專利名稱：用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造工藝，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工藝中，例如在金屬刻蝕工藝中，需要使用適半導(dǎo)體制造裝置。圖I示意性地示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的一種半導(dǎo)體制造裝置的部分立體分解圖。如圖I所示，半導(dǎo)體制造裝置包括渦輪分子泵3、渦輪泵閥門(mén)2、泵抽吸端口 I。其中，渦輪分子泵3通過(guò)渦輪泵閥門(mén)2與泵抽吸端口 I相連。 由于在半導(dǎo)體制造中所產(chǎn)生的某些聚合物具有較強(qiáng)的粘附能力，這些聚合物會(huì)粘附在泵抽吸端口等腔體內(nèi)的各個(gè)部位，這種聚合物粘附到一定程度會(huì)產(chǎn)生不可預(yù)計(jì)的剝落，從而嚴(yán)重影響產(chǎn)品的良率。然而這種聚合物非常難以清除，通常需要拆卸后才能徹底清洗干凈，可是泵抽吸端口的拆卸非常復(fù)雜。更具體地說(shuō)，泵抽吸端口 I不容易拆卸的原因是腔體是不能動(dòng)的，從圖I可以看出，要拆卸泵抽吸端口必須先拆掉渦輪分子泵3和渦輪泵閥門(mén)2才行。除了工作量非常大和繁重之外，渦輪分子泵內(nèi)其實(shí)也是有很多聚合物的，如果這些聚合物吸收到空氣中的水分會(huì)對(duì)渦輪分子泵造成一定的傷害，縮短它的使用壽命，所以一般我們?cè)谧鰴C(jī)臺(tái)保養(yǎng)時(shí)是不打開(kāi)渦輪泵閥門(mén)的，這樣渦輪分子泵就會(huì)保持真空，從而延長(zhǎng)壽命?；谏鲜鲈颍Ｍ軌蛱峁┮环N能夠避免半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的聚合物粘附在泵抽吸端口表面的遮擋裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，提供一種能夠避免半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的聚合物粘附在泵抽吸端口表面的遮擋裝置。為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，根據(jù)本發(fā)明，提供了一種用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口遮擋蓋，其中用于半導(dǎo)體制造的半導(dǎo)體制造設(shè)備包括渦輪分子泵、渦輪泵閥門(mén)、泵抽吸端口 ；其中，所述渦輪分子泵通過(guò)所述渦輪泵閥門(mén)與泵抽吸端口相連，其特征在于包括所述泵抽吸端口遮擋蓋用于蓋在半導(dǎo)體制造裝置腔體內(nèi)的泵抽吸端口上。優(yōu)選地，所述泵抽吸端口遮擋蓋包括環(huán)形側(cè)壁、以及布置在環(huán)形側(cè)壁外周的密封圈。優(yōu)選地，所述密封圈是橡膠圈。優(yōu)選地，所述泵抽吸端口遮擋蓋的環(huán)形側(cè)壁的材料是不銹鋼。優(yōu)選地，所述密封圈在環(huán)形側(cè)壁的高度方向上的位置位于泵抽吸端口遮擋蓋的蓋口位置。優(yōu)選地，所述密封圈在環(huán)形側(cè)壁的高度方向上的位置位于泵抽吸端口遮擋蓋的蓋口位置之外的位置。
優(yōu)選地，所述泵抽吸端口遮擋蓋的所述環(huán)形側(cè)壁的與所述圓形底部相對(duì)的一側(cè)具有內(nèi)導(dǎo)角。優(yōu)選 地，在所述環(huán)形側(cè)壁的外壁上布置有洗槽，所述密封圈通過(guò)嵌入所述環(huán)形側(cè)壁的外壁上的洗槽而固定。優(yōu)選地，所述密封圈嵌入環(huán)形側(cè)壁的外壁上的洗槽的深度大約為橡膠圈的半徑。根據(jù)本發(fā)明，在泵抽吸端口上安裝了泵抽吸端口遮擋蓋，在裝了這個(gè)泵抽吸端口遮擋蓋后，制程氣體及反應(yīng)物以及半導(dǎo)體制造中所產(chǎn)生的某些聚合物會(huì)落入泵抽吸端口遮擋蓋，而不會(huì)泵抽吸端口等腔體內(nèi)的各個(gè)部位。由此，在保養(yǎng)中只需向上取出泵抽吸端口遮擋蓋，再對(duì)泵抽吸端口遮擋蓋進(jìn)行清洗即可，由此就能確保泵抽吸端口等腔體內(nèi)的各個(gè)部位的潔凈。這樣就節(jié)省了時(shí)間和人力，保證了渦輪分子泵的使用壽命，也保證了產(chǎn)品的良率。


