專利名稱：一種空氣式真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于真空泵技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種空氣式真空泵。
背景技術(shù)：
當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)中基本上都是使用的水循環(huán)式真空泵，真空泵的主要目的就是吸住半導(dǎo)體芯片保持一個(gè)穩(wěn)定的真空度并且要防止吸取D1-WATER及雜質(zhì)會(huì)發(fā)生以下問題:1.水環(huán)式真空泵噪音比較大2.在潮濕的環(huán)境中用電存在安全隱患3.浪費(fèi)水能源4.故障率比較高5.昂貴的維修及維護(hù)費(fèi)用。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型主要目的是為了解決上述問題，提供一種體積小、節(jié)能環(huán)保、噪音低、可以吸取雜質(zhì)及D1-WATER并保持穩(wěn)定的真空度，而且壽命長、故障率低、維修費(fèi)用低的空
氣式真空泵。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是:一種空氣式真空泵，其包括上分離罐、下分離罐、數(shù)字式真空顯示器、真空過濾器、真空發(fā)生器、進(jìn)氣電磁閥、調(diào)節(jié)器、空氣過濾器、速度控制器、真空釋放電磁閥、上分離罐執(zhí)行器、下分離罐執(zhí)行器、排水口、工作臺(tái)和PLC控制器；上分離罐的一側(cè)與工作臺(tái)連接；上分離罐上方分別與數(shù)字式真空顯示器和真空過濾器的一端連接；上分離罐的下方與下分離罐連接；上分離罐與下分離罐之間連接有上分離罐執(zhí)行器；下分離罐下方設(shè)有排水口 ；下分離罐與排水口之間連接有下分離罐執(zhí)行器；上分離罐執(zhí)行器通過下分離罐執(zhí)行器與排水口連接；真空過濾器的另一端依次連接真空發(fā)生器和進(jìn)氣電磁閥；進(jìn)氣電磁閥再分別與調(diào)節(jié)器、上分離罐執(zhí)行器、速度控制器連接；速度控制器通過真空釋放電磁閥與下分離罐連接；調(diào)節(jié)器還連接有空氣過濾器；PLC控制器分別與上分離罐執(zhí)行器、下分離罐執(zhí)行器、進(jìn)氣電磁閥、真空釋放電磁閥連接；調(diào)節(jié)器與進(jìn)氣電磁閥之間還連接有數(shù)字式壓力顯示器，用于顯示壓縮空氣的壓力；真空發(fā)生器還連接有壓力傳感器、消音器和真空傳感器；壓力傳感器用于測量壓縮空氣壓力值；真空傳感器用于測量真空值；消音器起到降低噪音的作用。本實(shí)用新型啟動(dòng)后壓縮空氣通過空氣過濾器和調(diào)節(jié)器把空氣中的雜質(zhì)過濾掉并可以調(diào)節(jié)到特定壓力；PLC控制器控制進(jìn)氣電磁閥動(dòng)作給真空發(fā)生器供給壓縮空氣從而產(chǎn)生真空，此時(shí)上分離罐執(zhí)行器打開，下分離罐執(zhí)行器關(guān)閉保持上分離罐與下分離罐相通仍可以形成封閉的空間，上分離罐分離從工作臺(tái)吸取回來的雜質(zhì)及D1-WATER，存放在下分離罐中，當(dāng)真空發(fā)生器產(chǎn)生的真空通過真空過濾器使上分離罐的真空度達(dá)到設(shè)定值并輸出給工作臺(tái)時(shí)開始計(jì)時(shí)一段時(shí)間后，PLC控制器控制關(guān)閉上分離罐執(zhí)行器后再打開下分離罐執(zhí)行器，而后再打開真空釋放電磁閥把D1-WATER和雜質(zhì)通過排水口排出，并通過速度控制器控制排出速度。

:圖1:本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
:實(shí)施例:如圖1所示:一種空氣式真空泵，其包括上分離罐1、下分離罐2、數(shù)字式真空顯示器3、真空過濾器4、真空發(fā)生器5、進(jìn)氣電磁閥6、調(diào)節(jié)器7、空氣過濾器8、速度控制器10、真空釋放電磁閥11、上分離罐執(zhí)行器12、下分離罐執(zhí)行器13、排水口 14、工作臺(tái)15和PLC控制器19 ;上分離罐I的一側(cè)與工作臺(tái)15連接；上分離罐I上方分別與數(shù)字式真空顯示器3和真空過濾器4的一端連接；上分離罐I的下方與下分離罐2連接；上分離罐I與下分離罐2之間連接有上分離罐執(zhí)行器12 ;下分離罐2下方設(shè)有排水口 14 ;下分離罐2與排水口14之間連接有下分離罐執(zhí)行器13 ;上分離罐執(zhí)行器12通過下分離罐執(zhí)行器13與排水口 14連接；真空過濾器4的另一端依次連接真空發(fā)生器5和進(jìn)氣電磁閥6 ;進(jìn)氣電磁閥6再分別與調(diào)節(jié)器7、上分離罐執(zhí)行器12、速度控制器10連接；速度控制器10通過真空釋放電磁閥11與下分離罐2連接；調(diào)節(jié)器7還連接有空氣過濾器8 ；PLC控制器19分別與上分離罐執(zhí)行器12、下分離罐執(zhí)行器13、進(jìn)氣電磁閥6、真空釋放電磁閥11連接；調(diào)節(jié)器7與進(jìn)氣電磁閥6之間還連接有數(shù)字式壓力顯示器9，用于顯示壓縮空氣的壓力；真空發(fā)生器5還連接有壓力傳感器16、消音器17和真空傳感器18 ;壓力傳感器16用于測量壓縮空氣壓力值；真空傳感器18用于測量真空值；消音器17起到降低噪音的作用。