本發(fā)明涉及激光成像,具體涉及變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法及裝置。
背景技術(shù):
1、變錐面彎晶診斷技術(shù)是基于x射線衍射理論的前沿光學(xué)設(shè)計(jì),近年來(lái)被提出并應(yīng)用于高分辨率x射線光譜信號(hào)診斷領(lǐng)域。其核心原理是通過(guò)設(shè)計(jì)具有連續(xù)變化曲率半徑和傾角的曲面結(jié)構(gòu),取代傳統(tǒng)平面晶體的布拉格衍射光路,將發(fā)散x射線光譜在空間維度進(jìn)行壓縮,形成垂直于晶體表面的線聚焦模式。相較于平面晶體,該結(jié)構(gòu)通過(guò)優(yōu)化光子收集立體角,顯著提高了晶體的光通量效率,同時(shí)因其聚焦特性,更易于與x射線條紋相機(jī)、能譜儀等后續(xù)診斷設(shè)備實(shí)現(xiàn)光路耦合。但變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)的高精度動(dòng)態(tài)耦合仍存在技術(shù)瓶頸。
2、為了實(shí)現(xiàn)高精度時(shí)間分布的x射線光譜信號(hào)診斷,需確保變錐面彎晶的x射線聚焦線與x射線條紋相機(jī)陰極狹縫在三維空間內(nèi)高精度重合。然而,x射線條紋相機(jī)必須在真空環(huán)境下工作以接收x射線信號(hào),而真空條件下的原位調(diào)試極為困難?,F(xiàn)有技術(shù)通常采用非真空環(huán)境下的可見光模擬x射線光路進(jìn)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)。但由于可見光的聚焦線與x射線聚焦線存在偏差且該偏差無(wú)法預(yù)估,導(dǎo)致變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)耦合后,x射線聚焦線易偏離陰極狹縫有效區(qū)域,造成時(shí)間掃描信號(hào)丟失或強(qiáng)度非線性失真。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了實(shí)現(xiàn)變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)的高精度耦合,本發(fā)明提供了變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法及裝置,所采用的技術(shù)方案具體如下:
2、本發(fā)明第一方面的技術(shù)方案提供了變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,所述方法包括:
3、在相同光路下,分別利用可見光源和x射線照射變錐面彎晶,使所述變錐面彎晶在成像板上分別形成可見光源聚焦線和x射線聚焦線;
4、通過(guò)圖像采集裝置獲取可見光源聚焦線和x射線聚焦線的位置信息,并提取聚焦線相對(duì)偏差;
5、將變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)通過(guò)三維調(diào)整機(jī)構(gòu)耦合,并利用可見光源持續(xù)照射變錐面彎晶;
6、根據(jù)圖像采集裝置和聚焦線相對(duì)偏差,通過(guò)三維調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)變錐面彎晶的位置,使x射線聚焦線與x射線條紋相機(jī)的陰極狹縫重合。
7、進(jìn)一步地,通過(guò)圖像采集裝置獲取可見光源聚焦線和x射線聚焦線的位置信息,并提取聚焦線相對(duì)偏差,包括:
8、通過(guò)圖像采集裝置獲取可見光源聚焦線與成像板刻度線之間的相對(duì)位置;
9、通過(guò)圖像采集裝置獲取x射線聚焦線與成像板刻度線之間的相對(duì)位置;
10、基于可見光源聚焦線和x射線聚焦線與成像板刻度線之間的相對(duì)位置,計(jì)算聚焦線相對(duì)偏差。
11、進(jìn)一步地,根據(jù)圖像采集裝置和聚焦線相對(duì)偏差,通過(guò)三維調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)變錐面彎晶的位置,使x射線聚焦線與x射線條紋相機(jī)的陰極狹縫重合,包括:
12、根據(jù)圖像采集裝置實(shí)時(shí)觀測(cè)x射線聚焦線與x射線條紋相機(jī)陰極狹縫的空間位置;
13、三維調(diào)整機(jī)構(gòu)基于聚焦線相對(duì)偏差調(diào)節(jié)變錐面彎晶的空間位姿,使x射線聚焦線與x射線條紋相機(jī)的陰極狹縫重合。
14、進(jìn)一步地,所述可見光源為白光光源。
15、進(jìn)一步地,所述成像板的表面設(shè)有與圖像采集裝置像素坐標(biāo)匹配的刻度線。
16、進(jìn)一步地,所述圖像采集裝置為配置為固定焦距的ccd或cmos攝像頭。
17、進(jìn)一步地,所述三維調(diào)整機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)變錐面彎晶的俯仰角、水平平移和垂直平移自由度,所述三維調(diào)整機(jī)構(gòu)的調(diào)整步長(zhǎng)精度為1微米。
18、進(jìn)一步地,所述方法還包括:通過(guò)圖像采集裝置采用亞像素級(jí)對(duì)齊提取聚焦線相對(duì)偏差,且圖像采集裝置實(shí)時(shí)反饋x射線聚焦線與陰極狹縫的重合度。
19、進(jìn)一步地,所述三維調(diào)整機(jī)構(gòu)的動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)為閉環(huán)控制,其調(diào)節(jié)指令由圖像采集裝置的實(shí)時(shí)反饋信號(hào)生成。
