伺服式加速度傳感器的制造方法
【專利摘要】伺服式加速度傳感器具備：根據(jù)加速度進行位移的振子部（6），支撐振子部（6）的框部（7），通過靜電電容的變化檢測振子部（6）的位移的位移檢測部（16a、16b），以及根據(jù)位移檢測部（16a、16b）檢測到的靜電電容的變化量、向設(shè)置于振子部（6）的線圈（13a）供給控制振子部（6）的位移的電流的伺服電路部，將伺服電路部供給的電流作為加速度輸出。振子部（6）和框部（7）通過由一對振子部用印刷基板（12a、12b）和一對框部用印刷基板（17a、17b）夾入金屬薄板部件（11）而形成。
【專利說明】伺服式加速度傳感器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種在地震儀等中應(yīng)用的伺服式加速度傳感器。

【背景技術(shù)】
[0002] 靜電電容型的伺服式加速度傳感器，當(dāng)施加加速度時，振子部相對于框部將發(fā)生 位移，然而通過靜電電容的變化檢測該位移，在振子部具備的線圈中流過與靜電電容的變 化相應(yīng)的電流而產(chǎn)生電磁力，振子部表觀上呈靜止?fàn)顟B(tài)。由于該電流與加速度成比例，因此 只要測定電流，就能夠知道加速度。
[0003] 在專利文獻1 (日本專利第2861694號公報）中，記載了一種伺服式振動傳感器， 由形成有線圈圖案的多個基板構(gòu)成振蕩器(振子部)，作為該振蕩器(振子部）的支撐體，在 振蕩器(振子部）的一端側(cè)設(shè)置有可撓性的彈簧，該彈簧也作為線圈圖案的配線材料發(fā)揮功 能。
[0004] 另外，在專利文獻2 (日本專利第2913525號公報）中，記載了一種測斜儀，該測斜 儀的結(jié)構(gòu)是：可動板(振子部）與鉸鏈設(shè)置為分體，由可撓板(金屬的彈簧材料）形成支撐可 動板(振子部）的鉸鏈，利用英文的"U"字形的（日語的""字形）夾子部件將該可撓板固定 于可動板(振子部）和固定板(框部)。
[0005] 在專利文獻1記載的技術(shù)中，通過磁力對振蕩器(振子部)進行控制驅(qū)動，但該驅(qū)動 力與線圈的匝數(shù)、間隙磁場以及流過線圈的電流成比例。這種部件結(jié)構(gòu)難以確保間隙磁場 (例如5000高斯)、難以確保線圈圖案的匝數(shù)(例如600圈)，需要流過大量電流，因此難以實 用化。
[0006] 另外，在專利文獻2記載的技術(shù)中，是利用"U"字形的夾子部件將可撓板分別固定 于固定板和可動板的結(jié)構(gòu)，因此部件個數(shù)增加，組裝操作也不容易，不面向小型化，組裝工 時也增加。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 本發(fā)明是鑒于現(xiàn)有技術(shù)所具有的以上問題而完成的發(fā)明，其目的在于提供一種能 夠由廉價的部件構(gòu)成、并且易于組裝和調(diào)節(jié)的伺服式加速度傳感器。
[0008] 解決上述課題的方式的伺服式加速度傳感器具備：振子部，根據(jù)加速度進行位移； 框部，支撐所述振子部；位移檢測部，通過靜電電容的變化對所述振子部的位移進行檢測； 以及伺服電路部，根據(jù)所述位移檢測部檢測到的靜電電容的變化量，向設(shè)置于所述振子部 的線圈供給控制所述振子部的位移的電流，伺服式加速度傳感器將所述伺服電路部供給的 電流作為加速度輸出，其特征在于，所述振子部和所述框部通過由一對振子部用印刷基板 和一對框部用印刷基板夾入金屬薄板部件而形成，所述振子部的表面與所述框部的表面配 置于同一平面，所述振子部通過所述金屬薄板部件被所述框部支撐，所述金屬薄板部件上 形成有可撓部，所述可撓部兼作所述位移檢測部的電極配線部和所述線圈的配線部，并且 能夠彎曲撓曲。
[0009] 所述位移檢測部能夠由在所述一對振子部用印刷基板上分別形成的電極和與這 些電極相對的各個殼體構(gòu)成。
[0010] 所述各個殼體中的至少一個能夠構(gòu)成磁路。
[0011] 在所述框部與所述各個殼體之間夾入配置有墊片，通過所述墊片的厚度，能夠設(shè) 定所述位移檢測部的電極間間隙。
