專利名稱：線鋸裝置和在線鋸切割期間連續(xù)去除磁性雜質(zhì)的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于去除在線鋸切割過程期間產(chǎn)生的磁性或磁化污染物的方法。
背景技術(shù)：
線鋸切割是用于將晶錠切成薄的晶片以用在集成電路和光伏(PV)工業(yè)中的主要方法。該方法還通常用于將其它材料的基材如藍(lán)寶石、碳化硅或陶瓷基材切成薄片。線鋸典型地具有細(xì)金屬線的網(wǎng)或線網(wǎng)(Wireweb)，其中單獨(dú)的線具有約0. 15mm的直徑且通過一系列線軸、滑輪和線導(dǎo)向器(wire guide)以0. 1至1. Omm的距離彼此平行布置。切片或切割通過使工件(例如，晶錠)與其上已施加研磨漿料的移動的線接觸而完成。常規(guī)的線鋸研磨漿料典型地包含通過以1 1的重量比混合而組合的載體和研磨劑顆粒。載體為提供潤滑和冷卻的液體，如礦物油、煤油、聚乙二醇、聚丙二醇或其它聚亞烷基二醇。液體載體還使研磨劑保持在線上使得研磨劑可接觸工件。研磨劑典型地為硬質(zhì)材料如碳化硅顆粒。線鋸切割過程為間歇過程，其中固定體積的漿料自存儲罐(holding tank)連續(xù)地再循環(huán)并使用噴嘴供應(yīng)至接近正被切割的工件的線網(wǎng)。在該過程期間，來自切去的部分 (cut)(包括截口(kerf))的廢料逐漸累積在漿料中，該漿料最終失去性能。用過的漿料被處理和分離成其成分(即研磨劑和載體)?；厥帐褂脤τ谠摬僮鞯慕?jīng)濟(jì)效果來說是重要的。用過的漿料的一種組分為磁性或可磁化的雜質(zhì)，其主要由線鋸切割過程期間所造成的線磨損而產(chǎn)生。這樣的雜質(zhì)可與漿料中的組分和截口物質(zhì)相互作用，導(dǎo)致粘度變化、PH 變化、溫度變化、添加劑的分解、粒度分布變化或漿料的其它變化。因此，磁性或可磁化的雜質(zhì)的積累導(dǎo)致切割性能隨時間的惡化。美國專利No. 6，264, 843描述了用于回收使用機(jī)械加工期間產(chǎn)生的切割流體懸浮液的間歇方法。所描述的方法首先分離含有研磨劑的部分且然后使用磁力分離器去除磨除的材料。該回收的流體與新鮮漿料一起重新配制(reconstitute)并返回至切割過程。美國專利No. 6，443，143描述了使用不含研磨劑的切割流體切割稀土合金的方法。在所描述的方法中，利用離心作用和磁力分離器去除千克量的稀土合金截口物質(zhì)。由于在用過的流體中不含研磨劑，因此該方法被設(shè)計成去除大量的固體物。盡管間歇過程對于工業(yè)是可接受的，但更換漿料使線鋸切割過程變慢且需要更多次的工具啟動，其可對設(shè)備造成壓力。另外，從用過的含有相對大量的研磨材料和相對少量的污染物的切割流體中去除污染物而不進(jìn)行昂貴的間歇過程是困難的挑戰(zhàn)。因此，取得其中污染物去除是連續(xù)的線鋸切割操作將是有利的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供在線鋸切割過程期間從線鋸切割漿料中去除磁性或磁化污染物的方法。該方法包括以下步驟將研磨漿料從再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)施加至移動的線鋸；使用該移動的線鋸和所施加的研磨漿料切割工件；將使用過的研磨漿料從該工件輸送回該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中；將該漿料的至少一部分傳送通過磁力分離器以從該漿料中去除磁性或磁化污染物；和將傳送通過該磁力分離器的漿料排出回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的循環(huán)中。本發(fā)明還提供線鋸切割裝置。該裝置包括適合于固定工件的安裝和支撐頭 (mount and support head)；線鋸，其相對于該安裝和支撐頭定位使得在操作時該工件可與該線鋸接觸；定位和適合用于將線鋸切割漿料從再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)施加至該線鋸的施加區(qū)域；和線鋸漿料出口(流出，egress)區(qū)域，其適合于引導(dǎo)漿料離開該線鋸和所安裝的工件并回到漿料流動路徑中。該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)限定該漿料流動路徑。該再循環(huán)分配系統(tǒng)包括用于從漿料中去除磁性或可磁化的污染物的磁力分離器，其中該磁力分離器包括容許漿料的至少一部分進(jìn)入到該磁力分離器中的入口和容許經(jīng)純化的漿料排出回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的再循環(huán)中的出口。


