)部設(shè)置有滑塊10，滑塊10的一側(cè)面與滑槽9的內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)置有間隙，間隙內(nèi)設(shè)置有第一彈簧11，滑槽9的內(nèi)底壁開(kāi)設(shè)有凹槽12，凹槽12的內(nèi)部設(shè)置有防滑塊13，解決了傳統(tǒng)拋光機(jī)對(duì)藍(lán)寶石襯底固定性不好的問(wèn)題。

通過(guò)定位桿14的另一端延伸出第二通孔8并設(shè)置有限位塊15，所述限位塊15的下表面與置物板7的上表面接觸，定位桿14的外表面設(shè)置有限位螺母16，定位桿14的外表面還套接有第二彈簧17，第二彈簧17的頂部與置物板7的下表面固定連接，第二彈簧17的底部與限位螺母16的上表面接觸，解決了傳統(tǒng)的拋光機(jī)不能調(diào)節(jié)拋光盤(pán)與藍(lán)寶石襯底貼合程度的問(wèn)題。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。