排氣泵的堆積物感測裝置以及排氣泵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種不使流過氣體的設(shè)備的設(shè)置或裝置的操作模式的追加、變更等的負(fù)擔(dān)產(chǎn)生就能容易地實(shí)施的排氣泵的堆積物感測裝置。具有：單元（52），檢測對(duì)旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)的電動(dòng)機(jī)電流值；電流值存儲(chǔ)部（103），僅存儲(chǔ)檢測出的電動(dòng)機(jī)電流值中的設(shè)定值以上的電動(dòng)機(jī)電流值；平均值計(jì)算部（104），對(duì)所存儲(chǔ)的電動(dòng)機(jī)電流值的每單位時(shí)間的平均值進(jìn)行計(jì)算；平均值存儲(chǔ)部（105），對(duì)計(jì)算出的平均值進(jìn)行存儲(chǔ)；近似線計(jì)算部（106），將所記錄的平均值按照時(shí)間序列進(jìn)行排列，對(duì)該平均值求取一次近似線；以及差分值計(jì)算部（108），對(duì)使用一次近似線來計(jì)算出的預(yù)測電動(dòng)機(jī)電流值與在排氣泵的使用開始時(shí)的初始電動(dòng)機(jī)電流值的差分值進(jìn)行求取，以將所述差分值超過預(yù)先設(shè)定的閾值的時(shí)間點(diǎn)判定為排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期的方式構(gòu)成。
【專利說明】排氣泵的堆積物感測裝置以及排氣泵

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及排氣泵的堆積物感測裝置以及排氣泵，特別涉及能夠?qū)υ谖g刻等處理中使用的排氣泵內(nèi)的堆積物進(jìn)行感測來估計(jì)排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期的排氣泵的堆積物感測裝置以及排氣泵。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造裝置中，作為將從蝕刻等的處理裝置排出的氣體向外部排氣的裝置，例如使用圖8所示的排氣泵P。該排氣泵P具有由圓筒部I和葉片(blade)部2構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)體R，并且，利用電動(dòng)機(jī)M使旋轉(zhuǎn)體R繞轉(zhuǎn)子軸3旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
[0003]位于排氣泵P的吸氣口 4側(cè)的氣體的分子通過旋轉(zhuǎn)的葉片部2被賦予向下的運(yùn)動(dòng)量，由此，被輸送至螺紋槽部5的上游，在被螺紋槽部5壓縮之后，從排氣口 6向外部排氣。
[0004]已知由于上述那樣的氣體的排氣而在渦輪分子泵等排氣泵內(nèi)堆積生成物(例如，參照專利文獻(xiàn)I的段落0014)。特別地，在圖8中的氣體通路的S部中容易堆積生成物。
[0005]在專利文獻(xiàn)I中，公開了對(duì)在該泵內(nèi)堆積的生成物(也稱為“泵內(nèi)堆積物”。)進(jìn)行感測的方式。該感測方式是如下這樣的方式:在渦輪分子泵中，對(duì)使其旋轉(zhuǎn)翼旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)的電流值進(jìn)行檢測，將檢測出的電動(dòng)機(jī)電流值與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定電流值比較，在其結(jié)果是檢測出的電動(dòng)機(jī)電流值與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定電流值相比為規(guī)定值以上的情況下，通知保養(yǎng)時(shí)期(參照該文獻(xiàn)I的段落0022等)。
[0006]可是，包含專利文獻(xiàn)I的渦輪分子泵的排氣泵的端用戶(end user)在各種各樣的處理中使用排氣泵，根據(jù)處理的內(nèi)容，在排氣泵內(nèi)流過的氣體的種類、流量也各種各樣。因此，根據(jù)在排氣泵內(nèi)流過的氣體的種類、流量，對(duì)排氣泵的旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)的電流值也發(fā)生變化。
[0007]因此，由于在上述堆積物感測方式中基于預(yù)先設(shè)定的設(shè)定電流值來感測生成物的堆積，所以在不與設(shè)定電流值對(duì)應(yīng)的處理中不能正確地感測堆積物。
[0008]此外，為了避免錯(cuò)誤感測、錯(cuò)誤警告，對(duì)在使用什么樣的流量、種類的氣體的處理中使用排氣泵的排氣泵的使用狀況詳細(xì)地進(jìn)行調(diào)查之后，必須配合該使用狀況來變更設(shè)定電流值，存在花費(fèi)長的時(shí)間和成本的問題。
[0009]因此，本 申請(qǐng)人:以往申請(qǐng)了如下的新的發(fā)明:為了不限處理中使用的氣體的種類、流量并且無論在怎樣的處理中都更正確地感測在該處理中使用的排氣泵內(nèi)的生成堆積物并進(jìn)行警告，而在初始處理中求取電動(dòng)機(jī)電流初始值，在事后處理中求取電動(dòng)機(jī)電流當(dāng)前值，進(jìn)而，求取電動(dòng)機(jī)電流當(dāng)前值相對(duì)于該電動(dòng)機(jī)電流初始值的變化量，基于這樣的變化量來感測泵內(nèi)堆積物(參照專利文獻(xiàn)2)。
[0010]在此，如本申請(qǐng)所示，在圖8的排氣泵P的情況下，關(guān)于生成物，當(dāng)生成物堆積在轉(zhuǎn)子I下部的氣體通路的S部中時(shí)，排氣泵P的最下段的渦輪部2下部的壓力上升。其結(jié)果是，施加到電動(dòng)機(jī)M的負(fù)荷增加，因此，控制電動(dòng)機(jī)電流值以使其向增加方向變化。
[0011]因此，本
【發(fā)明者】們進(jìn)行了在氣體通路的S部中制作模擬的生成物的堆積狀況并對(duì)上述生成物的堆積與排氣泵P的電動(dòng)機(jī)M的電流變化的關(guān)系進(jìn)行調(diào)查的調(diào)查試驗(yàn)(參照?qǐng)D9)。其結(jié)果是，確認(rèn)了:如圖10所示那樣，從泵內(nèi)堆積物的堆積厚度超過了氣體通路的50%(參照上述圖9的生成物堆積比率50%)的時(shí)間點(diǎn)起，電動(dòng)機(jī)電流值向增加方向顯著地變化。
[0012]因此，通過檢測該電動(dòng)機(jī)電流值的變化量，從而能夠感測泵內(nèi)堆積物、或者估計(jì)其堆積厚度來預(yù)測排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期。
