本發(fā)明涉及方阻測試，更具體地說，它涉及一種高精度薄膜方阻測試儀以及測試方法。

背景技術：

1、方阻（即方塊電阻）是一個至關重要的物理參數(shù)，它反映了薄膜材料的導電性能，方阻測試廣泛應用于電子、光電、半導體等行業(yè)，特別是在薄膜太陽能電池、觸摸屏、導電膜等領域，方阻的精確測量對于保證產(chǎn)品質量和性能至關重要。

2、傳統(tǒng)的薄膜方阻測試儀在測試過程中，往往面臨薄膜材料表面不平整，如鼓起、褶皺等，當薄膜表面不平整時，測試探頭與薄膜的接觸面積和壓力會發(fā)生變化，導致測得的方阻值存在誤差，進而影響測試結果的準確性和可靠性。

3、此外，現(xiàn)有的測試設備在抻平薄膜時，通常采用固定的抻平機構，這些機構在抻平過程中容易對薄膜造成過度撕扯或劃傷，特別是對于較薄的薄膜材料，這種損傷尤為明顯，這不僅影響了測試結果的準確性，還可能導致薄膜材料的報廢，增加了生產(chǎn)成本。

技術實現(xiàn)思路

1、（一）解決的技術問題

2、針對現(xiàn)有技術中存在的問題，本發(fā)明提供了一種高精度薄膜方阻測試儀以及測試方法，以解決背景技術中提到的傳統(tǒng)薄膜方阻測試儀在測試不平整薄膜時，測得的方阻值存在誤差，影響測試結果準確性和可靠性的問題。

3、（二）技術方案

4、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術方案：一種高精度薄膜方阻測試儀，包括方阻測試儀主體，以及與所述方阻測試儀主體電性連接的測試探頭，所述測試探頭外圈一體成型設置有臺座，且所述臺座上轉動安裝有抻平機構，所述臺座上方設置有彈性復位機構，且所述彈性復位機構和抻平機構之間相互嚙合；

5、所述抻平機構包括轉動安裝于所述臺座上的抻平壓桿，還包括設置于所述抻平壓桿上的抻平組件，以及設置于所述抻平組件上的止轉齒輪；

6、所述抻平壓桿遠離臺座的一端開設有容置腔，且所述容置腔內部設置有施壓解鎖機構；

7、所述止轉齒輪設置于容置腔內，且所述止轉齒輪初始狀態(tài)和所述施壓解鎖機構嚙合卡接。

8、本發(fā)明進一步設置為，所述抻平組件包括轉動安裝于所述抻平壓桿遠離臺座一端的抻平輥，以及設置于所述抻平輥圓周側壁上的橡膠墊；

9、所述抻平輥通過兩端的轉軸和所述抻平壓桿轉動安裝，且所述止轉齒輪與所述抻平輥的轉軸固定連接。

10、本發(fā)明進一步設置為，所述施壓解鎖機構包括轉動安裝于所述容置腔內的止轉板，以及設置于所述止轉板一側的抵觸組件；

11、所述抵觸組件抵觸推動止轉板和止轉齒輪的齒槽卡接。

12、本發(fā)明進一步設置為，所述容置腔內開設有導向槽，且所述抵觸組件滑動安裝于導向槽內。

13、本發(fā)明進一步設置為，所述抵觸組件包括設置于所述導向槽內的推動彈簧和滑塊，以及設置于所述滑塊上和止轉板抵觸的推桿。

14、本發(fā)明進一步設置為，所述彈性復位機構包括套接于所述測試探頭圓周外部復位彈簧和驅動環(huán)，以及設置于所述驅動環(huán)上的驅動齒條。

15、本發(fā)明進一步設置為，所述抻平壓桿靠近臺座的一端設置有驅動齒塊，且所述驅動齒塊和驅動齒條嚙合傳動。

16、本發(fā)明進一步設置為，所述測試探頭外圈螺紋套接有限位套，且所述限位套和驅動環(huán)抵觸匹配。

17、本發(fā)明進一步設置為，所述方阻測試儀主體上設置有支撐架，且所述支撐架和方阻測試儀主體轉動安裝。

18、本發(fā)明還提供如下技術方案：一種高精度薄膜方阻測試方法，包括所述的高精度薄膜方阻測試儀，以及，

19、s1、將待測薄膜放置到檢測工作臺上；

20、s2、下壓測試探頭，通過抻平機構中的抻平組件抻平薄膜；

21、s3、待薄膜平整后，測試探頭的探針接觸薄膜進行方阻測試；

22、s4、測試完成后，上移測試探頭，使抻平組件在彈性復位機構作用下收回。

23、（三）有益效果

24、與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明提供了一種高精度薄膜方阻測試儀以及測試方法，具備以下有益效果：

