微加速度傳感器結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，它包括支撐座，所述的支撐座的內(nèi)壁上固定有上極板和下極板，所述的支撐座內(nèi)設(shè)置有活動(dòng)極板，所述的活動(dòng)極板的兩端均固定有彈性梁，所述的活動(dòng)極板與上極板相平行，所述的支撐座上與彈性梁接觸處設(shè)置有受力孔。其優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工工序簡(jiǎn)單，生產(chǎn)成本降低。
【專利說(shuō)明】微加速度傳感器結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及微電子領(lǐng)域，更具體的說(shuō)是涉及一種微加速度傳感器結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]加速度計(jì)是測(cè)量載體慣性加速度的儀器，其運(yùn)用在很多方面。譬如航天航空領(lǐng)域。慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)都是以加速度計(jì)敏感測(cè)量載體運(yùn)動(dòng)加速度為基礎(chǔ)，因此加速度計(jì)的性能直接影響到整個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量精度穩(wěn)定性以及最終的導(dǎo)航精度。現(xiàn)有的加速度計(jì)其包括支撐體、上極板、下極板、導(dǎo)向槽、附加質(zhì)量塊、基座等，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，使得加速度計(jì)在加工生產(chǎn)時(shí)其工序繁瑣，使得加工成本和生產(chǎn)成本較高。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型提供一種微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工工序簡(jiǎn)單，生產(chǎn)成本降低。
[0004]為解決上述的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，它包括支撐座，所述的支撐座的內(nèi)壁上固定有上極板和下極板，所述的支撐座內(nèi)設(shè)置有活動(dòng)極板，所述的活動(dòng)極板的兩端均固定有彈性梁，所述的活動(dòng)極板與上極板相平行，所述的支撐座上與彈性梁接觸處設(shè)置有受力孔。
[0006]更進(jìn)一步的技術(shù)方案是:
[0007]作為優(yōu)選，所述的上極板、下極板和活動(dòng)極板均連接在信號(hào)處理電路上。
[0008]作為優(yōu)選，所述的上極板和下極板位于同一垂直面上。
[0009]作為優(yōu)選，所述的上極板和下極板均有兩個(gè)。
[0010]進(jìn)一步的，所述的活動(dòng)極板位于兩個(gè)上極板之間。
[0011]作為優(yōu)選，所述的受力孔的面積小于支撐座與彈性梁接觸的面積。
[0012]作為優(yōu)選，所述的活動(dòng)極板與上極板之間的距離小于2毫米。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型在滿足了現(xiàn)有的測(cè)量精度的同時(shí)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使得加工的工序簡(jiǎn)單，節(jié)約了生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0015]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中的標(biāo)號(hào)為:1、支撐座；2、彈性梁；3、活動(dòng)極板；4、上極板；5、下極板；6、受力孔。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。本實(shí)用新型的實(shí)施方式包括但不限于下列實(shí)施例。[0018][實(shí)施例]
[0019]如圖1所示的微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，它包括支撐座1，所述的支撐座I的內(nèi)壁上固定有上極板4和下極板5，所述的支撐座I內(nèi)設(shè)置有活動(dòng)極板3，所述的活動(dòng)極板3的兩端均固定有彈性梁2，所述的活動(dòng)極板3與上極板4相平行，所述的支撐座I上與彈性梁2接觸處設(shè)置有受力孔6。
[0020]所述的上極板4、下極板5和活動(dòng)極板3均連接在信號(hào)處理電路上。
[0021]為了便于信號(hào)處理電路對(duì)上極板4和下極板5上電容變化量的處理，所述的上極板4和下極板5位于同一垂直面上。
[0022]為了進(jìn)一步的提高測(cè)量精度，所述的上極板4和下極板5均有兩個(gè)。
[0023]所述的活動(dòng)極板3位于兩個(gè)上極板4之間。
[0024]為了使整個(gè)加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定，所述的受力孔6的面積小于支撐座I與彈性梁2接觸的面積。
[0025]為了進(jìn)一步的提高測(cè)量精度，所述的活動(dòng)極板3與上極板4之間的距離小于2毫米。
[0026]本實(shí)施例的工作過(guò)程如下:
[0027]當(dāng)豎直方向的加速度通過(guò)受力孔6作用于彈性梁2時(shí)，彈性梁2伸縮，活動(dòng)極板3會(huì)上下移動(dòng)，則活動(dòng)極板3會(huì)與上極板4和下極板5產(chǎn)生一個(gè)差動(dòng)變化的電容值，通過(guò)信號(hào)處理電路對(duì)變化的值進(jìn)行處理，即可測(cè)得加速度。
[0028]本實(shí)用新型可滿足現(xiàn)有的加速度計(jì)的測(cè)量精度，且其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，相比于現(xiàn)有技術(shù)，減少了附加質(zhì)量塊、導(dǎo)向槽、基座等，不僅結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單，而且其加工工序也更加簡(jiǎn)單，同時(shí)也節(jié)約了生產(chǎn)成本。
[0029]如上所述即為本實(shí)用新型的實(shí)施例。本實(shí)用新型不局限于上述實(shí)施方式，任何人應(yīng)該得知在本實(shí)用新型的啟示下做出的結(jié)構(gòu)變化，凡是與本實(shí)用新型具有相同或相近的技術(shù)方案，均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，它包括支撐座(1)，其特征在于:所述的支撐座(I)的內(nèi)壁上固定有上極板(4)和下極板(5)，所述的支撐座(I)內(nèi)設(shè)置有活動(dòng)極板(3)，所述的活動(dòng)極板(3)的兩端均固定有彈性梁(2)，所述的活動(dòng)極板(3)與上極板(4)相平行，所述的支撐座(I)上與彈性梁(2 )接觸處設(shè)置有受力孔(6 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的上極板(4)、下極板(5)和活動(dòng)極板(3)均連接在信號(hào)處理電路上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的上極板(4)和下極板(5)位于同一垂直面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的上極板(4)和下極板(5)均有兩個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的活動(dòng)極板(3)位于兩個(gè)上極板(4)之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的受力孔(6)的面積小于支撐座(I)與彈性梁(2)接觸的面積。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微加速度傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的活動(dòng)極板(3)與上極板(4)之間的距離小于2毫米。
【文檔編號(hào)】G01P15/125GK203519642SQ201320654610
【公開(kāi)日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月23日
【發(fā)明者】黃友華 申請(qǐng)人:成都市宏山科技有限公司