[0013]再有，電動(dòng)機(jī)電流值開始上升的泵內(nèi)堆積物的堆積厚度并不是在全部機(jī)型中都為50%，而是根據(jù)設(shè)計(jì)來變動(dòng)的。此外，例如，如圖10以及圖11所示，在如排氣泵P的運(yùn)轉(zhuǎn)條件I (流過800sccm的B氣體)那樣流到排氣泵P的氣體的流量少的情況下，電動(dòng)機(jī)電流值的變化率變小，因此，不能有意地判定電動(dòng)機(jī)電流值的增加。
[0014]進(jìn)而，電動(dòng)機(jī)電流值還根據(jù)排氣泵P的個(gè)體差異、以及在以相同的流量流過氣體的情況下的泵溫度發(fā)生變化(參照?qǐng)D12)。因此，為了有意地判定電動(dòng)機(jī)電流值的增加，需要至少10%以上的電動(dòng)機(jī)電流增加(Λ I)。
[0015]可是，實(shí)際的端用戶處的排氣泵的使用方法是千差萬別的，氣體量、氣體流量根據(jù)裝置、制法(recipe)的不同而各種各樣地變化，此外，在I種制法中也總是發(fā)生變化。因此，僅通過對(duì)電動(dòng)機(jī)電流值超過了某個(gè)閾值的情況進(jìn)行感測的功能來正確地檢測生成物的堆積量是非常困難的。
[0016]因此，作為正確地檢測生成物的堆積狀況的方案，提出了如圖13所示那樣設(shè)置正常檢查模式(health check mode)并將流到排氣泵的氣體種類和氣體流量設(shè)定為固定的方法。
[0017]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2003 - 232292號(hào)；
專利文獻(xiàn)2:國際公開第2011/145444號(hào)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0018]發(fā)明要解決的課題
可是，實(shí)際上，在各端用戶方面，為了執(zhí)行上述模式，會(huì)產(chǎn)生流過測定中所使用的氣體的設(shè)備的設(shè)置或裝置的操作模式的追加、變更等的負(fù)擔(dān)，因此，該模式的實(shí)施存在非常困難的一面。
[0019]因此，鑒于上述的【背景技術(shù)】，產(chǎn)生了為了能夠提供一種不使流過氣體的設(shè)備的設(shè)置或裝置的操作模式的追加、變更等的負(fù)擔(dān)產(chǎn)生就能容易地實(shí)施的排氣泵的堆積物感測裝置而應(yīng)該解決的技術(shù)課題，本發(fā)明以解決該課題為目的。
[0020]用于解決課題的方案
作為上述的課題解決方案，本 申請(qǐng)人:提出通過對(duì)在處理實(shí)施中流過的電動(dòng)機(jī)電流值進(jìn)行監(jiān)控來估計(jì)生成物的堆積度的方法。
[0021]本發(fā)明是為了達(dá)到上述目的而被提出的，方案I所述的發(fā)明提供一種排氣泵的堆積物感測裝置，所述排氣泵通過旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作來對(duì)氣體進(jìn)行排氣，所述堆積物感測裝置的特征在于，具有:單元，檢測對(duì)所述旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)的電動(dòng)機(jī)電流值；電流值存儲(chǔ)部，在穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式時(shí)，僅存儲(chǔ)所述電動(dòng)機(jī)電流值中的設(shè)定值以上的所述電動(dòng)機(jī)電流值；平均值計(jì)算部，對(duì)在該電流值存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述電動(dòng)機(jī)電流值的每單位時(shí)間的平均值進(jìn)行計(jì)算；以及平均值存儲(chǔ)部，對(duì)在該平均值計(jì)算部中計(jì)算出的所述平均值進(jìn)行存儲(chǔ)，還具有:近似線計(jì)算部，將在該平均值存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的存儲(chǔ)電流平均值按照時(shí)間序列進(jìn)行排列，對(duì)該存儲(chǔ)電流平均值求取一次近似線；以及差分值計(jì)算部，對(duì)使用該一次近似線來計(jì)算出的預(yù)測電動(dòng)機(jī)電流值與在所述排氣泵的使用開始時(shí)的初始電動(dòng)機(jī)電流值的差分值進(jìn)行求取，以將所述差分值超過預(yù)先設(shè)定的閾值的時(shí)間點(diǎn)判定為所述排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期的方式構(gòu)成。
[0022]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，關(guān)于設(shè)定值以上的電動(dòng)機(jī)電流值的平均值求取一次近似線，對(duì)基于該一次近似線的預(yù)測電動(dòng)機(jī)電流值與排氣泵的初始電動(dòng)機(jī)電流值的差分值進(jìn)行求取。而且，將該差分值超過上述閾值的時(shí)間點(diǎn)判定為排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期。像這樣，本發(fā)明僅通過捕捉電動(dòng)機(jī)電流的變化來預(yù)測生成物的堆積度并自動(dòng)地估計(jì)保養(yǎng)時(shí)期。
[0023]進(jìn)而，在加速模式剛結(jié)束之后(也包含制動(dòng)模式之后不久的再加速時(shí))的規(guī)定時(shí)間之外，僅在流過正常的電動(dòng)機(jī)電流值的穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式的時(shí)間，在電流值存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)設(shè)定值以上的電動(dòng)機(jī)電流值。因此，能夠忽視待機(jī)時(shí)、加速時(shí)和減速時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流值。
[0024]方案2所述的發(fā)明提供一種根據(jù)方案I所述的排氣泵的堆積物感測裝置，其特征在于，在所述穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式中檢測出的所述電動(dòng)機(jī)電流值是，在從所述排氣泵的加速模式結(jié)束后到所述電動(dòng)機(jī)電流值暫時(shí)變?yōu)槌浞中〉闹档钠陂g之外進(jìn)行檢測。
[0025]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過在電動(dòng)機(jī)電流值暫時(shí)變?yōu)槌浞中〉闹抵暗臅r(shí)間之外收集數(shù)據(jù)，從而僅在排氣泵的穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式中的電動(dòng)機(jī)電流值穩(wěn)定了的時(shí)間，執(zhí)行成為有效的數(shù)據(jù)的電動(dòng)機(jī)電流值的存儲(chǔ)處理。