25、1、本發(fā)明通過施壓解鎖機構和抻平組件的設計，能夠在抻平薄膜后自動調整抻平組件的狀態(tài)，從壓緊抻平轉變?yōu)闈L動抻平，這種方式有效避免了在繼續(xù)下壓測試探頭以進行方阻測試時，抻平組件對薄膜的過度撕扯，從而保護了薄膜的完整性，減少了因測試過程造成的薄膜損傷。

26、2、本發(fā)明摒棄了傳統(tǒng)設計中常用的扭簧結構，轉而采用復位彈簧和驅動環(huán)、驅動齒條等組合而成的彈性復位機構，這種設計不僅簡化了設備的結構，使得設備的裝配和維護更加便捷，而且避免了扭簧因長期使用扭力下降而難以更換的問題，同時，沒有采用扭簧的設計還使得抻平組件在初始狀態(tài)下能夠緊密貼合，對測試探頭起到保護作用，提高了設備的使用便捷性和可靠性，以及初始狀態(tài)貼合的抻平組件能夠具有更大的抻平范圍，適用性更廣。

技術特征：

1.一種高精度薄膜方阻測試儀，包括方阻測試儀主體（1），以及與所述方阻測試儀主體（1）電性連接的測試探頭（2），其特征是：所述測試探頭（2）外圈一體成型設置有臺座（201），且所述臺座（201）上轉動安裝有抻平機構（3），所述臺座（201）上方設置有彈性復位機構（4），且所述彈性復位機構（4）和抻平機構（3）之間相互嚙合；

2.根據(jù)權利要求1所述的一種高精度薄膜方阻測試儀，其特征是：所述抻平組件（5）包括轉動安裝于所述抻平壓桿（301）遠離臺座（201）一端的抻平輥（501），以及設置于所述抻平輥（501）圓周側壁上的橡膠墊（502）；

3.根據(jù)權利要求2所述的一種高精度薄膜方阻測試儀，其特征是：所述施壓解鎖機構（6）包括轉動安裝于所述容置腔（303）內的止轉板（601），以及設置于所述止轉板（601）一側的抵觸組件（7）；

4.根據(jù)權利要求3所述的一種高精度薄膜方阻測試儀，其特征是：所述容置腔（303）內開設有導向槽（304），且所述抵觸組件（7）滑動安裝于導向槽（304）內。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種高精度薄膜方阻測試儀，其特征是：所述抵觸組件（7）包括設置于所述導向槽（304）內的推動彈簧（701）和滑塊（702），以及設置于所述滑塊（702）上和止轉板（601）抵觸的推桿（703）。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種高精度薄膜方阻測試儀，其特征是：所述彈性復位機構（4）包括套接于所述測試探頭（2）圓周外部復位彈簧（401）和驅動環(huán)（402），以及設置于所述驅動環(huán)（402）上的驅動齒條（403）。

7.根據(jù)權利要求6所述的一種高精度薄膜方阻測試儀，其特征是：所述抻平壓桿（301）靠近臺座（201）的一端設置有驅動齒塊（305），且所述驅動齒塊（305）和驅動齒條（403）嚙合傳動。

8.根據(jù)權利要求7所述的一種高精度薄膜方阻測試儀，其特征是：所述測試探頭（2）外圈螺紋套接有限位套（202），且所述限位套（202）和驅動環(huán)（402）抵觸匹配。

9.根據(jù)權利要求8所述的一種高精度薄膜方阻測試儀，其特征是：所述方阻測試儀主體（1）上設置有支撐架（101），且所述支撐架（101）和方阻測試儀主體（1）轉動安裝。

10.一種高精度薄膜方阻測試方法，其特征在于：包括權利要求1-9任一所述的高精度薄膜方阻測試儀，以及，

技術總結
本發(fā)明涉及方阻測試技術領域，更具體地說，它涉及一種高精度薄膜方阻測試儀以及測試方法，包括方阻測試儀主體，以及與所述方阻測試儀主體電性連接的測試探頭，所述測試探頭外圈一體成型設置有臺座，且所述臺座上轉動安裝有抻平機構，所述臺座上方設置有彈性復位機構，且所述彈性復位機構和抻平機構之間相互嚙合，所述抻平機構包括轉動安裝于所述臺座上的抻平壓桿，還包括設置于所述抻平壓桿上的抻平組件，以及設置于所述抻平組件上的止轉齒輪，本發(fā)明解決了傳統(tǒng)薄膜方阻測試儀在測試不平整薄膜時，測得的方阻值存在誤差，影響測試結果準確性和可靠性的問題，還避免了對薄膜抻平時，過度撕扯造成薄膜損壞的情況發(fā)生。

技術研發(fā)人員：蘇學儉,黃德
受保護的技術使用者：廣東伏田電氣股份有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/5/15