本發(fā)明涉及一種閥門,具體涉及用于控制化學(xué)溶液、水等流體的具有限位保護(hù)的隔膜閥。
背景技術(shù):
1、在許多制造過程中,例如當(dāng)制藥廠生產(chǎn)藥品時,或當(dāng)半導(dǎo)體工廠涂覆晶片表面以形成均勻厚度的薄膜時,需要控制量的化學(xué)溶液或水。因此,許多行業(yè)都需要精密的閥門。隔膜閥通過隔膜將控制元件與液體分開,使得隔膜上方的控制元件不會被液體腐蝕。然而,閥門很精細(xì)脆弱,因此很容易因過度驅(qū)動而產(chǎn)生過大的力而損壞。特別是隔膜密封損壞,會造成泄漏和流量控制不準(zhǔn)確。因此,需要一種能夠防止過度驅(qū)動的閥門。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明提供一種能防止過度驅(qū)動的具有限位保護(hù)的隔膜閥,以精確地控制驅(qū)動元件的深度并防止閥門損壞。
2、本發(fā)明的一個態(tài)樣提供了一個包含控制器和主體的隔膜閥??刂破靼?qū)動桿、隔膜和內(nèi)殼。驅(qū)動桿被驅(qū)動以移動隔膜。內(nèi)殼安裝在控制器內(nèi)部,內(nèi)殼具有通孔,用于容納部分驅(qū)動桿。主體包括開口和腔室。此開口被控制器覆蓋。隔膜在腔室內(nèi)移動,其中當(dāng)隔膜被驅(qū)動到達(dá)腔室底部便阻斷腔室。限制元件環(huán)繞驅(qū)動桿以容納驅(qū)動桿的一段,并且限制元件被配置為固定在驅(qū)動桿的一位置以防止驅(qū)動桿被過度驅(qū)動。
3、本發(fā)明的另一態(tài)樣提供了一種包括控制器和主體的隔膜閥??刂破靼?qū)動桿、汽缸、氣動孔和隔膜。驅(qū)動桿被驅(qū)動而使隔膜移動,驅(qū)動桿的中段具有活塞。汽缸覆蓋控制器。氣動孔通過將空氣泵入汽缸和活塞之間的空間或從汽缸和活塞之間的空間排出空氣來移動驅(qū)動桿。主體包括開口和腔室。開口被控制器覆蓋。隔膜在腔室內(nèi)移動,并且腔室被驅(qū)動到達(dá)腔室底部的隔膜阻斷。限制元件安裝在內(nèi)殼上,圍繞驅(qū)動桿以容納驅(qū)動桿的一段并將活塞與內(nèi)殼隔開。限制元件的厚度可調(diào)整以設(shè)定驅(qū)動桿的該段的長度,以防止驅(qū)動桿被過度驅(qū)動。
4、本發(fā)明的另一態(tài)樣提供了一種包括控制器和主體的隔膜閥??刂破靼?qū)動桿、隔膜和內(nèi)殼。驅(qū)動桿被驅(qū)動以移動隔膜。內(nèi)殼安裝在控制器內(nèi)部,內(nèi)殼具有通孔,用于容納部分驅(qū)動桿。主體包括開口和腔室。此開口被控制器覆蓋。腔室包含在腔室內(nèi)移動的隔膜,其中腔室在隔膜被驅(qū)動到達(dá)腔室底部時阻斷。限制元件圍繞驅(qū)動桿以容納驅(qū)動桿的一段,并且限制元件可調(diào)整以防止驅(qū)動桿被過度驅(qū)動。
5、上文廣泛概述本發(fā)明的特征和技術(shù)優(yōu)點(diǎn),以更好地理解本發(fā)明的實(shí)施方式。本發(fā)明的特征和優(yōu)點(diǎn)將在下文中描述,并且形成本發(fā)明權(quán)利要求書的保護(hù)標(biāo)的?,F(xiàn)有本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,本發(fā)明的概念和具體實(shí)施例可能被修改或設(shè)計成實(shí)現(xiàn)與本
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
相同目的的其他結(jié)構(gòu)或方法,這樣的等效構(gòu)造不脫離權(quán)利要求書中闡述的本發(fā)明的精神和范圍。
1.一種具有限位保護(hù)的隔膜閥,其特征在于,包括:
2.如權(quán)利要求1所述的隔膜閥,其特征在于,該控制器還包括:
3.如權(quán)利要求2所述的隔膜閥,其特征在于,還包括一彩色環(huán),其圍繞該內(nèi)殼的一上部開口,其中當(dāng)該隔膜到達(dá)完全阻斷該腔室的位置時,該彩色環(huán)被該旋鈕完全覆蓋。
4.如權(quán)利要求2所述的隔膜閥,其特征在于,還包括:
5.一種具有限位保護(hù)的隔膜閥,其特征在于,包括:
6.如權(quán)利要求5所述的隔膜閥,其特征在于,
7.如權(quán)利要求6所述的隔膜閥,其特征在于,還包括:
8.如權(quán)利要求6所述的隔膜閥,其特征在于,還包括:
9.一種具有限位保護(hù)的隔膜閥,其特征在于,包括:
10.如權(quán)利要求9所述的隔膜閥,其特征在于,還包括一突出環(huán),其圍繞該驅(qū)動桿的一底端,以防止該驅(qū)動桿脫離該內(nèi)殼。