[0026]方案3所述的發(fā)明提供一種根據(jù)方案I或2所述的排氣泵的堆積物感測裝置，其特征在于，所述電動(dòng)機(jī)電流值的設(shè)定值是，在各處理中能取得至少一個(gè)包含電動(dòng)機(jī)電流值的最大值(峰值電流值)的數(shù)據(jù)的范圍內(nèi)盡量大的值。
[0027]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在排氣處理中的各處理中，取得至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)電流值的數(shù)據(jù)，因此，全部處理的電動(dòng)機(jī)電流值對(duì)平均值的計(jì)算做出貢獻(xiàn)。
[0028]方案4所述的發(fā)明提供一種根據(jù)方案I至3所述的任一個(gè)排氣泵的堆積物感測裝置，其特征在于，所述電動(dòng)機(jī)電流值的差分值的閾值是，根據(jù)各個(gè)排氣泵的生成物的堆積狀況來決定。
[0029]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，電動(dòng)機(jī)電流值的差分值的閾值是考慮到各個(gè)排氣泵的生成物的堆積狀況來特別決定的。因此，即使在生成物的堆積速度等按照各個(gè)排氣泵的每一個(gè)而不同的情況下，也以與該堆積速度等對(duì)應(yīng)的閾值為基準(zhǔn)來判斷電動(dòng)機(jī)電流值的差分值是否超過該閾值。
[0030]方案5所述的發(fā)明提供一種排氣泵,其特征在于,具備方案I至方案4中的任一項(xiàng)所述的排氣泵的堆積物感測裝置。
[0031]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，獲得具有上述方案I至方案4所述的作用的排氣泵。
[0032]發(fā)明的效果方案I所述的發(fā)明能夠在不使流過氣體的設(shè)備的設(shè)置或裝置的操作模式的追加、變更等的負(fù)擔(dān)產(chǎn)生的情況下把握排氣泵內(nèi)的生成物的堆積狀況而容易地估計(jì)排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期。
[0033]進(jìn)而，即使在通常處理時(shí)以外不會(huì)流過的那樣的大的電動(dòng)機(jī)電流值流過了的情況下，也能夠使其影響最小。此外，具有僅通過基于設(shè)定值以上的電動(dòng)機(jī)電流值的平均值求取一次近似線就能夠容易地判定排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期且計(jì)算上述平均值的算法簡單的優(yōu)點(diǎn)。
[0034]進(jìn)而此外，不僅能夠忽視加速時(shí)和減速時(shí)的通過電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器流出的最大的電動(dòng)機(jī)電流值，也能夠忽視在待機(jī)時(shí)等的非有效的電動(dòng)機(jī)電流值。因此，在待機(jī)時(shí)等的電動(dòng)機(jī)電流值不超過規(guī)定值的情況下，不使用各個(gè)數(shù)據(jù)來計(jì)算平均值，因此，即使在電動(dòng)機(jī)電流值極端地小的狀況下，也不受其影響，能夠計(jì)算電動(dòng)機(jī)電流值的平均值。
[0035]此外，在通常處理時(shí)以外不會(huì)流過的那樣的大的電動(dòng)機(jī)電流值流過了的情況下，也能夠使其影響最小。
[0036]方案2所述的發(fā)明僅在排氣泵的穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式中的電動(dòng)機(jī)電流值穩(wěn)定了的時(shí)間執(zhí)行成為有效的數(shù)據(jù)的電動(dòng)機(jī)電流值的存儲(chǔ)處理，因此，除了方案I所述的發(fā)明的效果之夕卜，還能夠忽視泵運(yùn)轉(zhuǎn)的加速模式剛結(jié)束之后的通過電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器流出的最大的電動(dòng)機(jī)電流值。
[0037]這樣，由于在待機(jī)時(shí)等的電動(dòng)機(jī)電流值不超過規(guī)定值的情況下的數(shù)據(jù)不在平均值的計(jì)算中采用，所以，具有即使在待機(jī)時(shí)等的電動(dòng)機(jī)電流值極端地小的狀況下也不受其影響的特有的效果。
[0038]在方案3所述的發(fā)明中，各處理中的最大的電動(dòng)機(jī)電流值對(duì)平均值的計(jì)算做出貢獻(xiàn)，因此，除了方案I或2所述的發(fā)明的效果之外，還能夠更加正確地計(jì)算全部處理中的電動(dòng)機(jī)電流值的平均值。
[0039]在方案4所述的發(fā)明中，即使在生成物的堆積速度按照每個(gè)排氣泵而不同的情況下，也將與各個(gè)排氣泵的堆積速度相稱的閾值作為基準(zhǔn)，判斷電動(dòng)機(jī)電流值的差分值是否超過該閾值。因此，除了方案1、2或3所述的發(fā)明的效果之外，還能夠更正確地判斷排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期。
[0040]方案5所述的發(fā)明獲得一種排氣泵，不使流過氣體的設(shè)備的設(shè)置或裝置的操作模式的追加、變更等的負(fù)擔(dān)產(chǎn)生就能夠容易地實(shí)施，即使在待機(jī)時(shí)等的電動(dòng)機(jī)電流值極端地小的狀況下，也不受其影響，能夠正確地計(jì)算電動(dòng)機(jī)電流值的平均值。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0041]圖1是對(duì)處理時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流的變化進(jìn)行說明的圖。
[0042]圖2是說明本發(fā)明的基于規(guī)定值以上的電動(dòng)機(jī)電流值來計(jì)算平均值等的方法的圖。
[0043]圖3是對(duì)基于多個(gè)種類的設(shè)定值以上的電動(dòng)機(jī)電流分別計(jì)算一次近似線的情況進(jìn)行比較并說明的圖。
[0044]圖4是在圖8的排氣泵的泵控制裝置中裝入了作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的堆積物感測裝置的例子的功能框圖。
[0045]圖5是示出本發(fā)明的微型計(jì)算機(jī)部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)例的框圖。
[0046]圖6是示出本發(fā)明的堆積物感測裝置的工作步驟的一個(gè)例子的流程圖。
[0047]圖7 - A是說明在設(shè)定值X (A)以上的電動(dòng)機(jī)電流值的情況下的加速時(shí)、減速時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流對(duì)一次近似線的影響的圖。
