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一種用于光柵位移測(cè)量系統(tǒng)的位移計(jì)算方法與流程

文檔序號(hào):11099664閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
一種用于光柵位移測(cè)量系統(tǒng)的位移計(jì)算方法,包括以下步驟:S1)通過DSP對(duì)雙路非正交正弦位移信號(hào)進(jìn)行同步采樣,獲得雙路非正交正弦信號(hào)數(shù)據(jù);S2)根據(jù)相關(guān)原理計(jì)算出雙路非正交正弦信號(hào)數(shù)據(jù)的相位差值;S3)根據(jù)相位差值,使用非整周期部分信號(hào)細(xì)分算法,計(jì)算出非整周期部分信號(hào)所包含的位移量;以及S4)根據(jù)整周期計(jì)數(shù)值計(jì)算出整周期部分信號(hào)所包含的位移量,加上上述非整周期部分信號(hào)所包含的位移量,計(jì)算出總位移量。實(shí)施本發(fā)明提供的雙路非正交位移信號(hào)計(jì)算位移量的方法,減小了位移信號(hào)由于非正交帶來的位移測(cè)量誤差,提高了位移測(cè)量精度。

技術(shù)研發(fā)人員:劉守斌;畢江林;束名揚(yáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:哈爾濱工業(yè)大學(xué)深圳研究生院
文檔號(hào)碼:201611169900
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.16
技術(shù)公布日:2017.05.10

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