本實(shí)用新型啟動(dòng)后壓縮空氣通過空氣過濾器8和調(diào)節(jié)器7把空氣中的雜質(zhì)過濾掉并可以調(diào)節(jié)到特定壓力；PLC控制器19控制進(jìn)氣電磁閥6動(dòng)作給真空發(fā)生器5供給壓縮空氣從而產(chǎn)生真空，此時(shí)上分離罐執(zhí)行器12打開，下分離罐執(zhí)行器13關(guān)閉保持上分離罐I與下分離罐2相通仍可以形成封閉的空間，上分離罐I分離從工作臺(tái)15吸取回來的雜質(zhì)及D1-WATER，存放在下分離罐2中，當(dāng)真空發(fā)生器5產(chǎn)生的真空通過真空過濾器4使上分離罐I的真空度達(dá)到設(shè)定值并輸出給工作臺(tái)15時(shí)開始計(jì)時(shí)一段時(shí)間后，PLC控制器19控制關(guān)閉上分離罐執(zhí)行器12后再打開下分離罐執(zhí)行器13，而后再打開真空釋放電磁閥11把D1-WATER和雜質(zhì)通過排水口 14排出，并通過速度控制器10控制排出速度。
權(quán)利要求1.一種空氣式真空泵，其特征在于:該空氣式真空泵包括上分離罐、下分離罐、真空過濾器、真空發(fā)生器、進(jìn)氣電磁閥、調(diào)節(jié)器、空氣過濾器、數(shù)字式真空顯示器、速度控制器、真空釋放電磁閥、上分離罐執(zhí)行器、下分離罐執(zhí)行器、排水口、工作臺(tái)和PLC控制器；所述的上分離罐的一側(cè)與所述的工作臺(tái)連接所述的上分離罐上方分別與數(shù)字式真空顯示器和真空過濾器的一端連接；所述的上分離罐的下方與下分離罐連接；所述的上分離罐與下分離罐之間連接有上分離罐執(zhí)行器；所述的下分離罐下方設(shè)有排水口 ；所述的下分離罐與排水口之間連接有下分離罐執(zhí)行器；所述的上分離罐執(zhí)行器通過下分離罐執(zhí)行器與所述的排水口連接；所述的真空過濾器的另一端依次連接真空發(fā)生器和進(jìn)氣電磁閥；所述的進(jìn)氣電磁閥再分別與調(diào)節(jié)器、上分離罐執(zhí)行器、速度控制器連接；所述的速度控制器通過真空釋放電磁閥與所述的下分離罐連接；所述的調(diào)節(jié)器還連接有空氣過濾器；所述的PLC控制器分別與所述的上分離罐執(zhí)行器、下分離罐執(zhí)行器、進(jìn)氣電磁閥、真空釋放電磁閥連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣式真空泵，其特征在于:所述的調(diào)節(jié)器與所述的進(jìn)氣電磁閥之間還連接有數(shù)字式壓力顯示器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣式真空泵，其特征在于:所述的真空發(fā)生器還連接有壓力傳感器、消音器和真空傳感器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種空氣式真空泵，上分離罐的分別與工作臺(tái)、數(shù)字式真空顯示器和真空過濾器的一端連接；上分離罐的下方與下分離罐連接；下分離罐下方設(shè)有排水口；上分離罐執(zhí)行器通過下分離罐執(zhí)行器與排水口連接；真空過濾器的另一端依次連接真空發(fā)生器和進(jìn)氣電磁閥；進(jìn)氣電磁閥再分別與調(diào)節(jié)器、上分離罐執(zhí)行器、速度控制器連接；速度控制器通過真空釋放電磁閥與下分離罐連接；調(diào)節(jié)器還連接有空氣過濾器；PLC控制器分別與上分離罐執(zhí)行器、下分離罐執(zhí)行器、進(jìn)氣電磁閥、真空釋放電磁閥連接。本實(shí)用新型不僅體積小、節(jié)能環(huán)保、噪音低、可以吸取雜質(zhì)及DI-WATER并保持穩(wěn)定的真空度，而且壽命長、故障率低、維修費(fèi)用低。
文檔編號(hào)F04B49/00GK202991391SQ20122030523
公開日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2012年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月28日
發(fā)明者趙應(yīng)成 申請(qǐng)人:蘇州安妮維斯電子科技有限公司