圖1顯示在本發(fā)明中使用的組件中的一些。圖2顯示線鋸切割裝置，其中再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括收集器、磁力分離器、漿料罐、泵和熱交換器。圖3顯示具有磁力分離器的線鋸切割裝置。圖4顯示具有磁力分離器的線鋸切割裝置，其中從該磁力分離器排出的漿料在位于再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中漿料物流離開該磁力分離器的位置與該系統(tǒng)中漿料被施加到線鋸上的位置之間的該系統(tǒng)中的位置處加回到循環(huán)中。圖5顯示具有磁力分離器的線鋸切割裝置，其中從該磁力分離器排出的漿料在位于再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中漿料物流離開該磁力分離器的位置與該系統(tǒng)中使用過的漿料從工件輸出的位置之間的該系統(tǒng)中的位置處加回到循環(huán)中。圖6顯示包括兩個并聯(lián)布置的磁力分離器的線鋸切割裝置，其中漿料流可分流至所述磁力分離器的一個、兩個或全部兩個中。圖7顯示包括兩個串聯(lián)布置的磁力分離器的線鋸切割裝置。圖8顯示具有磁力分離器的線鋸切割裝置，其中再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括收集器，且該磁力分離器部分地浸在該收集器中。圖9顯示具有磁力分離器的線鋸切割裝置，其中該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括收集器以收集來自工件的使用過的漿料以分流至該磁力分離器中，并且包括漿料罐，該漿料罐用作漿料的貯存器和從該磁力分離器排出的漿料的接收器。圖10顯示具有磁力分離器的線鋸切割裝置，其中再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括漿料罐且該磁力分離器部分地浸在該漿料罐中。圖11顯示具有磁力分離器的線鋸切割裝置，其中該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括熱交換器。圖12顯示本發(fā)明中使用的組件，其中在線鋸處于操作中時，從再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中取出磁力分離器以進(jìn)行清潔。圖13顯示具有磁力分離器的線鋸切割裝置，其中再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括漿料罐和分離器漿料回路，該分離器漿料回路適合于將漿料從該漿料罐輸送通過該磁力分離器和回到該漿料罐。圖14顯示具有磁力分離器的線鋸切割裝置，其中再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括漿料罐和熱交換器漿料回路，該熱交換器漿料回路適合于將漿料從該漿料罐輸送通過該熱交換器和回到該漿料罐。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明提供在線鋸切割過程期間從線鋸切割漿料中去除磁性或磁化污染物的方法。該方法包括以下步驟將研磨漿料從再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)施加至移動的線鋸；使用該移動的線鋸和所施加的研磨漿料切割工件；將使用過的研磨漿料從該工件輸送回該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中；將該漿料的至少一部分傳送通過磁力分離器以從該漿料中去除磁性或磁化污染物；和將傳送通過該磁力分離器的漿料排出回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的循環(huán)中。本發(fā)明還提供線鋸切割裝置。該裝置包括適合于固定工件的安裝和支撐頭；線鋸，其相對于該安裝和支撐頭定位使得在操作時該工件可與該線鋸接觸；定位和適合用于將拋光漿料從再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)施加至該線鋸的施加區(qū)域；和線鋸漿料出口區(qū)域，其適合于引導(dǎo)漿料離開該線鋸和所安裝的工件并回到漿料流動路徑中。該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)限定漿料流動路徑，并且包括用于從漿料中去除磁性或可磁化的污染物的磁力分離器。該磁力分離器包括容許漿料的至少一部分進(jìn)入到該磁力分離器中的入口和容許經(jīng)處理的漿料排出回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的再循環(huán)中的出口。