[0012] 所述振子部的前端側(cè)形成有凸部，在所述框部的所述凸部朝向的位置形成有切口 部，構(gòu)成所述凸部及所述切口部的所述金屬薄板部件，能夠分別從所述振子部用印刷基板 及所述框部用印刷基板突出。
[0013] 所述電極配線部能夠至少一部分彎曲而形成。此外，"彎曲而形成"包括，附加折線 后彎曲而形成和不附加折線使其彎曲而形成。
[0014] 所述金屬薄板部件的被所述振子部用印刷基板和所述框部用印刷基板夾著的面 能夠形成多個孔。
[0015] 根據(jù)上述的方式，由于通過由一對振子部用印刷基板和一對框部用印刷基板夾持 金屬薄板部件而構(gòu)成振子部和框部，因此振子部和框部的組裝操作變得容易，并且能夠由 廉價的部件構(gòu)成。
[0016] 通過將分別形成于一對振子部用印刷基板的電極與各個殼體相對設(shè)置，能夠形成 較小的位移檢測部。
[0017] 由于各個殼體的至少一個構(gòu)成磁路，因此能夠由殼體形成磁場。
[0018] 另外，如果根據(jù)墊片的厚度設(shè)定位移檢測部的電極間間隙，則電極間的間隙調(diào)整 變得容易。
[0019] 如果在振子部的前端側(cè)形成凸部，并且在框部形成該凸部朝向（面對）的切口部， 則能夠容易地確認振子部相對于框部的位置偏移。
[0020] 如果電極配線部的至少一部分彎曲而形成，則通過釋放組裝時和拉伸等產(chǎn)生的壓 力，能夠防止振子部的偏移。
[0021] 另外，如果在所述金屬薄板部件的被所述振子部用印刷基板與所述框部用印刷基 板夾著的面形成多個孔，則當(dāng)涂布粘結(jié)劑使一對振子部用印刷基板和一對框部用印刷基板 互相粘結(jié)并緊貼時，由于粘結(jié)劑進入孔內(nèi)并在孔中固化，因此能夠獲得充分的粘結(jié)力（錨固 效果)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022] 圖1是本發(fā)明涉及的伺服式加速度傳感器的簡要截面圖。
[0023] 圖2是傳感器的簡要截面圖。
[0024] 圖3是金屬薄板部件的俯視圖。
[0025] 圖4是振子部用印刷基板的俯視圖。
[0026] 圖5是框部用印刷基板的俯視圖。
[0027] 圖6是涂布有粘結(jié)劑的振子部用印刷基板和框部用印刷基板的俯視圖。
[0028] 圖7是第一組裝夾具的說明圖。（a)是第一組裝夾具的俯視圖，（b)是第一組裝夾 具的側(cè)視圖，（c)是將振子部用印刷基板和框部用印刷基板放置于第一組裝夾具的狀態(tài)的 俯視圖。
[0029] 圖8是將金屬薄板部件放置于振子部用印刷基板和框部用印刷基板的狀態(tài)的俯 視圖。
[0030] 圖9是將振子部用印刷基板和框部用印刷基板放置于金屬薄板部件的狀態(tài)的俯 視圖。
[0031] 圖10是第二組裝夾具的說明圖。（a)是第二組裝夾具的俯視圖，（b)是第二組裝 夾具的側(cè)視圖，（c)是將第二組裝夾具固定于第一組裝夾具的狀態(tài)的俯視圖，（d)是將第二 組裝夾具固定于第一組裝夾具的狀態(tài)的側(cè)視圖。
[0032] 圖11是振子部和框部的俯視圖。
[0033] 圖12是振子部的前端凸部和框部的切口部的擴大圖。
[0034] 圖13是安裝有線圈的振子部的截面圖。
[0035] 圖14是第一殼體的說明圖。（a)是俯視圖，（b)是截面圖。
[0036] 圖15是第二殼體的說明圖。（a)是俯視圖，（b)是截面圖。
[0037] 圖16是墊片的俯視圖。
[0038] 圖17是基座郃件的說明圖。（a)是俯視圖，（b)是截面圖。

【具體實施方式】
[0039] 下面根據(jù)附圖對本發(fā)明的實施的方式進行說明。實施方式的伺服式加速度傳感器 1，如圖1所示，包括傳感器部2、伺服電路部3、外殼4以及基座部件5。傳感器部2安裝于 基座部件5,伺服電路部3安裝于傳感器部2。
[0040] 如圖2所不，傳感器部2包括振子部6、框部7、第一殼體8、第二殼體9、兩個墊片 10a、10b等。傳感器部2的形狀形成大致圓筒形，高度為約15mm，外徑為約23mm。