[0048]圖7 - B是說明基于設(shè)定值X -1 (A)以上的電動(dòng)機(jī)電流值的平均值等的計(jì)算方法的圖。
[0049]圖8是示出排氣泵的一個(gè)例子的剖面圖。
[0050]圖9是模擬地制作出圖8的排氣泵內(nèi)的氣體通路中的生成物的堆積狀況的狀態(tài)的說明圖，a)是示出在生成物堆積比率為25%時(shí)的狀態(tài)的圖，b)是示出在該比率為50%時(shí)的狀態(tài)的圖，c)是示出在該比率為75%時(shí)的狀態(tài)的圖。
[0051]圖10是在圖9的模擬的堆積物存在的狀況下運(yùn)轉(zhuǎn)圖8的排氣泵來測定該排氣泵的電動(dòng)機(jī)的電流時(shí)的生成物堆積比率與電動(dòng)機(jī)電流的關(guān)系的說明圖。
[0052]圖11是對(duì)在圖10的條件2和條件3各個(gè)條件下運(yùn)轉(zhuǎn)圖8的排氣泵來測定該排氣泵的電動(dòng)機(jī)的電流時(shí)的生成物堆積比率與電動(dòng)機(jī)電流的關(guān)系進(jìn)行比較并說明的圖。
[0053]圖12是對(duì)在排氣泵的處理時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流的變化模式進(jìn)行例示的說明圖。
[0054]圖13是示出在處理執(zhí)行時(shí)和正常檢查模式執(zhí)行時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流值的變化的情況的圖。
[0055]圖14是示出對(duì)每單位時(shí)間的電動(dòng)機(jī)電流的峰值進(jìn)行比較的方法的說明圖。
[0056]圖15是示出存儲(chǔ)電動(dòng)機(jī)電流的峰值的方法的說明圖。
[0057]圖16是示出檢測電動(dòng)機(jī)電流的泵運(yùn)轉(zhuǎn)模式的說明圖。

【具體實(shí)施方式】
[0058]為了達(dá)到提供一種不使流過氣體的設(shè)備的設(shè)置或裝置的操作模式的追加、變更等的負(fù)擔(dān)產(chǎn)生就能容易地實(shí)施的排氣泵的堆積物感測裝置的目的，本發(fā)明是一種排氣泵的堆積物感測裝置，所述排氣泵通過旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作來對(duì)氣體進(jìn)行排氣，所述堆積物感測裝置的特征在于，具有:單元，檢測對(duì)所述旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)的電動(dòng)機(jī)電流值；電流值存儲(chǔ)部，在穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式時(shí)，僅存儲(chǔ)所述電動(dòng)機(jī)電流值中的設(shè)定值以上的所述電動(dòng)機(jī)電流值；平均值計(jì)算部，對(duì)在該電流值存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述電動(dòng)機(jī)電流值的每單位時(shí)間的平均值進(jìn)行計(jì)算；以及平均值存儲(chǔ)部，對(duì)在該平均值計(jì)算部中計(jì)算出的所述平均值進(jìn)行存儲(chǔ)，還具有:近似線計(jì)算部，將在該平均值存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的存儲(chǔ)電流平均值按照時(shí)間序列進(jìn)行排列，對(duì)該存儲(chǔ)電流平均值求取一次近似線；以及差分值計(jì)算部，對(duì)使用該一次近似線來計(jì)算出的預(yù)測電動(dòng)機(jī)電流值與在所述排氣泵的使用開始時(shí)的初始電動(dòng)機(jī)電流值的差分值進(jìn)行求取，以將所述差分值超過預(yù)先設(shè)定的閾值的時(shí)間點(diǎn)判定為所述排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期的方式構(gòu)成。
[0059]作為捕捉電動(dòng)機(jī)電流值的變化的方法，也考慮以下3種方法(比較例)，但是，這些方法分別具有實(shí)施困難的缺點(diǎn)。例如，作為第一方法，考慮如圖14所示那樣對(duì)每單位時(shí)間的電動(dòng)機(jī)電流的峰值進(jìn)行比較的方法。
[0060]可是，根據(jù)該方法，當(dāng)為了搜尋短時(shí)間的電動(dòng)機(jī)電流的峰值而例如使泵運(yùn)轉(zhuǎn)的待機(jī)時(shí)間(包含無負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間)長期持續(xù)時(shí)，有電動(dòng)機(jī)電流的峰值也大致變?yōu)榱愕那闆r。因此，電動(dòng)機(jī)電流的峰值的變化幅度變大，不實(shí)用。
[0061]此外，作為第二方法，舉出如圖15所示那樣存儲(chǔ)電動(dòng)機(jī)電流的峰值的方法?？墒?，即使忽視在泵的加速時(shí)和減速時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流的峰值，在通常的處理時(shí)由于預(yù)想不到的情況，而在穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式時(shí)，在比處理時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流值大的電動(dòng)機(jī)電流值流過了的情況下，存儲(chǔ)該電動(dòng)機(jī)電流值，也不能正確地檢測電動(dòng)機(jī)電流值的變化。
[0062]在此，也考慮將上述2種方法組合起來的情況?？墒?，在該情況下，也由于第一方法或第二方法的任一個(gè)的缺點(diǎn)而難以正確地把握電動(dòng)機(jī)電流值。
[0063]進(jìn)而，作為第三方法，也考慮取全部電動(dòng)機(jī)電流值的平均的方法(參照?qǐng)D3中的全部電流平均值以及點(diǎn)劃線的一次近似線)?？墒牵谠撉闆r下，在泵運(yùn)轉(zhuǎn)的待機(jī)時(shí)等，電動(dòng)機(jī)電流值有時(shí)極端地變小，難以正確地把握生成物的堆積狀況。
[0064]因此，本發(fā)明提出了能夠除去對(duì)上述電動(dòng)機(jī)電流值的變化進(jìn)行捕捉的方法(比較例)的缺點(diǎn)、僅采用規(guī)定值以上的大小的電動(dòng)機(jī)電流值作為有效的數(shù)據(jù)來正確地計(jì)算電動(dòng)機(jī)電流值的平均值的方法。
[0065]即，本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)電流值的計(jì)算方法是比較每個(gè)短時(shí)間的電動(dòng)機(jī)電流值的方法的一種，但是，僅采用規(guī)定值以上的有效的數(shù)據(jù)作為比較的電動(dòng)機(jī)電流值，并且，結(jié)合生成物的堆積狀況來計(jì)算其平均值。
