專利名稱：用于改善線鋸切割期間的干燥度的組合物的制作方法
用于改善線鋸切割期間的干燥度的組合物
背景技術(shù)：
用在電子器件中的晶片典型地由晶錠(ingot)制備，該晶錠首先被切成薄的晶片。線鋸切割是制造這樣的晶片的最常見的方法。線鋸包括細(xì)線的網(wǎng)，所述細(xì)線使用一系列線軸和滑輪布置，使得所述線以0. Imm至1. 5mm的距離彼此平行。當(dāng)基材受壓抵靠著該線網(wǎng)時(shí)，將組合物連續(xù)地提供至該區(qū)域。該組合物通常含有懸浮于液體載體中的研磨劑，該研磨劑促進(jìn)該線鋸的線與該基材之間的相互作用，其中該基材被研磨和切成晶片。目前的對(duì)基材進(jìn)行切片以制造晶片的方法常常在含有研磨劑的組合物中使用非水液體載體。典型的載體包括礦物油、煤油、聚乙二醇和聚亞烷基二醇的使用。這些載體的粘稠性質(zhì)容許研磨劑顆粒懸浮于組合物中并容許該組合物粘著于線鋸的線和/或基材上，這導(dǎo)致基材的更有效的機(jī)械研磨。然而，這樣的組合物通常含有高濃度的研磨劑，且由于它們?nèi)狈δz體穩(wěn)定性，研磨劑顆粒從溶液中沉降出來。非水組合物還對(duì)由在切片過程期間磨除的材料所引起的污染是相對(duì)敏感的，這導(dǎo)致研磨劑顆粒失去切片效率和附聚。另外， 由于差的熱性質(zhì)，非水組合物通常導(dǎo)致由線鋸切割過程由于摩擦所產(chǎn)生的熱的量增加，這又使線上的磨耗程度增加并使切片速率降低。降低線上的磨耗程度使得能夠使用具有較小直徑的線，所述較小直徑的線是合乎需要的，因?yàn)槠錅p小在切片期間損失的基材(即，截口 (kerf))的量。可提高切片性能的具有較長(zhǎng)保存期的組合物是合乎需要的。在線鋸切割操作期間，線以相對(duì)高的速度運(yùn)動(dòng)，這造成組合物在切片過程期間蒸發(fā)或干燥，導(dǎo)致硬的沉積物在線上的形成和線上的磨耗程度的增加。對(duì)于含水組合物，這是尤其有問題的。另外，組合物在線鋸切割操作期間的蒸發(fā)或干燥可降低該組合物的各種組分例如研磨劑的回收和再循環(huán)效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供用于使用線鋸對(duì)基材進(jìn)行切片的組合物，其包含(i)包含至少50重量％的水和0. 1重量％至20重量％的多元醇的液體載體，(ii)30重量％至60重量％的研磨劑，其懸浮于該液體載體中，和(iii)0.2重量％至10重量％的增稠劑。本發(fā)明還提供用于使用線鋸對(duì)基材進(jìn)行切片的組合物，其包含(i)包含至少50 重量％水和0. 1重量％至20重量％的一元醇的液體載體，(ii)30重量％至60重量％的研磨劑，其懸浮于該液體載體中，和(iii)選自以下的鹽氯化鈣、硫酸銨、硝酸鋁、和它們的組合。本發(fā)明進(jìn)一步提供對(duì)基材進(jìn)行切片的方法，該方法包括(i)使該基材與上述組合物中的任一種接觸，(ii)使該基材和該組合物與線鋸接觸，和(iii)在該組合物與該線鋸接觸時(shí)，使該線鋸相對(duì)于該基材運(yùn)動(dòng)以磨除該基材的至少一部分以將該基材切片。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明提供用于使用線鋸對(duì)基材進(jìn)行切片的組合物和使用線鋸對(duì)基材進(jìn)行切片的方法。
