專利名稱：基于微機(jī)械mems 二維掃描鏡的激光主動探測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光成像，特別是一種基于MEMS 二維掃描鏡的激光主動探測裝置。
背景技術(shù)：
激光探測技術(shù)已有40多年的發(fā)展歷史。高速激光掃描技術(shù)一直是制約激光探測技術(shù)發(fā)展的一項瓶頸技術(shù)。傳統(tǒng)的激光掃描方法主要包括機(jī)械掃描和聲(電)光掃描，但這兩種掃描方法被用于激光主動成像制導(dǎo)時均存在一定的局限性。機(jī)械掃描是較成熟的一種掃描技術(shù)，它利用反射鏡或透射鏡等光學(xué)元件的轉(zhuǎn)動或振動來改變光束的傳播方向從而實現(xiàn)光束的掃描。而聲(電)光掃描則是利用聲(電)光效應(yīng)來改變光束在空間的傳播方向，即聲(電)光晶體在聲波(電場)的作用下沿某些方向?qū)獾恼凵渎拾l(fā)生變化，當(dāng)激光束沿特定方向入射時，在聲(電)場的作用下就會發(fā)生偏轉(zhuǎn)從而達(dá)到掃描的目的。光束偏轉(zhuǎn)角的大小與晶體折射率的線性變化率成正比。表-1三種掃描方法的比較
權(quán)利要求
1.基于微機(jī)械MEMS二維掃描鏡的激光主動探測裝置，其特征在于，CPU(I)生成激光脈沖控制信號控制激光測距儀( 發(fā)射脈沖激光，激光光束經(jīng)靜電驅(qū)動MEMS 二維掃描鏡(3) 掃描后，照射到被探測的目標(biāo)(4)上，激光光束被反射回激光測距儀，CPU(I)與激光測距儀 (2)連接，經(jīng)過信息處理后實現(xiàn)對目標(biāo)的探測。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于所述二維掃描鏡為MEMS二維激光掃描
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于所述激光測距儀( 為脈沖激光測距儀。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基于微機(jī)械MEMS二維掃描鏡的激光主動探測裝置，CPU生成激光脈沖控制信號控制激光測距儀發(fā)射脈沖激光，激光光束經(jīng)靜電驅(qū)動M EMS二維掃描鏡掃描后，照射到被探測的目標(biāo)上，激光光束被反射回激光測距儀，CPU與激光測距儀連接，經(jīng)過信息處理后實現(xiàn)對目標(biāo)的探測。本發(fā)明具有體積小、質(zhì)量輕、功耗小、響應(yīng)速度快、價格便宜，耐撞擊等特點。
文檔編號G01S7/48GK102426362SQ20111036783
公開日2012年4月25日 申請日期2011年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月18日
發(fā)明者孫劍, 尤政, 張弛 申請人:西安交通大學(xué)