[0066]但是，為了正確地把握電動(dòng)機(jī)電流值，即使在穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式時(shí)，也忽視在加速模式剛結(jié)束之后的規(guī)定時(shí)間內(nèi)流過的電動(dòng)機(jī)電流值(也包含由于泵負(fù)荷造成的轉(zhuǎn)速降低之后的再加速時(shí))。
[0067]作為加速模式結(jié)束之后的規(guī)定時(shí)間，考慮到在加速模式剛結(jié)束之后流過的電動(dòng)機(jī)電流值而設(shè)為在該電動(dòng)機(jī)電流值暫時(shí)穩(wěn)定為充分小的值之前的時(shí)間。
[0068]因此，通過使用在上述運(yùn)轉(zhuǎn)模式中所采用的規(guī)定值以上的電動(dòng)機(jī)電流值的平均值，從而獲得以下的優(yōu)越的優(yōu)點(diǎn)。
[0069](I)在運(yùn)轉(zhuǎn)待機(jī)時(shí)等電動(dòng)機(jī)電流值不超過規(guī)定值的情況下，不使用該電動(dòng)機(jī)電流值來計(jì)算平均值。因此，即使在運(yùn)轉(zhuǎn)待機(jī)時(shí)等成為有效的數(shù)據(jù)的電動(dòng)機(jī)電流值極端地小的狀況下，在計(jì)算上述平均值時(shí)也不受其影響。即，獲得對(duì)上述全部電流平均方法的改善效果O
[0070](2)即使在通常處理時(shí)以外不會(huì)流過的那樣的大的電動(dòng)機(jī)電流值流過了的情況下，也能夠使其影響最小。即，獲得對(duì)上述峰值電流值存儲(chǔ)方法的改善效果。
[0071](3)上述有效的電動(dòng)機(jī)電流值的基準(zhǔn)值被設(shè)定為在圖10中示出的容易受到生成物的堆積狀況的影響的大小的電動(dòng)機(jī)電流值以上。由此，在由于生成物的堆積狀況導(dǎo)致的電動(dòng)機(jī)電流值的變化大的條件下，能夠有意地比較電動(dòng)機(jī)電流的數(shù)據(jù)。
[0072]但是，電動(dòng)機(jī)電流值的設(shè)定值未必需要設(shè)為I個(gè)，也考慮同時(shí)計(jì)算所有種類并且采用容易捕捉電動(dòng)機(jī)電流值的變化的設(shè)定值的方法或者在選定了多個(gè)種類的設(shè)定值之后根據(jù)堆積物感測條件、環(huán)境等采用在各設(shè)定值間進(jìn)行加權(quán)后的值的方法。
[0073](4)計(jì)算平均值的算法簡單，端用戶的負(fù)擔(dān)也比以往例子大幅度地減輕。
實(shí)施例
[0074]以下，一邊參照?qǐng)D1至圖7，一邊對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行說明。再有，關(guān)于在排氣泵內(nèi)的生成物的堆積與排氣泵的電動(dòng)機(jī)的電流變化的關(guān)系，與在【背景技術(shù)】中說明了的關(guān)系相同。
[0075]S卩，如圖8所示，生成物在轉(zhuǎn)子I下部的氣體通路(S部)中堆積。當(dāng)生成物堆積時(shí)，排氣泵P的最下段的渦輪部2下部的壓力上升。其結(jié)果是，施加到電動(dòng)機(jī)M的負(fù)荷增加，因此，控制電動(dòng)機(jī)電流值以使其向增加方向變化。
[0076]在本系統(tǒng)中，作為通過生成物的堆積度檢測上述電動(dòng)機(jī)電流值的變化的裝置來利用。因此，前提為在端用戶處的處理時(shí)的氣體負(fù)荷模式方面沒有變化。如果流到排氣泵的氣體種類以及氣體流量固定，則如圖10所示那樣，隨著生成物的堆積度增加，電動(dòng)機(jī)電流值也增加。
[0077]再有，實(shí)際上，流到排氣泵的氣體種類和氣體流量并不是那么重要，重要的是應(yīng)用于排氣泵的氣體負(fù)荷模式為固定。
[0078]例如，若考慮圖1所示那樣的在處理時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流值的變化，則可認(rèn)為:即使在端用戶處的氣體種類以及氣體流量的設(shè)定方面沒有變化的情況下，電動(dòng)機(jī)電流值也在短期內(nèi)由于泵溫度、氣體溫度以及氣體流量等各種各樣的理由每次一點(diǎn)一點(diǎn)地發(fā)生變化，但是，在長期內(nèi)，由于生成物的堆積狀況，電動(dòng)機(jī)電流值以逐漸增大的方式發(fā)生變化。
[0079]此外，并非總是施加泵負(fù)荷，例如，也設(shè)想在處理的間歇完全不施加負(fù)荷的狀況，即，未流過電動(dòng)機(jī)電流值的狀況、或者流過非常小的電流的待機(jī)時(shí)的狀況。進(jìn)一步而言，在泵旋轉(zhuǎn)的加速時(shí)或減速時(shí)，也有通過電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器流出的最大的電動(dòng)機(jī)電流值流過的情況。
[0080]在電動(dòng)機(jī)電流值的監(jiān)控中，當(dāng)進(jìn)行上述加速或減速時(shí)，峰值的電動(dòng)機(jī)電流值為電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器的額定電動(dòng)機(jī)電流值。因此，首先，需要忽視加速和減速時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流值的操作。
[0081]在此，在本發(fā)明的排氣泵的工作模式中有懸浮時(shí)(Levitat1n)、加速時(shí)(Accelerat1n)、穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)時(shí)(Normal Operat1n)、減速時(shí)(Brake)這4種工作模式，端用戶執(zhí)行處理是僅在穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式時(shí)。
[0082]可是，也有加速模式表示到額定轉(zhuǎn)速的大約90%左右的情況，因此，在加速模式之后不久至達(dá)到額定轉(zhuǎn)速的期間，持續(xù)流過最大的電動(dòng)機(jī)電流值。此外，在由于制動(dòng)時(shí)或泵負(fù)荷的影響等轉(zhuǎn)速變?yōu)榉€(wěn)態(tài)轉(zhuǎn)速的90%以下時(shí)進(jìn)行再加速的情況下，與剛加速之后同樣地，在達(dá)到額定轉(zhuǎn)速之前的期間，持續(xù)流過最大電動(dòng)機(jī)電流值(參照?qǐng)D16 )。
[0083]因此，在本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)電流值的監(jiān)控中，出于忽視加速模式剛結(jié)束之后的穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式時(shí)(也包含由于泵負(fù)荷造成的轉(zhuǎn)速降低之后的再加速時(shí))的電動(dòng)機(jī)電流值的目的，對(duì)電動(dòng)機(jī)電流值暫時(shí)變?yōu)槌浞中〉闹颠M(jìn)行確認(rèn)，并且，采用之后的電動(dòng)機(jī)電流值用于監(jiān)控。