20、本發(fā)明第二方面的技術(shù)方案提供了變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合裝置,采用本發(fā)明第一方面的技術(shù)方案所述的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,所述裝置包括:
21、可見光源模塊,用于提供光斑尺寸不大于200微米的可見光;
22、x射線源模塊,用于產(chǎn)生x射線信號(hào);
23、變錐面彎晶,其曲率半徑與x射線衍射角動(dòng)態(tài)匹配,用于將入射光衍射為聚焦線;
24、成像板,表面設(shè)有刻度線,用于記錄可見光源聚焦線與x射線聚焦線;
25、圖像采集裝置,用于獲取聚焦線位置信息并計(jì)算相對(duì)偏差;
26、三維調(diào)整機(jī)構(gòu),用于動(dòng)態(tài)調(diào)整變錐面彎晶的空間姿態(tài);
27、x射線條紋相機(jī),用于接收與陰極狹縫重合的x射線聚焦線信號(hào),并進(jìn)行時(shí)間分辨光譜診斷。
28、本發(fā)明具有如下有益效果:
29、本發(fā)明提供的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,通過(guò)成像板和圖像采集裝置,實(shí)現(xiàn)了可見光源聚焦線與x射線聚焦線的定量比對(duì),解決了非真空環(huán)境下難以實(shí)現(xiàn)變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合的技術(shù)問(wèn)題;在實(shí)際應(yīng)用中,避免了因可見光源聚焦線與x射線聚焦線偏差引起的偏離陰極狹縫有效區(qū)域的情況。另一方面,本發(fā)明根據(jù)圖像采集裝置和聚焦線相對(duì)偏差,通過(guò)三維調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)變錐面彎晶的位置,使x射線聚焦線與x射線條紋相機(jī)的陰極狹縫重合,顯著提升了變錐面彎晶與條紋相機(jī)的耦合精度,確保陰極狹縫對(duì)x射線信號(hào)的高效捕獲,避免了光譜信號(hào)丟失及失真問(wèn)題,滿足高時(shí)間分辨x射線診斷實(shí)驗(yàn)的需求。
1.變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,其特征在于,所述方法包括:
2.如權(quán)利要求1所述的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,其特征在于,通過(guò)圖像采集裝置獲取可見光源聚焦線和x射線聚焦線的位置信息,并提取聚焦線相對(duì)偏差,包括:
3.如權(quán)利要求1所述的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,其特征在于,根據(jù)圖像采集裝置和聚焦線相對(duì)偏差,通過(guò)三維調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)變錐面彎晶的位置,使x射線聚焦線與x射線條紋相機(jī)的陰極狹縫重合,包括:
4.如權(quán)利要求1所述的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,其特征在于,所述可見光源為白光光源。
5.如權(quán)利要求1所述的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,其特征在于,所述成像板的表面設(shè)有與圖像采集裝置像素坐標(biāo)匹配的刻度線。
6.如權(quán)利要求1所述的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,其特征在于,所述圖像采集裝置為配置為固定焦距的ccd或cmos攝像頭。
7.如權(quán)利要求1所述的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,其特征在于,所述三維調(diào)整機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)變錐面彎晶的俯仰角、水平平移和垂直平移自由度,所述三維調(diào)整機(jī)構(gòu)的調(diào)整步長(zhǎng)精度為1微米。
8.如權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,其特征在于,所述方法還包括:通過(guò)圖像采集裝置采用亞像素級(jí)對(duì)齊提取聚焦線相對(duì)偏差,且圖像采集裝置實(shí)時(shí)反饋x射線聚焦線與陰極狹縫的重合度。
9.如權(quán)利要求8所述的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,其特征在于,所述三維調(diào)整機(jī)構(gòu)的動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)為閉環(huán)控制,其調(diào)節(jié)指令由圖像采集裝置的實(shí)時(shí)反饋信號(hào)生成。
10.變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合裝置,其特征在于,采用權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的變錐面彎晶與x射線條紋相機(jī)高精度動(dòng)態(tài)耦合方法,所述裝置包括: