技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種固態(tài)原子自旋傳感結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力噪聲超高精度測試系統(tǒng)，包括探頭，所述探頭包括金剛石襯底，所述金剛石襯底上表面中部加工有金剛石NV色心波導(dǎo)，所述金剛石襯底上表面生長一層覆蓋NV色心波導(dǎo)的金剛石折射率匹配層作為反射膜，所述金剛石襯底上表面加工微帶天線陣列，所述微帶天線陣列延伸有微帶天線端口，所述微帶天線端口連接微波源，所述微帶天線陣列上表面鍍有壓磁薄膜。本發(fā)明采用內(nèi)嵌NV色心的波導(dǎo)的金剛石襯底作為敏感單元，利用激光實(shí)現(xiàn)電子能級(jí)躍遷，通過掃描微波，壓力探頭內(nèi)的壓磁薄膜感受外界壓力會(huì)產(chǎn)生與壓力大小相關(guān)的磁場，通過熒光強(qiáng)度譜線兩個(gè)峰值對(duì)應(yīng)的微波頻率的差值來對(duì)壓力進(jìn)行標(biāo)定，實(shí)現(xiàn)壓力的超高精度測量。

技術(shù)研發(fā)人員：唐軍;郭浩;劉俊;趙銳;劉文耀;趙彬彬;馬宗敏;朱強(qiáng);高研杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中北大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.23
技術(shù)公布日：2017.09.08