[0084]作為在穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式中被監(jiān)控的電動(dòng)機(jī)電流值的采用開始的定時(shí)，根據(jù)生成物的堆積與排氣泵的電動(dòng)機(jī)的電流變化的關(guān)系，優(yōu)選在加速模式結(jié)束后流過的電動(dòng)機(jī)電流值暫時(shí)變?yōu)殡妱?dòng)機(jī)電流值的上限的至少1/2以下。
[0085]在圖2所示的具體例子中，將成為有效的數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)的電動(dòng)機(jī)電流值的設(shè)定值設(shè)為X(A)，僅在比該設(shè)定值X(A)大的電動(dòng)機(jī)電流值流過了的情況下，對(duì)該電動(dòng)機(jī)電流值進(jìn)行存儲(chǔ)處理。在該情況下，關(guān)于電動(dòng)機(jī)電流值的設(shè)定值，能夠同時(shí)計(jì)算所有種類而不是I種，并且，采用容易捕捉電動(dòng)機(jī)電流值的變化的設(shè)定值。(參照?qǐng)D3)
然后，基于所存儲(chǔ)的電動(dòng)機(jī)電流值，按照每I個(gè)處理計(jì)算每個(gè)短時(shí)間的平均值，并且，依次存儲(chǔ)這些平均值。存儲(chǔ)平均值的間隔為例如I天I次?2次左右就足夠，但是，并不限定于此。
[0086]接著，按照時(shí)間序列對(duì)所存儲(chǔ)的多個(gè)平均值進(jìn)行繪圖，求取進(jìn)行繪圖后的平均值的一次近似線。使用根據(jù)泵使用開始時(shí)(實(shí)際使用排氣泵的端用戶剛將排氣泵裝入到處理執(zhí)行裝置中之后的處理執(zhí)行時(shí))的平均值計(jì)算出的一次近似線(因變量是時(shí)間)，對(duì)將來的某個(gè)時(shí)間點(diǎn)的電動(dòng)機(jī)電流值的差分值進(jìn)行計(jì)算并預(yù)測。對(duì)計(jì)算出的電動(dòng)機(jī)電流值的差分值超過了根據(jù)生成物堆積狀況而另外設(shè)定的閾值的時(shí)間進(jìn)行求取，將所求取的時(shí)間點(diǎn)判定為排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期。
[0087]再有，上述一次近似線(一次近似式)原理上是通過例如最小二乘法來求取的，但是，能夠使用公知的計(jì)算一次近似式的軟件(利用函數(shù)、利用分析工具、利用圖表制作功能
O
[0088](實(shí)施的具體的方式例)圖4是示出在圖8的排氣泵P的泵控制裝置中裝入了本發(fā)明的堆積物感測裝置的實(shí)施方式例的功能框圖。
[0089]圖4的泵控制裝置50具有:統(tǒng)一控制排氣泵P的微型計(jì)算機(jī)部51、驅(qū)動(dòng)排氣泵P的電動(dòng)機(jī)M的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器52、基于來自微型計(jì)算機(jī)部51的指令在與包含顧客的處理裝置(未圖示)的顧客裝置等外部裝置之間進(jìn)行通信的通信單元53、基于來自微型計(jì)算機(jī)部51的指令對(duì)排氣泵P的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況等進(jìn)行顯示的顯示單元54、以及對(duì)微型計(jì)算機(jī)部51進(jìn)行設(shè)定值等的輸入的輸入操作單兀55,上述電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器52具備作為檢測電動(dòng)機(jī)M的電流值的電動(dòng)機(jī)電流值檢測單元的功能。
[0090]如圖5所示，微型計(jì)算機(jī)部51具有:工作模式判斷部100、電流值讀入處理部101、設(shè)定值比較部102、電流值存儲(chǔ)部103、平均值計(jì)算部104以及平均值存儲(chǔ)部105。
[0091]工作模式判斷部100判斷排氣泵P的工作模式是否為額定旋轉(zhuǎn)模式(在加速模式剛結(jié)束之后的規(guī)定期間之外)。此外，電流值讀入處理部101在上述額定旋轉(zhuǎn)模式時(shí)讀入對(duì)上述的旋轉(zhuǎn)體R進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)電流值。
[0092]此外，設(shè)定值比較部102比較電動(dòng)機(jī)電流值和設(shè)定值X (A)，判定電動(dòng)機(jī)電流值是否為設(shè)定值(A)以上。進(jìn)而，電流值存儲(chǔ)部103僅存儲(chǔ)該電動(dòng)機(jī)電流值中的設(shè)定值(A)以上的數(shù)據(jù)。
[0093]平均值計(jì)算部104對(duì)設(shè)定值(A)以上的大小的電動(dòng)機(jī)電流值計(jì)算每單位時(shí)間的平均值。此外，平均值存儲(chǔ)部105對(duì)按照每單位時(shí)間計(jì)算出的平均值進(jìn)行存儲(chǔ)。
[0094]上述電流值存儲(chǔ)部103和平均值存儲(chǔ)部105能夠采用例如將內(nèi)置在微型計(jì)算機(jī)部51中的未圖示的非易失性存儲(chǔ)介質(zhì)的一部分確保為存儲(chǔ)區(qū)域并且使該存儲(chǔ)區(qū)域存儲(chǔ)電動(dòng)機(jī)電流值等數(shù)據(jù)的方式、或除此以外的方式。
[0095]此外，微型計(jì)算機(jī)部51具有近似線計(jì)算部106、預(yù)測電流值計(jì)算部107以及差分值計(jì)算部108。近似線計(jì)算部106將上述電動(dòng)機(jī)電流值的多個(gè)平均值按照時(shí)間序列進(jìn)行排列，對(duì)這些平均值求取一次近似線。
[0096]此外，預(yù)測電流值計(jì)算部107使用一次近似線來計(jì)算電動(dòng)機(jī)電流值(預(yù)測電流值)。進(jìn)而，差分值計(jì)算部108對(duì)計(jì)算出的預(yù)測電流值與上述排氣泵P的使用開始時(shí)(實(shí)際使用排氣泵的端用戶剛將排氣泵裝入到處理執(zhí)行裝置之后的處理執(zhí)行時(shí))的電動(dòng)機(jī)電流值(初始電動(dòng)機(jī)電流值)的差分值進(jìn)行求取。再有，圖5中的附圖標(biāo)記110表示存儲(chǔ)初始電動(dòng)機(jī)電流值的初始電流值存儲(chǔ)部。
[0097]進(jìn)而此外，微型計(jì)算機(jī)部51具備保養(yǎng)時(shí)期判定部109，該保養(yǎng)時(shí)期判定部109求取上述差分值超過預(yù)先設(shè)定的閾值(設(shè)定值)S的時(shí)間點(diǎn)，將所求取的該時(shí)間點(diǎn)判定為排氣泵P的保養(yǎng)時(shí)期。