圖1提供本發(fā)明的方法中所使用的線鋸切割系統(tǒng)10的多種組件的示意圖。如本發(fā)明中所利用的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)12包括磁力分離器14。使用再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)12， 研磨漿料流到線鋸和工件16上，然后流動離開線鋸和工件16完成漿料再循環(huán)回路。該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括磁力分離器。該磁力分離器包括至少一個(例如，至少2個、至少3個或至少4個)入口和至少一個(例如，至少2個、至少3個或至少4個)出口使得漿料可流入到該磁力分離器的內(nèi)部和從該磁力分離器的內(nèi)部流出。該分離器的內(nèi)部包括布置以在漿料流動通過該分離器時從該漿料中吸引并固定磁性或磁化材料的永磁體和/或電磁體。該入口和出口可包括連續(xù)的網(wǎng)，如由金屬線制成的篩網(wǎng)。例如，該入口和出口可包括限定所述磁體可定位在其中的內(nèi)部空間的籃狀的連續(xù)的網(wǎng)。優(yōu)選地，所述磁體是可移動的(可拆卸的，removable)?；蛘?，該入口、出口和內(nèi)部空間可與該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)的其它組件完全一體化。例如，該入口、出口和內(nèi)部空間可為一根連續(xù)的管，在其中布置所述磁體以在漿料流的路徑中形成磁力分離器。作為另外的實(shí)例，該入口和出口可適合于容許漿料流動通過較大的內(nèi)部空間如罐或桶，且所述磁體可經(jīng)由進(jìn)入孔或開口置于該罐或桶中。該磁力分離器的用途為至少部分地留住可存在于研磨漿料中的磁性或磁化雜質(zhì)， 而流動通過該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)的其它漿料組分是相對不受阻礙的。一些示例性的市售磁力分離器為 ELECTRO FERRO FILTER Model EVP/E (Magnet Industries Cal Pvt. Ltd.), PERMANENT FERRO FILTER Model PVP/R(Magnet Industries Cal Pvt. Ltd.)禾口 SUPER B FERROUS TRAPS(Eriez Magnetics)。當(dāng)線鋸切割裝置處于操作中時，再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括在由圖2至11中的箭頭所示方向上的漿料流。在線鋸的示意圖上的箭頭表示線鋸的移動。線鋸的移動方向在線鋸的操作期間可反轉(zhuǎn)。漿料的流動方向在線鋸的操作期間典型地不反轉(zhuǎn)。在再循環(huán)分配系統(tǒng)中，所述流可通過分流器(diverter)分流或在接合器(junction)處合并。分流器容許漿料流進(jìn)入一端且進(jìn)入的全部漿料流被分成至少兩股單獨(dú)的漿料流。接合器可將在再循環(huán)分配系統(tǒng)中流動的多于一股的漿料合并成單一的流。例如，分流器和接合器可為T形或Y形的管，漿料流動通過所述T形或Y形的管并分別由一股流分成兩股流或者兩股流合并成一股流。再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中的流量典型地為2000kg/h至8000kg/h (例如，3000kg/h 至6000kg/h)。取決于該具體實(shí)施方式
，通過磁力分離器的流量可為再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)流量的0%或更大(例如，10%或更大、20%或更大、30%或更大、40%或更大、50%或更大、 100%或更大、200%或更大、300%或更大、400%或更大、或者500%或更大)。取決于該具體實(shí)施方式
，通過磁力分離器的流量典型地為再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)流量的1000%或更小 (例如，900 %或更小、800 %或更小、700 %或更小、600 %或更小、500 %或更小、90 %或更小、 80%或更小、70%或更小、60%或更小、或者50%或更小)。再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)還可包括收集器。收集器典型地為將漿料從工件輸送回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的循環(huán)中的表面。例如，收集器可為容器，其包括定位以收集從線鋸流出或滴下的漿料的敞開頂部且具有用于使?jié){料流出的出口或排放口。該出口可位于底部、側(cè)面或者可包括浸在來自收集器頂部的經(jīng)收集的漿料中的管或虹吸管。收集器可以多種不同的方式成形(configure)。例如，收集器可為漏斗狀、圓錐體狀、菱錐形的或?yàn)榘肭蛐蔚臍?。收集器也可為一個或多個形成角度以將漿料引導(dǎo)至再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的漿料罐中的表面。再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)可包括漿料罐和一個或多個泵，如果需要的話。漿料罐提供用于漿料的貯存器且典型地位于泵的上游。漿料罐典型地具有攪拌器或攪動器以幫助防止?jié){料的固體組分在工具的操作期間或在工具空轉(zhuǎn)時的沉降。再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)可包括熱交換器。熱交換器可位于再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中的任何位置。熱交換器也可在組件例如漿料罐、收集器、泵和磁力分離器之中、周圍、或者與其一體化。典型的配置是熱交換器定位為獨(dú)立的再循環(huán)系統(tǒng)，其包括獨(dú)立的泵，其中該獨(dú)立的再循環(huán)系統(tǒng)交換漿料罐內(nèi)的漿料。熱交換器可用于冷卻或加熱漿料。例如，如果對于線鋸裝置的合適操作，粘度太高的話，則加熱漿料可用于降低漿料的粘度?；蛘撸?，如果對于線鋸裝置的合適操作，粘度太低的話，則冷卻漿料可用于提高漿料的粘度。漿料的溫度還可影響漿料組分的分解速率。降低或提高漿料的溫度還可影響磁化附聚物的形成動力學(xué)，且因此磁力分離器的效率可受熱交換器的使用的影響。因此，希望控制漿料的溫度。再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)可包括一個或多個收集器、一個或多個漿料罐、一個或多個泵以及一個或多個熱交換器或它們的任何組合。再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)可進(jìn)一步包括用于在各個組件之間輸送漿料的管路(plumbing)。該管路典型地包括使?jié){料流收縮至一個維度的結(jié)構(gòu)，如管或管道。在重力使?jié){料流動通過再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)時，該管路可包括更開闊的結(jié)構(gòu)例如槽。該管路甚至可在管中包括開口，其容許漿料注入到再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)的另外的組件如漿料罐中?；蛘撸?，在再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)的其中流動為水平的部分中，該管路可由槽組成。當(dāng)本發(fā)明的線鋸裝置處于操作中時，固定至安裝和支撐頭的工件受壓抵靠著移動的線鋸，同時漿料被供應(yīng)至該線鋸。該線鋸具有兩個或多個線導(dǎo)向輥，它們的軸彼此平行布置且線被引導(dǎo)圍繞它們一次或多次。典型地，線鋸具有三個線導(dǎo)向輥，且線被多次引導(dǎo)圍繞該線導(dǎo)向器產(chǎn)生線網(wǎng)。具有多于3個線導(dǎo)向器的配置可用在本發(fā)明的方法中。該線鋸?fù)ㄟ^線導(dǎo)向輥的旋轉(zhuǎn)而移動，所述線導(dǎo)向輥的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致線的截面在縱向方向上移動。移動的方向可在操作期間改變或者在恒定方向上。例如，在切割過程期間，該方向可從一個方向變動至下一方向。用在本發(fā)明的線鋸中的線可由本領(lǐng)域中已知的任何合適的材料制成。典型地，該線具有0. Olmm或更大(例如，0. 05mm或更大、0. Imm或更大、或者0. 15mm或更大)的厚度。 典型地，該線具有0. 5mm或更小(例如，0. 4mm或更小、0. 3mm或更小、0. 25mm或更小、或者 0.2mm或更小)的厚度。典型地，該線由硬質(zhì)拉制鋼制造。或者，該線可由一種或多種合金如含有i^、Ni、Cr、Mo和/或W的合金制成。由于該線在切割操作期間磨損，因此磨損的材料與再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中的漿料一起再循環(huán)并將其污染。將已施加至線鋸的漿料的至少一部分傳送通過磁力分離器以從漿料中去除由于線鋸的線的磨損而可能存在的磁性或可磁化的雜質(zhì)。如本文中和所附權(quán)利要求中所使用的，術(shù)語“磁性材料”涵蓋呈現(xiàn)永磁性或者為鐵磁性的那些材料，如鐵氧體赤鐵礦(Fe2O3)或磁鐵礦(Fe3O4)15術(shù)語“可磁化的材料”涵蓋呈現(xiàn)順磁性(如鐵)且因此被磁場吸引的材料。 通過磁力分離器去除的材料的僅一部分需要為磁性的或可磁化的。例如，抗磁性漿料組分可與磁性或可磁化的雜質(zhì)結(jié)合，且該組合可通過磁力分離器去除。特別地，一種或多種研磨劑顆粒可與磁性或可磁化的雜質(zhì)附聚，且該附聚物可通過磁力分離器去除。優(yōu)選地，磁性材料包括鐵。優(yōu)選地，在磁力分離器需要進(jìn)行再生(regenerate)或清潔之前，在工件的切割操作期間，流動通過磁力分離器的漿料中至少10重量％ (例如，至少20重量％、至少30重量％、至少40重量％或至少50重量％)的磁性或可磁化的雜質(zhì)被去除。磁力分離器去除磁性或可磁化的雜質(zhì)的效率取決于多種因素，包括通過磁力分離器的流量、磁力分離器的類型、磁力分離器中磁性或可磁化的雜質(zhì)的負(fù)荷量和磁力分離器在再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中的布置。磁力分離器的再生通常包括以下之一或以下的組合使用水溶液洗滌磁力分離器、 攪動磁力分離器、使高壓氣體吹過磁力分離器和使磁力分離器去磁?？赏ㄟ^磁力分離器去除的磁性或可磁化的雜質(zhì)也可來自除所述線之外的來源。例如，磁性或可磁化的雜質(zhì)可由于鐵磁性或順磁性的工件而來自截口材料，或者可為工件中的鐵磁性或順磁性的雜質(zhì)。雜質(zhì)的另一來源可為線鋸裝置的除所述線之外的部件。磁性雜質(zhì)也可來自漿料組分或漿料組分中的雜質(zhì)。例如，鐵磁性或順磁性雜質(zhì)可在線鋸裝置的操作期間由于切割過程的機(jī)械和化學(xué)磨損而從研磨劑釋放，或者可為漿料中使用的一批研磨材料中的污染物。圖2顯示本發(fā)明的方法中使用的裝置的實(shí)施方式。由虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)100限定漿料流動路徑。在由安裝和支撐頭102固定的工件104被切割時，再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)100將研磨漿料在施加區(qū)域105處施加至移動的線鋸106。漿料流下(flow off)線鋸106和工件104并且在線鋸漿料出口區(qū)域107處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)100還包括收集器108，其經(jīng)定位以收集來自線鋸106的線鋸漿料出口區(qū)域107的使用過的漿料。漿料在收集器出口 109處離開收集器108并通過分離器入口 120流入到磁力分離器110中。漿料通過分離器出口 122離開分離器110并且在罐入口 115處流入到漿料罐116中。漿料通過罐出口 117流出罐116，且經(jīng)由泵入口 111流入到泵112中。漿料隨后經(jīng)由泵出口 113流出泵112并且在交換器入口 140處流入到熱交換器 130中。最終，漿料通過交換器出口 142流出熱交換器130并流回到線鋸106和工件104上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)100的再循環(huán)回路。圖3顯示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中使用的線鋸切割裝置。由虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)200限定漿料流動路徑，并在由安裝和支撐頭202固定的工件204被切割時將研磨漿料在施加區(qū)域205處施加到移動的線鋸206上。漿料流下線鋸206和工件204 并且在線鋸漿料出口區(qū)域207處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。漿料從線鋸漿料出口區(qū)域207通過分離器入口 220流入到磁力分離器210中。漿料通過分離器出口 222離開磁力分離器210并流回到線鋸206和工件204上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)200的再循環(huán)回路。漿料在磁力分離器220中的停留時間取決于該磁力分離器的內(nèi)部腔室的大小和在再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)200中的流量。較長的停留時間可提高磁性或磁化雜質(zhì)的去除效率，但可降低切割過程的產(chǎn)量或者在機(jī)械方面實(shí)施可為不切實(shí)際的。例如，非常大的磁力分離器可為價格過度昂貴的和/或難以與現(xiàn)有設(shè)備組合。圖4顯示本發(fā)明實(shí)施方式中使用的具有磁力分離器310的線鋸切割裝置。由虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)300限定漿料流動路徑，并且在由安裝和支撐頭302所固定的工件304被切割時將研磨漿料在施加區(qū)域305處施加到移動的線鋸306上。漿料流下線鋸306和工件304并且在線鋸漿料出口區(qū)域307處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。從線鋸漿料出口區(qū)域307流出的一部分漿料在分流器318處分流并通過分離器入口 320流入到磁力分離器310中。分流器318定位在線鋸漿料出口區(qū)域318、接合器3M和分離器入口 320之間。漿料通過分離器出口 322流出磁力分離器310。從線鋸漿料出口區(qū)域307流出的未傳送至磁力分離器310的漿料在接合器3M處與通過磁力分離器出口 322排出的漿料合并。接合器3M位于分離器出口 322與施加區(qū)域305之間。漿料從接合器3M流回到線鋸306和工件304上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)300的再循環(huán)回路。作為該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中的總的漿料流的百分?jǐn)?shù)的傳送通過磁力分離器310的漿料的量典型地為100% 或更少(例如，最高達(dá)90%、最高達(dá)80%、最高達(dá)70%、最高達(dá)60%或最高達(dá)50% )。作為通過該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)300的漿料流總體積的百分?jǐn)?shù)的傳送通過磁力分離器310的漿料量典型地為0 %或更多(例如，不少于10 %、不少于20 %、不少于30 %、不少于40 %、或者不少于50% )。被分流的漿料流的量取決于線鋸切割過程的操作需要，且在切割程序期間， 分流的漿料流的量可多次改變。例如，可改變分流的漿料流的量以提高磁力分離器去除磁性或可磁化的雜質(zhì)的效率。另一種可能性是為了磁力分離器310的修復(fù)、更換或再生，無漿料流或通過再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)300的總的漿料流的0%在位置318處分流。分流的漿料的量可通過任何合適的手段控制。例如，分流的漿料的量可通過在下列位置之處或之間的閥、任何管道的口徑寬度(bore width)、泵控制分流點(diǎn)318和分離器入口 320 ；分離器出口 322和合并點(diǎn)324 ；或者分流點(diǎn)318和合并點(diǎn)324。圖5顯示本發(fā)明實(shí)施方式中使用的具有磁力分離器410的線鋸切割裝置。由虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)400限定漿料流動路徑，并且在由安裝和支撐頭402所固定的工件404被切割時將研磨漿料在施加區(qū)域405處施加到移動的線鋸406上。漿料流下線鋸406和工件404并且在線鋸漿料出口區(qū)域407處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。從
10線鋸漿料出口區(qū)域407流出的一部分漿料在分流器418處分流并且通過分離器入口 420流入到磁力分離器410中。分流器418定位于施加區(qū)域405、接合器似4和分離器入口 420之間。該漿料通過分離器出口 422流出磁力分離器410。從磁力分離器410排出的漿料在介于分離器出口 422與線鋸漿料出口區(qū)域407之間的接合器4M處加回到循環(huán)中。從線鋸漿料出口區(qū)域407流出的未傳送至磁力分離器410的漿料流回到施加區(qū)域405，完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)400的再循環(huán)回路。作為該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中的總的漿料流的百分?jǐn)?shù)的傳送通過磁力分離器410的漿料的量典型地為100%或更少(例如，最高達(dá)90%、最高達(dá)80%、 最高達(dá)70%、最高達(dá)60%、或最高達(dá)50% )。作為通過再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)400的漿料流總體積的百分?jǐn)?shù)的傳送通過磁力分離器410的漿料的量典型地為0%或更多(例如，不少于 10%、不少于20%、不少于30%、不少于40%、或不少于50% )。