[0041] 振子部6以及框部7通過一對振子部用印刷基板12a、12b及框部用印刷基板17a、 17b分別將金屬薄板部件11夾住并粘結(jié)。在形成振子部6的兩表面的振子部用印刷基板 12a、12b安裝有線圈13a、13b。
[0042] 此處，印刷基板是指在絕緣體的表面和里面、或者絕緣體的內(nèi)部用銅箔等進行電 路的配線的基板。振子部用印刷基板12a、12b是用于振子部6的印刷基板?？虿坑糜∷⒒?板17a、17b是用于框部7的印刷基板。
[0043] 設(shè)置于振子部用印刷基板12a、12b的電極14a、14b，配置于振子部6的通過金屬 薄板部件11被框部7支撐的一側(cè)的相反側(cè)的端部附近的兩表面。與這些電極14a、14b相 對的第一殼體8的表面15a以及第二殼體9的表面15b，形成檢測靜電電容的位移檢測部 16a、16b〇
[0044] 另外，框部7間隔著墊片10a、10b被夾入第一殼體8和第二殼體9。
[0045] 如圖3所示，金屬薄板部件11形成有成為振子部6的振子部側(cè)部位11a，以及成為 框部7的框部側(cè)部位lib。在金屬薄板部件11形成有兼作線圈13a、13b的配線的兩處可撓 部11c、lld，以及成為位移檢測部16a、16b的電極14a、14b的配線的電極配線部lie、Ilf。 可撓部11c、lld，能夠彎曲撓曲。
[0046] 兼作配線的可撓部llc、lld與電極配線部lle、llf被與伺服電路部3配線。金屬 薄板部件11的振子部側(cè)部位11a和框部側(cè)部位lib各自形成有兩個(總計四個)導(dǎo)孔llg。 此外，在圖3這種形狀的情況下，在組裝操作中切斷金屬薄板部件11的不需要的部分llh 及 lli。
[0047] 可撓部1 lc、1 Id的可撓性的調(diào)整，通過對金屬薄板部件11的板厚以及可撓部1 lc、 lid的寬度進行調(diào)整而變得容易，質(zhì)量的偏差減少。另外，位移檢測部16a、16b的電極14a、 14b的電極配線部lle、llf例如通過采用呈大致"U"字形狀彎曲的形狀而釋放組裝時附加 的壓力，從而能夠防止振子部6的扭曲等。
[0048] 如圖4所示，在振子部用印刷基板12a、12b形成有兩個導(dǎo)孔12c以及貫通孔12d。 另外，在振子部用印刷基板12a、12b形成有弓形的電極14a、14b以及三個線圈定位用銅箔 圖案14c。此外，在振子部用印刷基板12a、12b的與金屬薄板部件11的振子部側(cè)部位11a 粘結(jié)的粘結(jié)面(里面）沒有電極14a、14b和銅箔圖案14c。
[0049] 如圖5所示，在框部用印刷基板17a、17b形成有兩個導(dǎo)孔17c。另外，在與墊片 10a、10b接觸的框部用印刷基板17a、17b的面(表面)，以與振子部用印刷基板12a、12b的電 極14a、14b相同的厚度，幾乎覆蓋整個面地形成有銅箔圖案17d。此外，在框部用印刷基板 17a、17b的與金屬薄板部件11的框部側(cè)部位lib粘結(jié)的粘結(jié)面(里面）沒有銅箔圖案17d。
[0050] 接下來，對實施方式的伺服式加速度傳感器1的組裝操作順序進行說明。首先，為 了組裝構(gòu)成傳感器部2的振子部6與框部7,如圖6所示，在振子部用印刷基板12a、12b的 里面規(guī)定的位置涂布粘結(jié)劑18。同樣地，在框部用印刷基板17a、17b的里面規(guī)定的位置涂 布粘結(jié)劑18。加熱固化型的環(huán)氧樹脂類粘結(jié)劑適合作為粘結(jié)劑18。
[0051] 接著，如圖7 (a)、（b)所示，準(zhǔn)備有設(shè)置了螺絲孔20a與四根引導(dǎo)銷20b的第一組 裝夾具20。然后，如圖7 (c)所示，在第一組裝夾具20上，將涂布有粘結(jié)劑18的面(里面） 朝上，將振子部用印刷基板12a的導(dǎo)孔12c和框部用印刷基板17a的導(dǎo)孔17c分別穿過引 導(dǎo)銷20b，放置一個振子部用印刷基板12a和一個框部用印刷基板17a。