[0098]在此，關(guān)于與電動(dòng)機(jī)電流值的變化的差分值進(jìn)行比較的閾值S的決定，由于考慮到生成物的堆積速度按照每個(gè)排氣泵P而不同，所以在確認(rèn)了各個(gè)排氣泵P的生成物的堆積狀況之后個(gè)別地進(jìn)行設(shè)定。再有，關(guān)于閾值S的設(shè)定方法，考慮2種方法。第一方法是直接設(shè)定與初始電流值的差分S的方法，使用上述的比較處理來判定保養(yǎng)時(shí)期。此外，第二方法是設(shè)定判定為保養(yǎng)時(shí)期的電流值的方法，在該方法的情況下，直接與預(yù)測電流值進(jìn)行比較來判定保養(yǎng)時(shí)期。
[0099]在本實(shí)施例中，執(zhí)行圖6所示的流程圖的各處理。首先，在步驟SlOl中，工作模式判斷部100判斷排氣泵P的工作模式是否為額定旋轉(zhuǎn)模式(在加速模式剛結(jié)束之后的規(guī)定期間之外)。其結(jié)果是，僅在為上述額定旋轉(zhuǎn)模式的情況下，在步驟S102中，用電流值讀入部101讀入對(duì)旋轉(zhuǎn)體R進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)電流值。
[0100]像這樣在本實(shí)施例中，對(duì)電動(dòng)機(jī)M的電流值穩(wěn)定的時(shí)間即穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式時(shí)且在加速模式剛結(jié)束之后(也包含制動(dòng)模式之后不久的再加速時(shí))電流值暫時(shí)大致變?yōu)榱阒蟮臅r(shí)間進(jìn)行確認(rèn)，之后，基于讀入的電動(dòng)機(jī)電流值進(jìn)行下述的處理。
[0101]之后，在步驟S103中，設(shè)定值比較部102比較讀入的電動(dòng)機(jī)電流值和設(shè)定值Uk),判定電動(dòng)機(jī)電流值是否為設(shè)定值X (A)以上。在其結(jié)果是電動(dòng)機(jī)電流值為設(shè)定值X (A)以上的情況下，在步驟S104中，利用電流值存儲(chǔ)部103對(duì)該設(shè)定值X (A)以上的電動(dòng)機(jī)電流值依次進(jìn)行存儲(chǔ)處理。
[0102]像這樣在本系統(tǒng)中，將在電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器52中檢測出的電動(dòng)機(jī)電流值讀入到緩沖器內(nèi)，僅拾取所讀入的電動(dòng)機(jī)電流值中的設(shè)定值X (A)以上的有效的數(shù)據(jù)并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)區(qū)域中。
[0103]接著，在步驟S105中，平均值計(jì)算部104基于設(shè)定值X (A)以上的電動(dòng)機(jī)電流值，計(jì)算每單位時(shí)間的平均值。然后，在步驟S106中，利用平均值存儲(chǔ)部105對(duì)計(jì)算出的平均值依次進(jìn)行存儲(chǔ)處理。
[0104]之后，在步驟S107中，利用近似線計(jì)算部106按照時(shí)間序列排列電動(dòng)機(jī)電流值的多個(gè)平均值，基于這些平均值求取一次近似線。接著，在步驟S108中，估計(jì)電流值計(jì)算部107使用求取的一次近似線來計(jì)算預(yù)測電動(dòng)機(jī)電流值。
[0105]接著，在步驟S109中，差分值計(jì)算部108對(duì)計(jì)算出的預(yù)測電流值與排氣泵P的使用開始時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流值(初始電動(dòng)機(jī)電流值)的差分值進(jìn)行求取。
[0106]然后，在步驟SllO中，保養(yǎng)時(shí)期判定部109對(duì)所求取的差分值與預(yù)先確定的閾值S即根據(jù)生成物的堆積狀況來設(shè)定的值S進(jìn)行比較。然后，求取上述差分值超過閾值S的時(shí)間點(diǎn)，將該求取的時(shí)間點(diǎn)判斷并估計(jì)為排氣泵P的保養(yǎng)時(shí)期。
[0107]估計(jì)的保養(yǎng)時(shí)期能夠采用從通信單元53向外部裝置輸出或者在顯示單元54中進(jìn)行顯示等各種處理。
[0108]再有，在本實(shí)施例中，在電動(dòng)機(jī)電流值的設(shè)定值為大小X(A)的情況下，在考慮到加速時(shí)和減速時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流時(shí)，如圖7 - A所示那樣，與不考慮該電動(dòng)機(jī)電流時(shí)相比，一次近似線向上方稍微移動(dòng)。此外，在將電動(dòng)機(jī)電流值的設(shè)定值從大小X (A)變更為大小X-1(A)的情況下，如圖7 -B所示那樣，對(duì)平均值的計(jì)算做出貢獻(xiàn)的數(shù)據(jù)增加，一次近似線向下方稍微移動(dòng)。
[0109]在本實(shí)施例中，電動(dòng)機(jī)電流值的差分值的閾值是考慮到各個(gè)排氣泵的生成物的堆積狀況而特別決定的。因此，即使在生成物的堆積速度等按照各個(gè)排氣泵的每一個(gè)而不同的情況下，也將與該堆積速度等對(duì)應(yīng)的閾值(設(shè)定值)作為基準(zhǔn)，判斷電動(dòng)機(jī)電流值的差分值是否超過該閾值。因此，能夠更正確地判斷排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期。
[0110]如上所述，根據(jù)本發(fā)明，關(guān)于設(shè)定值以上的電動(dòng)機(jī)電流值的平均值求取一次近似線，對(duì)基于該一次近似線計(jì)算出的電流值與排氣泵的使用開始時(shí)的電動(dòng)機(jī)電流值的差分值進(jìn)行求取。然后，將該差分值超過上述設(shè)定值的時(shí)間點(diǎn)設(shè)為排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期。
[0111]這樣，能夠在不使流過氣體的設(shè)備的設(shè)置或裝置的操作模式的追加、變更等的負(fù)擔(dān)產(chǎn)生的情況下，把握排氣泵內(nèi)的生成物的堆積狀況而知曉排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期。在該情況下，僅通過基于設(shè)定值以上的電動(dòng)機(jī)電流值的平均值求取一次近似線就能夠容易地判定上述保養(yǎng)時(shí)期。
[0112]特別地，即使在通常處理時(shí)以外不會(huì)流過的那樣的大的電動(dòng)機(jī)電流值流過了的情況下，也能夠使其影響最小。此外，具有計(jì)算上述平均值的算法簡單的優(yōu)越的效果。
[0113]進(jìn)而，由于加速模式剛結(jié)束之后(也包含制動(dòng)模式之后不久的再加速時(shí))的電動(dòng)機(jī)電流值不是有效的數(shù)據(jù)，所以，在電動(dòng)機(jī)電流值暫時(shí)大致變?yōu)榱阒暗臅r(shí)間之外收集數(shù)據(jù)。由此，僅在排氣泵的穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式中的電動(dòng)機(jī)電流值穩(wěn)定了的時(shí)間，執(zhí)行成為有效的數(shù)據(jù)的電動(dòng)機(jī)電流值的存儲(chǔ)處理。
[0114]因此，能夠忽視泵運(yùn)轉(zhuǎn)的待機(jī)時(shí)、加速時(shí)和減速時(shí)的通過電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器流出的最大的電動(dòng)機(jī)電流值。即，能夠忽視待機(jī)時(shí)、加速時(shí)和減速時(shí)的通過電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器流出的最大的電動(dòng)機(jī)電流值。
[0115]因此，由于在待機(jī)時(shí)等的電動(dòng)機(jī)電流值不超過規(guī)定值的情況下的數(shù)據(jù)不在平均值的計(jì)算中采用，所以，具有即使在待機(jī)時(shí)等的電動(dòng)機(jī)電流值極端地小的狀況下也不受其影響的優(yōu)點(diǎn)。
[0116]進(jìn)而，即使在通常處理時(shí)以外不會(huì)流過的那樣的大的電動(dòng)機(jī)電流值流過了的情況下，也能夠使其影響最小。此外，即使在生成物的堆積物的速度按照成為感測對(duì)象的各個(gè)排氣泵的每一個(gè)而不同的情況下，能夠根據(jù)各排氣泵固有的堆積特性等來計(jì)算電動(dòng)機(jī)電流的差分值。
[0117]因此，能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)定為容易受到上述生成物的堆積狀況的影響的電動(dòng)機(jī)電流值，并且，在由于生成物的堆積狀況導(dǎo)致的電動(dòng)機(jī)電流值的變化大時(shí)，能夠更加正確地計(jì)算上述差分值。
[0118]再有，關(guān)于本發(fā)明，只要不脫離本發(fā)明的精神，能夠做出各種各樣的改變，而且，顯然本發(fā)明包括該改變后的發(fā)明。例如，渦輪分子泵的磁力軸承不限于5軸控制結(jié)構(gòu)，可能為3軸控制結(jié)構(gòu)。
[0119]附圖標(biāo)記的說明 P排氣泵
M電動(dòng)機(jī) R旋轉(zhuǎn)體 I圓筒部 2葉片部3轉(zhuǎn)子軸
4排氣泵的吸氣口5螺紋槽部6排氣泵的排氣口50泵控制裝置51微型計(jì)算機(jī)部
52電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器(電動(dòng)機(jī)電流值檢測單元)
100工作模式判斷部
101電流值讀入部
102設(shè)定值比較部
103電流值存儲(chǔ)部
104平均值計(jì)算部
105平均值存儲(chǔ)部
106近似線計(jì)算部
107預(yù)測電流值計(jì)算部
108差分值計(jì)算部
109保養(yǎng)時(shí)期判定部
110初始電流值存儲(chǔ)部。
【權(quán)利要求】
1.一種排氣泵的堆積物感測裝置，所述排氣泵通過旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作來對(duì)氣體進(jìn)行排氣，所述堆積物感測裝置的特征在于，具有: 單元，檢測對(duì)所述旋轉(zhuǎn)體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)的電動(dòng)機(jī)電流值； 電流值存儲(chǔ)部，在穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式時(shí)，僅存儲(chǔ)所述電動(dòng)機(jī)電流值中的設(shè)定值以上的所述電動(dòng)機(jī)電流值； 平均值計(jì)算部，對(duì)在該電流值存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述電動(dòng)機(jī)電流值的每單位時(shí)間的平均值進(jìn)行計(jì)算；以及 平均值存儲(chǔ)部，對(duì)在該平均值計(jì)算部中計(jì)算出的所述平均值進(jìn)行存儲(chǔ)， 還具有: 近似線計(jì)算部，將在該平均值存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的存儲(chǔ)電流平均值按照時(shí)間序列進(jìn)行排列，對(duì)該存儲(chǔ)電流平均值求取一次近似線；以及 差分值計(jì)算部，對(duì)使用該一次近似線來計(jì)算出的預(yù)測電動(dòng)機(jī)電流值與在所述排氣泵的使用開始時(shí)的初始電動(dòng)機(jī)電流值的差分值進(jìn)行求取， 以將所述差分值超過預(yù)先設(shè)定的閾值的時(shí)間點(diǎn)判定為所述排氣泵的保養(yǎng)時(shí)期的方式構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣泵的堆積物感測裝置，其特征在于，在所述穩(wěn)態(tài)旋轉(zhuǎn)模式中檢測出的所述電動(dòng)機(jī)電流值是，在從所述排氣泵的加速模式結(jié)束后到所述電動(dòng)機(jī)電流值暫時(shí)變?yōu)槌浞中〉闹档钠陂g之外進(jìn)行檢測。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的排氣泵的堆積物感測裝置，其特征在于，所述電動(dòng)機(jī)電流值的所述設(shè)定值是，在對(duì)所述氣體進(jìn)行排氣的各處理中能取得至少一個(gè)包含所述電動(dòng)機(jī)電流值的最大值(峰值電流值)的數(shù)據(jù)的范圍內(nèi)盡量大的值。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任一項(xiàng)所述的排氣泵的堆積物感測裝置，其特征在于，所述電動(dòng)機(jī)電流值的所述設(shè)定值是，根據(jù)所述排氣泵的生成物的堆積狀況來決定。
5.一種排氣泵，其特征在于，具備權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中的任一項(xiàng)所述的排氣泵的堆積物感測裝置。
【文檔編號(hào)】F04D19/04GK104246231SQ201380020758
【公開日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2013年3月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月24日
【發(fā)明者】榎本良弘 申請(qǐng)人:埃地沃茲日本有限公司