待切片的基材可為任何合適的基材。合適的基材可為例如硅、藍(lán)寶石、碳化硅、鍺、 鎵或陶瓷。優(yōu)選地，該基材為硅。該組合物包含液體載體和懸浮于該液體載體中的研磨劑。使用液體載體以便利于研磨劑和任何任選的添加劑向待切片的合適基材表面上的施加。該液體載體可為任何合適的溶劑，包括低級(jí)醇(例如，C1-Cf^i如甲醇、乙醇等)、 醚(例如，二嘈烷、四氫呋喃等)、水、油(例如，礦物油)、煤油、聚二醇(polyglycol)、聚乙二醇、聚亞烷基二醇(例如，聚丙二醇)、和它們的混合物。優(yōu)選地，該液體載體包含水與醇的混合物、基本上由水與醇的混合物組成、或者由水與醇的混合物組成。不希望受到任何特定理論的束縛，有可能非水液體載體的使用增加組合物的粘度，這提高該組合物粘著于線鋸和/或基材上的能力，導(dǎo)致基材的更有效的研磨。然而，非水液體載體的離子性質(zhì)也增加該組合物的膠體不穩(wěn)定性。切片過程期間所磨除的材料與懸浮于液體載體中的研磨劑顆粒附聚，這導(dǎo)致研磨劑顆粒失去切片效率并沉降出來。另外，具有差的熱性質(zhì)的非水液體載體的使用使在基材的切片期間由于摩擦所產(chǎn)生的熱的量增加。該液體載體可包含至少50重量％ (基于該液體載體的重量)的水(例如，至少60重量％、至少70重量％、至少80重量％、至少85重量％、或者至少90重量％的水)。可選擇地，或者另外，該液體載體可包含 98重量％或更少的水(例如，95重量％或更少、90重量％或更少、80重量％或更少、70重量％或更少、或者60重量％或更少的水)。因此，該液體載體可包含由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所界定的水量。例如，該液體載體可包含50重量％的水至98重量％的水(例如，50重量％至95重量％的水、60重量％至95重量％的水、或70重量％至95重量％的水)。該液體載體中包含的醇可為任何合適的醇。優(yōu)選地，該醇為多元醇或一元醇。該多元醇或一元醇可具有4個(gè)或更多個(gè)碳的碳鏈和/或至少2. 5 1的碳原子與氧原子之比。 例如，該多元醇可為二醇(即，二元醇)、甘油、聚乙二醇(PEG)、聚丙二醇(PPG)、1，6_己二醇、季戊四醇、或它們的組合。該一元醇可為例如1-己醇(正己醇)、1_辛醇、2-乙基己醇或2- 丁基-1-辛醇。該液體載體可包含至少0. 1重量％ (基于該液體載體的重量)的醇 (例如，至少0. 2重量％、至少0. 5重量％、至少1重量％、至少3重量％、至少5重量％、至少7重量％、至少10重量％、至少15重量％、或至少20重量％的醇)?？蛇x擇地，或者另外，該液體載體可包含25重量％或更少的醇(例如，20重量％或更少、17重量％或更少、15 重量％或更少、12重量％或更少、10重量％或更少、8重量％或更少、5重量％或更少、3重量％或更少、或者1重量％或更少的醇)。因此，該液體載體可包含由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所界定的醇量。例如，該液體載體可包含0. 1重量％的醇至25重量％的醇(例如，0. 1重量％至20重量％的醇、0. 1重量％至10重量％的醇、1重量％至15重量％的醇、或者1重量％至10重量％的醇)。該研磨劑典型地為顆粒形式(例如，研磨劑顆粒)且懸浮于該液體載體中。該研磨劑可為任何合適的研磨劑。例如，該研磨劑可為天然或合成的并且可包含下列物質(zhì)、基本上由下列物質(zhì)組成、或者由下列物質(zhì)組成氧化物、碳化物、氮化物、碳化硅等。該研磨劑也可為聚合物顆?；蚪?jīng)包覆的顆粒。優(yōu)選地，該研磨劑具有至少7. 5的莫氏(Mohs)硬度。該研磨劑典型地包括金屬氧化物顆粒。優(yōu)選地，該研磨劑選自碳化硅、金剛石、碳化硼、氧化鋁、和它們的組合。優(yōu)選地，該研磨劑為碳化硅。該研磨劑顆粒典型地具有0. 5微米至100微米的平均粒度(例如，平均粒徑)。該研磨劑顆粒可具有至少0. 1微米的平均粒度(例如，至少0.5微米、至少1微米、至少5微米、至少10微米、至少20微米、或至少50微米)?？蛇x擇地，或者另外，該研磨劑顆粒可具有500微米或更小的平均粒度(例如，300微米或更小、100微米或更小、50微米或更小、30 微米或更小、20微米或更小、10微米或更小、或者8微米或更小)。因此，該研磨劑可具有由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所界定的粒度。