結(jié)合附圖，并通過(guò)參考下面的詳細(xì)描述，將會(huì)更容易地對(duì)本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點(diǎn)和特征，其中圖I示意性地示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體制造裝置的部分立體分解圖。圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體制造裝置的截面圖。圖3示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的泵抽吸端口遮擋蓋的一個(gè)具體示例的俯視圖。圖4示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的泵抽吸端口遮擋蓋的一個(gè)具體示例的正視圖。圖5示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的泵抽吸端口遮擋蓋的一個(gè)具體示例的首1J視圖。需要說(shuō)明的是，附圖用于說(shuō)明本發(fā)明，而非限制本發(fā)明。注意，表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類(lèi)似的元件標(biāo)有相同或者類(lèi)似的標(biāo)號(hào)。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)描述。圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體制造裝置的截面圖。如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體制造裝置包括渦輪分子泵3、渦輪泵閥門(mén)2、泵抽吸端口 I。其中，渦輪分子泵3通過(guò)渦輪泵閥門(mén)2與泵抽吸端口 I相連。需要說(shuō)明的是，附圖中僅僅示出了與本發(fā)明有關(guān)的結(jié)構(gòu)，而省略了半導(dǎo)體制造裝置其它結(jié)構(gòu)(例如腔體內(nèi)的其它結(jié)構(gòu))。其中，在半導(dǎo)體制造裝置腔體內(nèi)的泵抽吸端口 I上安裝了泵抽吸端口遮擋蓋4。在泵抽吸端口上安裝了泵抽吸端口遮擋蓋4，在裝了這個(gè)泵抽吸端口遮擋蓋后，如圖2中的虛線箭頭所示，制程氣體及反應(yīng)物以及半導(dǎo)體制造中所產(chǎn)生的某些聚合物會(huì)粘附在泵抽吸端口遮擋蓋4，而不會(huì)粘附在泵抽吸端口上。由此，在保養(yǎng)中只需向上取出泵抽吸端口遮擋蓋，再對(duì)泵抽吸端口遮擋蓋進(jìn)行清洗即可，由此就能確保泵抽吸端口等腔體內(nèi)的各個(gè)部位的潔凈。這樣就節(jié)省了時(shí)間和人力，保證了渦輪分子泵的使用壽命，也保證了產(chǎn)品的良率。圖3示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的泵抽吸端口遮擋蓋4的一個(gè)具體示例的俯視圖。如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的泵抽吸端口遮擋蓋4包括環(huán)形側(cè)壁41、以及布置在環(huán)形側(cè)壁41外周的密封圈42。實(shí)際上，泵抽吸端口遮擋蓋4是一個(gè)類(lèi)似管件的部件。優(yōu)選地，例如，所述密封圈42是橡膠圈。并且，優(yōu)選地，例如，所述泵抽吸端口遮擋蓋4的圓形底部43和環(huán)形側(cè)壁41的材料是不銹鋼。圖4示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的泵抽吸端口遮擋蓋的一個(gè)具體示例的正視圖。如圖4所示，所述密封圈42在環(huán)形側(cè)壁41的高度方向上的位置不僅可以位于泵抽吸端口遮擋蓋4的蓋口位置(相對(duì)于環(huán)形側(cè)壁41與圓形底部43相對(duì)的位置)，而且可以是靠近泵抽吸端口遮擋蓋4的蓋口位置的任意位置。圖5示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的泵抽吸端口遮擋蓋4的一個(gè)具體示例的剖視圖。例如，圖5是沿著圖3所示的虛線截取圖3所示的泵抽吸端口遮擋蓋4的的剖視圖。如圖5所示，泵抽吸端口遮擋蓋4的環(huán)形側(cè)壁41的相對(duì)于環(huán)形側(cè)壁41與圓形底部43相對(duì)的一側(cè)(S卩，蓋口位置處)具有內(nèi)導(dǎo)角5。也就是說(shuō)，泵抽吸端口遮擋蓋4的環(huán)形側(cè)壁41的相對(duì)于環(huán)形側(cè)壁41與圓形底部43相對(duì)的一側(cè)(即，蓋口位置處)具有有利于引導(dǎo)半導(dǎo)體制造中所產(chǎn)生的某些聚合物進(jìn)入泵抽吸端口遮擋蓋4內(nèi)的斜面。