專利名稱：基于微機械mems 二維掃描鏡陣列的激光主動探測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光探測裝置，特別是一種基于微機械(MEMQ 二維掃描鏡的激光主動探測裝置。
背景技術(shù)：
激光探測技術(shù)已有40多年的發(fā)展歷史。高速激光掃描技術(shù)一直是制約激光探測技術(shù)發(fā)展的一項瓶頸技術(shù)。傳統(tǒng)的激光掃描方法主要包括機械掃描和聲(電)光掃描，但這兩種掃描方法被用于激光主動成像制導(dǎo)時均存在一定的局限性。機械掃描是較成熟的一種掃描技術(shù)，它利用反射鏡或透射鏡等光學(xué)元件的轉(zhuǎn)動或振動來改變光束的傳播方向從而實現(xiàn)光束的掃描。而聲(電)光掃描則是利用聲(電)光效應(yīng)來改變光束在空間的傳播方向，即聲(電)光晶體在聲波(電場)的作用下沿某些方向?qū)獾恼凵渎拾l(fā)生變化，當(dāng)激光束沿特定方向入射時，在聲(電)場的作用下就會發(fā)生偏轉(zhuǎn)從而達到掃描的目的。光束偏轉(zhuǎn)角的大小與晶體折射率的線性變化率成正比。表-1三種掃描方法的比較
權(quán)利要求
1.基于微機械MEMS二維掃描鏡陣列的激光主動探測裝置，其特征在于，DSP信號處理電路1生成激光脈沖控制信號控制激光測距儀陣列C3)發(fā)射脈沖激光，激光光束經(jīng)微機械MEMS 二維掃描鏡陣列(4)掃描后，照射到被探測的目標(biāo)(5)上，激光光束被反射回激光測距儀陣列( 后，激光測距儀陣列( 根據(jù)發(fā)射激光脈沖和接收激光脈沖之間的時間差測量出被測目標(biāo)的距離，DSP信號處理電路⑴利用控制總線控制FPGA邏輯電路⑵分別連接微機械(MEMS) 二維掃描鏡陣列⑷四組激光測距儀陣列(3)，將測量結(jié)果讀取到DSP信號處理電路(1)中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS二維掃描鏡陣列的激光主動探測裝置，其特征在于所述MEMS 二維掃描鏡陣列所包含的數(shù)量至少為兩個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS二維掃描鏡陣列的激光主動探測裝置，其特征在于所述的激光測距儀的數(shù)量和安裝位置與MEMS 二維掃描鏡相互對應(yīng)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基于微機械MEMS二維掃描鏡陣列的激光主動探測裝置。DSP信號處理電路1生成激光脈沖控制信號控制激光測距儀陣列發(fā)射脈沖激光，激光光束經(jīng)微機械MEMS二維掃描鏡陣列掃描后，照射到被探測的目標(biāo)上，激光光束被反射回激光測距儀陣列后，激光測距儀陣列根據(jù)發(fā)射激光脈沖和接收激光脈沖之間的時間差測量出被測目標(biāo)的距離，DSP信號處理電路利用控制總線控制FPGA邏輯電路分別連接微機械(MEMS)二維掃描鏡陣列四組激光測距儀陣列，將測量結(jié)果讀取到DSP信號處理電路中。該裝置結(jié)構(gòu)簡單，掃描速度高，掃描范圍大，成本低，體積小，質(zhì)量輕等優(yōu)點。
文檔編號G01S17/89GK102520412SQ201110367858
公開日2012年6月27日 申請日期2011年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月18日
發(fā)明者史浩天, 孫劍, 尤政, 張弛, 張潮 申請人:西安交通大學(xué)