例如，該研磨劑顆粒具有1微米至100微米的平均粒度(例如，3微米至50微米、6微米至20微米、8微米至20微米、或者5微米至15微米)。該組合物中可存在任何合適量的研磨劑。該組合物可包含30重量％或更多(例如，40重量％或更多、或50重量％或更多) 的研磨劑?？蛇x擇地，或者另外，該組合物可包含90重量％或更少的研磨劑(例如，75重量％或更少、60重量％或更少、50重量％或更少、或者40重量％或更少的研磨劑)。因此， 該組合物可包含由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所限定的研磨劑量。例如，該組合物可包含30重量％至90重量％ (例如，35重量％至50重量％、或30重量％至60重量％ )的研磨劑。該組合物可進(jìn)一步包含鹽。例如，該鹽可為氯化鈣、硫酸銨、硝酸鋁、或它們的組合。該組合物可包含1重量％或更多(例如，5重量％或更多、或10重量％或更多)的鹽。 可選擇地，或者另外，該組合物可包含20重量％或更少(例如，10重量％、或5重量％或更少)的鹽。因此，該組合物可包含由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所界定的鹽量。例如，該組合物可包含1重量％至20重量％ (例如，1重量％至15重量％、或5重量％至20重量％ )的
Τττ . ο該組合物還可包含氧化劑，其可為用于待用線鋸和組合物切片的基材的一種或多種材料的任何合適的氧化劑。例如，該氧化劑可為過氧基化合物或含鹵素的氧化劑。典型地，該氧化劑選自過氧化氫、過碳酸鹽、漂白劑、氯、過溴酸鹽、臭氧、和它們的組合。優(yōu)選地，該氧化劑為過氧化氫。該氧化劑可以任何合適的量存在于該組合物中。該組合物可包含0. 005重量％或更多(例如，0. 01重量％或更多、0. 05重量％或更多、0. 1重量％或更多、 0. 5重量％或更多、1重量％或更多、或者5重量％或更多)的氧化劑?？蛇x擇地，或者另外， 該組合物可包含20重量％或更少(例如，10重量％或更少、5重量％或更少、3重量％或更少、1重量％或更少、或者0.5重量％或更少)的氧化劑。因此，該組合物可包含由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所界定的氧化劑量。例如，該組合物可包含0. 005重量％至10重量％ (例如， 0. 01重量％至10重量％、0. 01重量％至5重量％、0. 1重量％至3重量％、或者1重量％至 5重量％ )的氧化劑。該組合物也可包含氧化促進(jìn)劑，其可為提高該氧化劑的效力的任何合適的化合物。例如，該氧化促進(jìn)劑可為降低待用線鋸和組合物切片的基材的一種或多種材料被氧化劑氧化的活化能的催化劑。例如，該氧化促進(jìn)劑可為金屬、有機(jī)分子或自由基。典型地，該氧化促進(jìn)劑選自銅、鉬、釕、銠、醌、2，2，6，6-四甲基-哌啶-1-氧基、和它們的組合。該金屬可為元素或離子形式。該氧化促進(jìn)劑可以任何合適的量存在于該組合物中。該組合物可包含0. 01重量％或更多(例如，0. 1重量％或更多、0. 5重量％或更多、1重量％或更多、3重量％或更多、或者5重量％或更多)的氧化促進(jìn)劑?？蛇x擇地，或者另外，該組合物可包含 20重量％或更少(例如，10重量％或更少、5重量％或更少、3重量％或更少、或者1重量％ 或更少)的氧化促進(jìn)劑。因此，該組合物可包含由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所界定的氧化促進(jìn)劑量。例如，該組合物可包含0.05重量％至20重量％ (例如，0. 1重量％至10重量％、0. 1重量％至5重量％、0. 1重量％至3重量％、或者0. 1重量％至1重量％ )的氧化促進(jìn)劑。該組合物可進(jìn)一步包含增稠劑，其可為任何合適的增稠劑。優(yōu)選地，該增稠劑為非離子型聚合物，例如纖維素化合物(例如，羥乙基纖維素)或聚(亞烷基氧化物)材料(例如，聚(乙二醇)、環(huán)氧乙烷-環(huán)氧丙烷共聚物等)。優(yōu)選地，該增稠劑具有大于20，000道爾頓(Da)、更優(yōu)選至少50，OOODa (例如，50，000至150，OOODa)的數(shù)均分子量，因?yàn)檩^低分子量的材料作為增稠劑趨于不太有效。該增稠劑可以任何合適的量存在于該組合物中。該組合物可包含0. 05重量％或更多(例如，0. 1重量％或更多、0. 5重量％或更多、1重量％或更多、或者51重量％或更多)的增稠劑?？蛇x擇地，或者另外，該組合物可包含30重量％ 或更少(例如，20重量％或更少、10重量％或更少、5重量％或更少、或者1重量％或更少) 的增稠劑。因此，該組合物可包含由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所界定的增稠劑量。例如，該組合物可包含0. 05重量％至20重量％ (例如，0. 5重量％至20重量％、0. 2重量％至10重量％、0. 5重量％至5重量％、或者1重量％至5重量％ )的增稠劑。該組合物可進(jìn)一步包含抗干燥劑，其可為任何合適的抗干燥劑。沒有限制地，該抗干燥劑可為炔醇胺或聚丙烯酸鹽(酯)。優(yōu)選的抗干燥劑為三乙醇胺和聚丙烯酸鈉。該抗干燥劑可以任何合適的量存在于該組合物中。該組合物可包含0.05重量％或更多(例如， 0. 1重量％或更多、0. 5重量％或更多、1重量％或更多、或者20重量％或更多)的抗干燥劑?？蛇x擇地，或者另外，該組合物可包含30重量％或更少(例如，20重量％或更少、10重量％或更少、5重量％或更少、或者1重量％或更少)的抗干燥劑。因此，該組合物可包含由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所界定的抗干燥劑量。例如，該組合物可包含0. 05重量％至20重量％ (例如，0. 5重量％至20重量％、0. 2重量％至10重量％、0. 5重量％至5重量％、或者 1重量％至5重量％ )的抗干燥劑。優(yōu)選地，該抗干燥劑以0. 5重量％至20重量％的量存在于該組合物中。該組合物可具有任何合適的粘度。該組合物的粘度可為至少20cp(例如，至少 40cp、至少60cp、至少80cp、至少lOOcp、至少130cp、或至少150cp)。可選擇地，或者另外，該組合物的粘度可為500cp或更少(例如，400cp或更少、350cp或更少、300cp或更少、200cp 或更少、175cp或更少、或者150cp或更少)。因此，該組合物可具有由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所界定的粘度。例如，該組合物的粘度可為20cp至500cp (例如，60cp至400cp、100cp至 400cp、150cp 至 400cp、150cp 至 350cpU70cp 至 320cp、或者 200cp 至 300cp)。該組合物可具有任何合適的pH。該組合物可具有10或更小(例如，8或更小)的 pH?？蛇x擇地，或者另外，該組合物可具有3或更大(例如，5或更大)的pH。因此，該組合物可具有由以上端點(diǎn)中的任何兩個(gè)所界定的PH。例如，該組合物可具有3至10 (例如，5至 8)的 pH。該研磨劑合意地懸浮于該組合物中，更具體地懸浮于該組合物的液體載體中。當(dāng)該研磨劑懸浮于該組合物中時(shí)，該研磨劑優(yōu)選是膠體穩(wěn)定的。術(shù)語膠體是指研磨劑顆粒在液體載體中的懸浮液。膠體穩(wěn)定性是指該懸浮液隨時(shí)間的保持性。在本發(fā)明的上下文中，如果在將研磨劑在液體載體中的懸浮液置于100毫升量筒內(nèi)并使其無攪動(dòng)地靜置2小時(shí)時(shí)， 量筒底部50毫升中的顆粒濃度([B]，以克/毫升表示)與量筒頂部50毫升中的顆粒濃度 ([T]，以克/毫升表示)之間的差除以拋光組合物中顆粒的初始濃度([C]，以克/毫升表示)小于或等于0. 5 (即，{[B]-[T]}/[C] ^ 0. 5)，則認(rèn)為該研磨劑是膠體穩(wěn)定的。[B]-[T]/ [C]的值合意地小于或等于0. 3，且優(yōu)選小于或等于0. 1。該組合物可包含單獨(dú)的或者與下列任選組分中的一種或多種組合的前述組分、基本上由單獨(dú)的或者與下列任選組分中的一種或多種組合的前述組分組分組成、或者由單獨(dú)的或者與下列任選組分中的一種或多種組合的前述組分組成。該組合物可任選地進(jìn)一步包含一種或多種表面活性劑和/或流變控制劑，包括促凝劑(例如，聚合物流變控制劑諸如氨基甲酸酯聚合物)。合適的表面活性劑可包括例如陽離子型表面活性劑、陰離子型表面活性劑、非離子型表面活性劑、兩性表面活性劑、它們的混合物等。優(yōu)選地，該組合物包含非離子型表面活性劑。合適的非離子型表面活性劑的一個(gè)實(shí)例為乙二胺聚氧乙烯表面活性劑。該組合物中表面活性劑的量典型地為0. 0001重量％ 至1重量％ (優(yōu)選0. 001重量％至0. 1重量％和更優(yōu)選0. 005重量％至0. 05重量％ )。該組合物任選地進(jìn)一步包含一種或多種其它添加劑。這樣的添加劑包括包含一個(gè)或多個(gè)丙烯酸類子單元的丙烯酸酯(例如，乙烯基丙烯酸酯和苯乙烯丙烯酸酯)及其聚合物、共聚物和低聚物、和它們的鹽。該組合物可包含一種或多種消泡劑。該消泡劑可為任何合適的消泡劑。合適的消泡劑包括，但不限于，基于硅和基于炔二醇的消泡劑。該組合物中消泡劑的量典型地為 IOppm 至 140ppmo該組合物可包含一種或多種殺生物劑。該殺生物劑可為任何合適的殺生物劑，例如異噻唑啉酮?dú)⑸飫Ｔ摻M合物中殺生物劑的量典型地為1至50ppm、優(yōu)選10至20ppm。該組合物可通過任何合適的技術(shù)制備，其中的許多是本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的。該組合物可以間歇或連續(xù)方法制備。通常，該組合物可通過將其組分以任意順序組合而制備。 本文中使用的術(shù)語“組分”包括單獨(dú)的成分(例如，研磨劑、氧化劑、增稠劑、殺生物劑等)以及各成分(例如，研磨劑、氧化劑、增稠劑、殺生物劑等)的任意組合。該組合物可作為包含例如研磨劑、液體載體和任選的氧化劑的單包裝體系提供。 或者，例如，氧化劑可以干燥形式或者作為在液體載體中的溶液或分散體提供在第一容器中，且研磨劑、液體載體和其它添加劑可提供在第二容器中。將氧化劑與組合物的其它組分分開提供是優(yōu)選的，因?yàn)槠淙菰S將氧化劑在切片過程期間的任何時(shí)刻添加至該組合物中。 例如，可將氧化劑在切片過程開始之前、在切片過程期間、或者在切片過程完成之后添加至組合物中。穩(wěn)定氧化劑的使用容許該氧化劑與組合物的其它組分一起提供在容器中，因?yàn)槠洳惶赡芘c所述其它組分反應(yīng)。該方法可顯著降低制備和使用該組合物的成本。可將任選的組分例如一種或多種殺生物劑以干燥形式或作為在液體載體中的溶液的形式置于第一和/或第二容器中或置于第三容器中。此外，第一和第二容器中的組分具有不同的PH值、或者具有基本上類似或甚至相等的pH值是合適的。若任選的組分為固體，則其可以干燥形式或作為在液體載體中的混合物提供。所述任選的組分可與組合物的其它組分分開提供并例如由最終的使用者在使用前不久(例如，在使用前1周或更短時(shí)間、 在使用前1天或更短時(shí)間、在使用前1小時(shí)或更短時(shí)間、在使用前10分鐘或更短時(shí)間、或者在使用前1分鐘或更短時(shí)間)與該組合物的其它組分組合。該組合物的組分的其它兩個(gè)容器或者三個(gè)或更多個(gè)容器的組合在本領(lǐng)域技術(shù)人員的知識(shí)范圍內(nèi)。該組合物還可作為濃縮物提供，該濃縮物意圖在使用之前用適量的液體載體進(jìn)行稀釋。在這樣的實(shí)施方式中，該組合物濃縮物可包含研磨劑、液體載體和任選的氧化劑和/ 或增稠劑，其量使得在用適量的液體載體稀釋該濃縮物后，各組分將以在上文針對(duì)各組分所述的合適范圍內(nèi)的量存在于組合物中。例如，各組分可以上文針對(duì)組合物中各組分所述濃度的2倍(例如，3倍、4倍或5倍)大的量存在于該濃縮物中，使得當(dāng)用適當(dāng)體積的液體載體(例如，分別以2份等體積的液體載體、3份等體積的液體載體、或4份等體積的液體載體)稀釋濃縮物時(shí)，各組分將以在上文針對(duì)各組分所述的范圍內(nèi)的量存在于組合物中。此外，如本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的，該濃縮物可含有適當(dāng)分?jǐn)?shù)的存在于最終組合物中的液體載體，以確保研磨劑和其它合適的添加劑至少部分地或全部地溶解或懸浮于該濃縮物中。 此外，氧化劑可從該濃縮物中省去以稍后以合適的量與液體載體一起添加以形成組合物使得各組分以在上文中對(duì)各組分所闡述的范圍內(nèi)的量存在。本發(fā)明進(jìn)一步提供對(duì)基材進(jìn)行切片的方法。該方法包括(i)使該基材與本文中所述的組合物接觸，(ii)使該基材和該組合物與線鋸接觸，和(iii)在該組合物與該線鋸接觸時(shí)，使該線鋸相對(duì)于該基材運(yùn)動(dòng)以磨除該基材的至少一部分以將該基材切片?？墒褂帽景l(fā)明的組合物和方法以任何合適的線鋸對(duì)基材進(jìn)行切片。該線鋸包含細(xì)線的網(wǎng)，所述細(xì)線利用一系列線軸和滑輪進(jìn)行布置使得所述線是平行的。所述線之間的距離可為任何合適的距離，但典型地為0. Imm至1. 5mm。所述線的直徑可為任何合適的直徑， 但所述線典型地具有0. 08至0. 2mm的直徑。該線鋸的線部分可為任何合適的材料，但優(yōu)選包含鐵和鐵合金、基本上由鐵和鐵合金組成、或者由鐵和鐵合金組成。使基材受壓抵靠著該線網(wǎng)，同時(shí)將組合物連續(xù)地供應(yīng)至該區(qū)域。使該線鋸相對(duì)于該基材運(yùn)動(dòng)，且懸浮于該組合物中的研磨劑粘著于該線鋸上并且促進(jìn)該線鋸的線與該基材之間的相互作用，以磨除該基材的至少一部分并將其切成晶片。以下實(shí)施例進(jìn)一步說明本發(fā)明，但當(dāng)然不應(yīng)解釋為以任何方式限制其范圍。實(shí)施例該實(shí)施例展示各種組分對(duì)組合物的保水性、清潔性(cleanability)和沉降性質(zhì)的影響。制備含有50重量％碳化硅、4重量％羥乙基纖維素和46重量％水的組合物。將該組合物分成18種不同的組合物(組合物A-R)，向其中如表1中所列加入不同類型和量的醇和/或鹽。利用沉降試驗(yàn)(7天)、落鏟(drop spatula)試驗(yàn)(7天)、刮擦(scratch)試驗(yàn)和超聲(40秒)試驗(yàn)對(duì)所述組合物中的每一種進(jìn)行評(píng)估。進(jìn)行落鏟和沉降試驗(yàn)以測(cè)試漿料的可懸浮性和其在沉降之后再分散的容易程度。進(jìn)行刮擦和超聲試驗(yàn)以研究漿料的清潔性和干燥能力。落鏟試驗(yàn)通過使鏟落到容納正被測(cè)試的漿料的量筒中來進(jìn)行。在試驗(yàn)之前，已讓該漿料在該量筒中沉降了 7天。在該試驗(yàn)中，若無硬的沉淀物，則該鏟將下落至該量筒的底部。進(jìn)行目視分析以確定該鏟是否接觸該量筒的底部，并評(píng)估該鏟在該量筒中的沉降位置。 大的硬沉降研磨劑層表明與沉降后的再分散有關(guān)的問題。沉降試驗(yàn)通過視覺觀察已在量筒中沉降7天的漿料中的澄清液體層來進(jìn)行。數(shù)值越高，則漿料沉降得越多。刮擦通過將等分的(an aliquot of)漿料置于玻片上且然后進(jìn)行干燥來進(jìn)行。M小時(shí)后，使用棉簽擦去干燥的漿料。漿料干燥度通過擦掉的容易度定性地測(cè)量。然后在來自干燥漿料試驗(yàn)的相同玻片上進(jìn)行超聲試驗(yàn)。在40秒的超聲后，檢查玻片上的任何殘留漿料。容易清潔的漿料在超聲之后從玻片清潔掉。結(jié)果總結(jié)于表1中。表 權(quán)利要求
1.用于使用線鋸對(duì)基材進(jìn)行切片的組合物，包含(i)液體載體，其包含基于該液體載體重量的至少50重量％的水和0.1重量％至20重量％的多元醇；(ii)30重量％至60重量％的研磨劑，其懸浮于該液體載體中；和(iii)0.2重量％至10重量％的增稠劑。
2.權(quán)利要求1的組合物，其中該多元醇選自甘油、聚乙二醇、1，6_己二醇、季戊四醇、或它們的組合。
3.權(quán)利要求1的組合物，其中該多元醇具有至少2.5 1的碳原子與氧原子之比。
4.權(quán)利要求1的組合物，其中該組合物進(jìn)一步包含氧化劑。
5.權(quán)利要求1的組合物，其中該增稠劑為非離子型聚合物。
6.權(quán)利要求1的組合物，其中該研磨劑選自碳化硅、二氧化硅、氧化鋁、和它們的組合。
7.權(quán)利要求1的組合物，其中該組合物進(jìn)一步包含氯化鈣、硫酸銨、硝酸鋁、或它們的組合。
8.用于使用線鋸對(duì)基材進(jìn)行切片的組合物，包含(i)包含至少50重量％的水和選自一元醇或鹽的至少一種添加劑的液體載體，其中該一元醇以0. 1重量％至20重量％存在于該液體載體中，且該鹽選自氯化鈣、硫酸銨、硝酸鋁、和它們的組合；和(ii)30重量％至60重量％的懸浮于該液體載體中的研磨劑。
9.權(quán)利要求8的組合物，其中該一元醇具有4個(gè)或更多個(gè)碳的碳鏈。
10.權(quán)利要求9的組合物，其中該具有4個(gè)或更多個(gè)碳的碳鏈的一元醇為1-己醇、1-辛醇、2-乙基己醇或2- 丁基-1-辛醇。
11.權(quán)利要求8的組合物，其中該一元醇具有至少2.5 1的碳原子與氧原子之比。
12.權(quán)利要求8的組合物，其中該組合物進(jìn)一步包含氧化劑。
13.權(quán)利要求8的組合物，其中該研磨劑選自碳化硅、二氧化硅、氧化鋁、和它們的組合 O
14.權(quán)利要求8的組合物，其中該組合物進(jìn)一步包含增稠劑。
15.權(quán)利要求14的組合物，其中該增稠劑為非離子型聚合物。
16.對(duì)基材進(jìn)行切片的方法，該方法包括 (i)使該基材與包含下列物質(zhì)的組合物接觸(a)液體載體，其含有基于該液體載體重量的至少50重量％的水和0.1重量％至20重量％的多元醇；(b)30重量％至60重量％的研磨劑，其懸浮于該液體載體中；和(c)0.2重量％至10重量％的增稠劑， ( )使該基材和該組合物與線鋸接觸，和(iii)在該組合物與該線鋸接觸時(shí)，使該線鋸相對(duì)于該基材運(yùn)動(dòng)以磨除該基材的至少一部分以將該基材切片。
17.權(quán)利要求16的方法，其中該多元醇為甘油、聚乙二醇、1，6_己二醇、季戊四醇、或它們的組合。
18.權(quán)利要求16的方法，其中該多元醇具有4個(gè)或更多個(gè)碳的碳鏈。
19.權(quán)利要求16的方法，其中該多元醇具有至少2.5 1的碳原子與氧原子之比。
20.權(quán)利要求16的方法，其中該組合物進(jìn)一步包含氧化劑。
21.權(quán)利要求16的方法，其中該增稠劑為非離子型聚合物。
22.權(quán)利要求16的方法，其中該組合物進(jìn)一步包含氯化鈣、硫酸銨、硝酸鋁、或它們的組合。
全文摘要
本發(fā)明提供用于使用線鋸對(duì)基材進(jìn)行切片的組合物，其中該組合物包含液體載體和研磨劑。本發(fā)明進(jìn)一步提供使用線鋸和組合物對(duì)基材進(jìn)行切片的方法。
文檔編號(hào)H01L21/301GK102257602SQ200980151101
公開日2011年11月23日 申請(qǐng)日期2009年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月20日
發(fā)明者K.莫根伯格, N.納吉布, S.格倫比尼 申請(qǐng)人:嘉柏微電子材料股份公司