由此，可以更好地確保半導(dǎo)體制造中所產(chǎn)生的某些聚合物不會(huì)泵抽吸端口等腔體內(nèi)的各個(gè)部位。并且，在環(huán)形側(cè)壁41的外壁上布置有洗槽，諸如橡膠圈之類(lèi)的所述密封圈42 —般通過(guò)嵌入環(huán)形側(cè)壁41的外壁上的洗槽而固定，述密封圈42嵌入環(huán)形側(cè)壁41的外壁上的洗槽的深度大約為橡膠圈的半徑，如圖5所示?？梢岳斫獾氖?，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然而上述實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。對(duì)于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其中用于半導(dǎo)體制造的半導(dǎo)體制造設(shè)備包括渦輪分子泵、渦輪泵閥門(mén)、泵抽吸端口；其中，所述渦輪分子泵通過(guò)所述渦輪泵閥門(mén)與泵抽吸端口相連，其特征在于包括所述泵抽吸端口遮擋蓋用于蓋在半導(dǎo)體制造裝置腔體內(nèi)的泵抽吸端口上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述泵抽吸端口遮擋蓋包括環(huán)形側(cè)壁、以及布置在環(huán)形側(cè)壁外周的密封圈。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述密封圈是橡膠圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述泵抽吸端口遮擋蓋的所述圓形底部和所述環(huán)形側(cè)壁的材料是不銹鋼。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述密封圈在環(huán)形側(cè)壁的高度方向上的位置位于泵抽吸端口遮擋蓋的蓋口位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述密封圈在環(huán)形側(cè)壁的高度方向上的位置位于泵抽吸端口遮擋蓋的蓋口位置之外的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述泵抽吸端口遮擋蓋的所述環(huán)形側(cè)壁的與所述圓形底部相對(duì)的一側(cè)具有內(nèi)導(dǎo)角。
8.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，在所述環(huán)形側(cè)壁的外壁上布置有洗槽，所述密封圈通過(guò)嵌入所述環(huán)形側(cè)壁的外壁上的洗槽而固定。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋，其特征在于，所述密封圈嵌入環(huán)形側(cè)壁的外壁上的洗槽的深度大約為橡膠圈的半徑。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于半導(dǎo)體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋。用于半導(dǎo)體制造的半導(dǎo)體制造設(shè)備包括渦輪分子泵、渦輪泵閥門(mén)、泵抽吸端口；其中，所述渦輪分子泵通過(guò)所述渦輪泵閥門(mén)與泵抽吸端口相連。所述泵抽吸端口遮擋蓋用于蓋在半導(dǎo)體制造裝置腔體內(nèi)的泵抽吸端口上。所述泵抽吸端口遮擋蓋包括環(huán)形側(cè)壁、以及布置在環(huán)形側(cè)壁外周的密封圈。根據(jù)本發(fā)明，在泵抽吸端口上安裝了泵抽吸端口遮擋蓋，使聚合物粘附在泵抽吸端口遮擋蓋內(nèi)壁，而不會(huì)粘附在泵抽吸端口上。由此，在保養(yǎng)中只需向上取出泵抽吸端口遮擋蓋，再對(duì)泵抽吸端口遮擋蓋進(jìn)行清洗即可，由此節(jié)省了時(shí)間和人力，保證了渦輪分子泵的使用壽命并保證了產(chǎn)品良率。
文檔編號(hào)F04D29/52GK102865250SQ201210366180
公開(kāi)日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月27日
發(fā)明者包中誠(chéng), 陳超 申請(qǐng)人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司