[0052] 接著，如圖8所示，在將粘結(jié)劑涂布面朝上放置在第一組裝夾具20上的振子部用 印刷基板12a和框部用印刷基板17a上放置金屬薄板部件11。此時，切掉金屬薄板部件11 的不需要的部分lli，分別將兩個導(dǎo)孔llg穿過第一組裝夾具20的引導(dǎo)銷20b并放置金屬 薄板部件11。此外，圖8所示的金屬薄板部件11是切掉不需要的部分llh前的狀態(tài)。
[0053] 接著，如圖9所示，將另一個振子部用印刷基板12b和另一個框部用印刷基板17b 的粘結(jié)劑涂布面(里面）朝下，分別將印刷基板12b、17b的導(dǎo)孔12c、17c穿過第一組裝夾具 20的引導(dǎo)銷20b并放置在金屬薄板部件11上。
[0054] 接著，如圖10 (a)、（b)所示，準(zhǔn)備有設(shè)置了貫通孔21a和四個孔21b的第二組裝 夾具21以及緊固螺栓22。此外，孔21b起在放置第二組裝夾具21時使第二組裝夾具21不 碰到第一組裝夾具20的引導(dǎo)銷20b的作用。然后，使第一組裝夾具20的螺絲孔20a和貫 通孔21a以及引導(dǎo)銷20b和孔21b的位置對準(zhǔn)，將第二組裝夾具21放置在振子部用印刷基 板12b和框部用印刷基板17b上。此外，孔21b是能夠以具有間隙的狀態(tài)嵌入的孔，嵌入物 與被嵌入物能夠互相移動。
[0055] 并且，如圖10 (c)、（d)所示，將緊固螺栓22穿過第二組裝夾具21的貫通孔21a、 振子部用印刷基板12b的貫通孔12d、金屬薄板部件11的中央部、振子部用印刷基板12a的 貫通孔12d，與第一組裝夾具20的螺絲孔20a螺紋結(jié)合并以規(guī)定的扭矩緊固。在此，雖然使 用了緊固螺栓22,但也可以不用緊固螺栓22緊固，而將第二組裝夾具21作為砝碼施加一定 負荷。
[0056] 這樣，利用第一組裝夾具20和第二組裝夾具21，將金屬薄板部件11以及涂布有粘 結(jié)劑18的一對振子部用印刷基板12a、12b和一對框部用印刷基板17a、17b在以規(guī)定的壓 力夾住的狀態(tài)下通過規(guī)定的條件加熱固化。
[0057] 另外，如果在金屬薄板部件11的整個粘結(jié)面形成多個未圖示的微小孔(例如一邊 為0. 2mm的方孔)，則當(dāng)涂布有粘結(jié)劑18的振子部用印刷基板12a、12b以及框部用印刷基 板17a、17b通過利用第一組裝夾具20、第二組裝夾具21及緊固螺栓22的緊固粘結(jié)于金屬 薄板部件11時，由于粘結(jié)劑18進入微小孔并在孔中加熱固化，因此既能夠防止粘結(jié)劑18 溢出和起因于粘結(jié)的翹曲，又能夠得到充分的粘結(jié)力(錨固效果)。
[0058] 另外，如果振子部用印刷基板12a、12b和框部用印刷基板17a、17b是玻璃環(huán)氧基 板，則也可以不使用粘結(jié)劑18,而使振子部用印刷基板12a、12b及框部用印刷基板17a、17b 與金屬薄板部件11熱熔接。
[0059] 通過如上所述的組裝，即使振子部用印刷基板12a、12b及框部用印刷基板17a、 17b稍微翹曲，通過固化時的加熱，振子部6和框部7的平坦性也變好，能夠得到基本相同的 平面。另外，振子部6通過金屬薄板部件11的可撓部11c、lid被框部7支撐，形成相對于 金屬薄板部件11對稱性良好的一體結(jié)構(gòu)。
[0060] 接著，如圖11所示，粘結(jié)劑18固化后，將振子部6和框部7從安裝夾具20、21卸 下，切掉金屬薄板部件11的不需要的部分llh。
[0061] 通過利用上述步驟的組裝操作，振子部6和框部7形成一體結(jié)構(gòu)。然后，如圖12 所示，在振子部6的前端側(cè)形成凸部6a，并且在該凸部6a面對的框部7 (在凸部6a的前端 所朝向的位置)形成切口部7a，使構(gòu)成凸部6a及切口部7a的金屬薄板部件11的振子部側(cè) 部位11a及框部側(cè)部位lib分別從振子部用印刷基板12a、12b及框部用印刷基板框部用印 刷基板17a、17b突出，因此容易確認振子部6和框部7在位移方向的位置偏移。
[0062] 接著，如圖13所示，將線圈13a、13b對準(zhǔn)成為振子部6的兩表面的振子部用印刷 基板12a、12b的線圈定位銅箔圖案14c進行放置，并通過粘結(jié)劑粘結(jié)。為了保持平衡，在振 子部6的兩表面安裝線圈13a、13b。然后，僅將一側(cè)的線圈13a與兼作配線的可撓部11c、 lid電連接。此外，也可以將兩面的線圈13a、13b與可撓部llc、lld連接。
[0063] 通過在振子部用印刷基板12a、12b形成定位用的銅箔圖案14c，由于銅箔圖案14c 與振子部用印刷基板12a、12b相比呈凸?fàn)顟B(tài)(突出約75 μ m)，因此線圈13a、13b能夠容易 地定位。
[0064] 接著，如圖14所示，預(yù)先形成構(gòu)成磁路的第一殼體8。第一殼體8的材料使用飽 和磁通密度高的軟磁性材料(例如，電磁軟鐵)。在中央部設(shè)置磁石(例如，稀土類磁石）25。 第一殼體8設(shè)置為將線圈13a包圍，向線圈13a所位于的間隙賦予規(guī)定的磁場。第一殼體 8具有與第二殼體9的結(jié)合用螺絲孔8a和導(dǎo)孔8b。
[0065] 另外，如圖15所示，預(yù)先形成第二殼體9。第二殼體9雖然不構(gòu)成磁路，但如果也 使用線圈13b則也可以與第一殼體8同樣地構(gòu)成。為了獲得熱平衡，材料使用與第一殼體 8相同的材料。第二殼體9具有與第一殼體8的結(jié)合用孔9a和導(dǎo)孔9b。
[0066] 接著，使用引導(dǎo)銷(未圖示)和結(jié)合螺栓(未圖示)，間隔著兩個墊片10a、10b通過第 一殼體8和第二殼體9夾入利用一對框部用印刷基板17a、17b夾住并粘結(jié)有金屬薄板部件 11的框部7。墊片10a、10b使用薄板且非磁性的金屬材料。如圖16所示，墊片10a、10b是 與框部用印刷基板17a、17b幾乎相同的形狀，但是形成為無切口的形狀。墊片10a、10b具 有結(jié)合用孔l〇c和導(dǎo)孔10d。
[0067] 然后，在由設(shè)置于振子部6的一個表面的電極14a和與電極14a相對的第一殼體 8的表面15a構(gòu)成的位移檢測部16a，利用墊片10a的厚度調(diào)節(jié)靜電電容以便獲得所希望的 靜電電容。同樣，在由設(shè)置于振子部6的另一個表面的電極14b和第二殼體9的表面15b 構(gòu)成的位移檢測部16b，利用墊片10b的厚度調(diào)節(jié)靜電電容以便獲得所希望的靜電電容。此 夕卜，墊片10a、10b采用相同的厚度，但是也可以根據(jù)需要采用不同的厚度。
[0068] 如上所述，通過使用墊片10a、10b，獲得所希望的靜電電容的調(diào)節(jié)變得容易。此外， 在位移檢測部16a、16b，將殼體8、9的表面15a、15b接地。
[0069] 接著，伺服電路部3安裝于第二殼體9。另外，線圈13a通過兼作金屬薄板部件11 的配線的可撓部llc、lld連接于伺服電路部3。位移檢測部16a、16b的電極14a、14b通過 電極配線部lle、llf連接于伺服電路部3。
[0070] 接著，在圖17所示的基座部件5上，利用結(jié)合用孔5a通過螺絲對安裝有伺服電路 部3的傳感器部2進行三點固定。此時，使用設(shè)置于基座部件5的三處的角度調(diào)節(jié)用螺絲 孔5b，對組裝時產(chǎn)生的微小的敏感軸的偏移，通過螺絲的進退調(diào)節(jié)，能夠容易地改變相對于 基座部件5的傳感器部2的安裝角度，因此振子部6的位置校正成為可能。
[0071] 接著，在固定有傳感器部2的基座部件5上，利用結(jié)合用孔5c通過螺絲對外殼4 進行四點固定。外殼4的外形為大致長方體形狀，但也可以是圓筒形狀。材料由于使用鋁， 既能夠利用屏蔽效果減少噪聲的產(chǎn)生及噪聲的影響，又能夠輕量化，并且廉價。如果是磁性 材料，則能夠降低磁噪聲的影響。如果在使用條件下沒有變形且相對于溫度等穩(wěn)定，則也可 以使用工程塑料。根據(jù)所需進行選擇即可。
[0072] 如基于上述步驟的組裝操作所示，將振子部6和框部7利用第一組裝夾具20和第 二組裝夾具21夾住并緊固或者通過一定負荷加壓，并對粘結(jié)劑18進行加熱固化，因此振子 部6和框部7大體成為同一平面，通過將規(guī)定厚度的墊片10a、10b分別夾在框部7與第一 殼體8及框部7與第二殼體9之間，能夠容易地設(shè)定要求的靜電電容。
[0073] 另外，即使是在振子部6及框部7使用印刷基板12a、12b、17a、17b的結(jié)構(gòu)，由于能 夠獲得_50°C?100°C的耐熱性，因此針對地震儀的要求規(guī)格也能夠獲得充分的溫度范圍。
[0074] 根據(jù)本實施方式，能夠提供一種使用廉價的構(gòu)成部件、并且組裝操作/調(diào)節(jié)操作 容易的伺服式加速度傳感器。
[0075] 符號說明
[〇〇76] 1伺服式加速度傳感器；2傳感器部；3伺服電路部；4外殼；5基座部件；6振子部； 6a凸部；7框部；7a切口部；8第一殼體；9第二殼體；10a、10b墊片；11金屬薄板部件；11a 振子部側(cè)部位；lib框部側(cè)部位；11c、lid可撓部；lie、Ilf電極配線部；llg、12c、17c導(dǎo)孔； 12d、21a貫通孔；12a、12b振子部用印刷基板；13a、13b線圈；14a、14b電極；15a、15b表面； 16a、16b位移檢測部；17a、17b框部用印刷基板；18粘結(jié)劑；20第一組裝夾具；20a螺絲孔； 20b引導(dǎo)銷；21第二組裝夾具；21b導(dǎo)孔；22緊固螺栓。
【權(quán)利要求】
1. 一種伺服式加速度傳感器，具備：振子部，根據(jù)加速度進行位移；框部，支撐所述振 子部；位移檢測部，通過靜電電容的變化檢測所述振子部的位移；以及伺服電路部，根據(jù)所 述位移檢測部檢測到的靜電電容的變化量，向設(shè)置于所述振子部的線圈供給控制所述振子 部的位移的電流，所述伺服式加速度傳感器將所述伺服電路部供給的電流作為加速度輸 出， 其特征在于， 所述振子部和所述框部通過由一對振子部用印刷基板和一對框部用印刷基板夾入金 屬薄板部件而形成， 所述振子部的表面和所述框部的表面配置于同一平面， 所述振子部通過所述金屬薄板部件被所述框部支撐， 所述金屬薄板部件上形成有可撓部，所述可撓部兼作所述位移檢測部的電極配線部和 所述線圈的配線部，并且能夠彎曲撓曲。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于， 所述位移檢測部由在所述一對振子部用印刷基板上分別形成的電極和與這些電極相 對的各個殼體構(gòu)成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于， 所述各個殼體中的至少一個構(gòu)成磁路。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于， 在所述框部與所述各個殼體之間夾入配置有墊片，通過所述墊片的厚度，設(shè)定所述位 移檢測部的電極間間隙。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于， 在所述振子部的前端側(cè)形成有凸部， 在所述框部的、所述凸部朝向的位置形成有切口部， 構(gòu)成所述凸部及所述切口部的所述金屬薄板部件分別從所述振子部用印刷基板及所 述框部用印刷基板突出。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于， 所述電極配線部至少一部分彎曲而形成。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于， 所述金屬薄板部件的被所述振子部用印刷基板和所述框部用印刷基板夾著的面上形 成有多個孔。
【文檔編號】G01P15/125GK104111352SQ201410146195
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年4月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月17日
【發(fā)明者】關(guān)淳 申請人:理音株式會社