本技術(shù)涉及隔振裝置，具體是一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺。

背景技術(shù)：

1、目前半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展，半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的精度要求越來越高，設(shè)備對微振動等環(huán)境的要求也越來越敏感，少許的微振動就會降低設(shè)備的產(chǎn)出良率，甚至使設(shè)備不能正常工作，因此對微振動的隔離變得越來越重要。

2、由外部環(huán)境振動及設(shè)備內(nèi)部反作用力引起的微振動是制約超精密儀器測量精度與超精密加工裝備制造精度的關(guān)鍵因素之一，高性能精密隔微振技術(shù)成為精密工程、超精密制造等領(lǐng)域的一項(xiàng)核心關(guān)鍵技術(shù)，對該技術(shù)的研究具有重要的實(shí)際意義與應(yīng)用價(jià)值。振動控制部分是隔振平臺的核心，針對中高頻振動，多采用被動隔振，被動隔振結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠、不依賴電源，可以有效地隔絕中高頻振動干擾。針對低頻甚至或超低頻振動，多采用主動隔振。但精密儀器所處的環(huán)境是復(fù)雜的，不僅僅是單一的低頻振動或高頻振動，往往是低頻振動和高頻振動同時(shí)存在，而傳統(tǒng)的隔振裝置很難滿足這種復(fù)雜環(huán)境振動的隔振要求。雖然出現(xiàn)了主動與被動混合隔振裝置，但是往往存在占地空間大，隔振帶寬較窄，系統(tǒng)定位精確度較差，對于復(fù)雜振動環(huán)境的隔振能力較弱等問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、實(shí)用新型的目的在于提供一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，以解決上述背景技術(shù)中存在的問題。

2、本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

3、一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，包括平臺、隔振腿和控制器，所述隔振腿由主動控制裝置、被動減振裝置、支腿和支撐座組成，所述支腿包括支柱、頂板和底座，所述支柱頂部垂直安裝有頂板，所述主動控制裝置安裝于頂板頂部，所述主動控制裝置頂部安裝有支撐座，所述被動減振裝置包括彈簧、連接桿和支架，所述支撐座與支腿之間通過支架安裝固定，所述頂板與支架底部中間安裝有連接桿，所述連接桿外圍套裝有彈簧，所述主動控制裝置包括垂直音圈電機(jī)、水平音圈電機(jī)、垂直加速度傳感器和水平加速度傳感器，所述支撐座包括豎向支撐座和橫向支撐座，所述橫向支撐座垂直焊接在豎向支撐座頂部一側(cè)，所述豎向支撐座和橫向支撐座中間位置均安裝有球鉸，所述豎向支撐座的球鉸與平臺底部連接，所述橫向支撐座的球鉸與平臺外側(cè)連接，所述隔振腿為三個(gè)呈正三角形分布在平臺周圍。

4、進(jìn)一步地，所述平臺由鋼板焊接成圓形框體內(nèi)澆筑有鋼筋混凝土。

5、進(jìn)一步地，所述平臺與橫向支撐座的球鉸接觸面呈矩形切面。

6、進(jìn)一步地，所述彈簧為金屬彈簧。

7、進(jìn)一步地，所述連接桿頂部設(shè)有螺紋，所述連接桿與頂板之間通過螺栓栓接固定。

8、進(jìn)一步地，所述支架為三個(gè)，呈正三角形分布。

9、進(jìn)一步地，所述支柱底部垂直焊接有底座，所述底座呈圓形結(jié)構(gòu)，所述底座頂部一圈開設(shè)有安裝孔。

10、進(jìn)一步地，所述控制器安放在地面，所述控制器通過電纜與垂直加速度傳感器、水平加速度傳感器、垂直音圈電機(jī)和水平音圈電機(jī)連接。

11、本實(shí)用新型的有益效果為：

12、本實(shí)用新型通過三個(gè)并聯(lián)、呈正三角形布置的隔振腿實(shí)現(xiàn)承重，且每個(gè)隔振腿均設(shè)有三根并聯(lián)的彈簧，承載能力強(qiáng)，可實(shí)現(xiàn)3000kg的承載；且每條隔振腿均設(shè)有兩個(gè)正交方向的音圈電機(jī)，三條隔振腿共六個(gè)音圈電機(jī)，定位精確，能夠?qū)崿F(xiàn)對平臺的六自由度控制；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，穩(wěn)定性高，對1hz~150hz的振動干擾具有較好的隔振效果。

技術(shù)特征：

1.一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，包括平臺、隔振腿和控制器，其特征在于，所述隔振腿由主動控制裝置、被動減振裝置、支腿和支撐座組成，所述支腿包括支柱、頂板和底座，所述支柱頂部垂直安裝有頂板，所述主動控制裝置安裝于頂板頂部，所述主動控制裝置頂部安裝有支撐座，所述被動減振裝置包括彈簧、連接桿和支架，所述支撐座與支腿之間通過支架安裝固定，所述頂板與支架底部中間安裝有連接桿，所述連接桿外圍套裝有彈簧，所述主動控制裝置包括垂直音圈電機(jī)、水平音圈電機(jī)、垂直加速度傳感器和水平加速度傳感器，所述支撐座包括豎向支撐座和橫向支撐座，所述橫向支撐座垂直焊接在豎向支撐座頂部一側(cè)，所述豎向支撐座和橫向支撐座中間位置均安裝有球鉸，所述豎向支撐座的球鉸與平臺底部連接，所述橫向支撐座的球鉸與平臺外側(cè)連接，所述隔振腿為三個(gè)呈正三角形分布在平臺周圍。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，其特征在于，所述平臺由鋼板焊接成圓形框體內(nèi)澆筑有鋼筋混凝土。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，其特征在于，所述平臺與橫向支撐座的球鉸接觸面呈矩形切面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，其特征在于，所述彈簧為金屬彈簧。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，其特征在于，所述連接桿頂部設(shè)有螺紋，所述連接桿與頂板之間通過螺栓栓接固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，其特征在于，所述支架為三個(gè)，呈正三角形分布。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，其特征在于，所述支柱底部垂直焊接有底座，所述底座呈圓形結(jié)構(gòu)，所述底座頂部一圈開設(shè)有安裝孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，其特征在于，所述控制器安放在地面，所述控制器通過電纜與垂直加速度傳感器、水平加速度傳感器、垂直音圈電機(jī)和水平音圈電機(jī)連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種基于懸掛式彈簧的主動隔振平臺，包括平臺、隔振腿和控制器，所述隔振腿由主動控制裝置、被動減振裝置、支腿和支撐座組成，所述支腿包括支柱、頂板和底座，所述支柱頂部垂直安裝有頂板，所述主動控制裝置安裝于頂板頂部，所述主動控制裝置頂部安裝有支撐座，所述被動減振裝置包括彈簧、連接桿和支架，所述支撐座與支腿之間通過支架安裝固定，所述頂板與支架底部中間安裝有連接桿，所述連接桿外圍套裝有彈簧，所述支撐座包括豎向支撐座和橫向支撐座。本技術(shù)結(jié)構(gòu)簡單，穩(wěn)定性高，對1Hz~150Hz的振動干擾具有較好的隔振效果。

技術(shù)研發(fā)人員：馬躍,李偉,張厚根,于伯楷,邢巖
受保護(hù)的技術(shù)使用者：大連地拓精密科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240730
技術(shù)公布日：2025/5/15