被分流的漿料流的量取決于線鋸切割過程的操作需要，且在切割程序期間，分流的漿料流的量可多次改變。例如，可改變分流的漿料流的量以提高磁力分離器去除磁性或可磁化的雜質(zhì)的效率。另一種可能性是為了磁力分離器410的修復(fù)、更換或再生，無漿料流或通過再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)400的總的漿料流的0%在位置418處分流。分流的漿料的量可通過任何合適的手段控制。例如， 分流的漿料的量可通過在下列位置之處或之間的閥、任何管道的口徑寬度、泵控制分流點(diǎn) 418和分離器入口 420 ；分離器出口 422和合并點(diǎn)424 ；或者分流點(diǎn)418和合并點(diǎn)424。
圖6顯示具有兩個并聯(lián)布置的磁力分離器510的線鋸切割裝置。由虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)500限定漿料流動路徑，并且在由安裝和支撐頭502固定的工件504 被切割時將研磨漿料在施加區(qū)域505處施加到移動的線鋸506上。漿料流下線鋸506和工件504并且在線鋸漿料出口區(qū)域507處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。漿料從線鋸漿料出口區(qū)域507流到分配器(splitter) 516中。分配器516定位于線鋸漿料出口區(qū)域507與分離器入口 520和521之間。漿料從分配器516通過入口 520傳送至磁力分離器510中， 和通過入口 521傳送至磁力分離器511中。漿料通過出口 522從磁力分離器510排出，且在合并器5 處與通過出口 523從磁力分離器511排出的漿料合并。合并器5 定位于施加區(qū)域505、分離器出口 522和分離器出口 523之間。在合并器5 處合并的漿料流回到線鋸506和工件504上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)500的再循環(huán)回路。通過磁力分離器510 和520中的任一個的總的漿料流的百分?jǐn)?shù)為該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)500中的總流量的最高達(dá)100% (例如，最高達(dá)90%、最高達(dá)80%、最高達(dá)60%或最高達(dá)50% )。通過任意一個磁力分離器的總的漿料流的百分?jǐn)?shù)為該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中總的漿料流的0%或更多(例如，不少于10%、不少于20%、不少于30%、不少于40%、或不少于50%)。通過磁力分離器 510和511中的任一個的漿料流的百分?jǐn)?shù)可通過任何合適的流量控制裝置控制。例如，漿料流的百分?jǐn)?shù)可通過在下列位置之處或之間的閥、管的口徑寬度、泵或這些的任何組合控制 分配點(diǎn)516以及入口 520和521 ；或者合并器526以及出口 522和523。優(yōu)選地，傳送通過磁力分離器510和511的漿料流的百分?jǐn)?shù)通過位于分配器516與分離器入口 520之間的閥 514和位于分配點(diǎn)516與分離器入口 521之間的閥515控制?？瑟?dú)立地控制傳送至磁力分離器510和511的漿料流的百分?jǐn)?shù)以提高該磁力分離器去除磁性或可磁化的雜質(zhì)的效率。 一種可能性是分流至磁力分離器510或511之一的漿料流的百分?jǐn)?shù)等于該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)500中的總的漿料流的0%以在無漿料流通過該磁力分離器的情況下進(jìn)行該磁力分離器的修復(fù)、更換或再生。圖6的配置的變型為具有多于兩個的并聯(lián)的磁力分離器(例如，3個或更多個、4個或更多個、5個或更多個、或者6個或更多個)。漿料流可如以上對于兩個磁力分離器配置所描述的那樣分流至磁力分離器的子組中，且通過單獨(dú)的磁力分離器的所有漿料流的總和等于通過該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)的總的漿料流。例如，對于具有“η”個磁力分離器的配置，其中η為大于或等于1的整數(shù)(i)且Fn為該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)的總的漿料流的百分?jǐn)?shù)，以下等式起作用其中100%彡 Fn 彡 0%。圖7顯示用于本發(fā)明實(shí)施方式中的具有兩個串聯(lián)布置的磁力分離器610和611的線鋸切割裝置。由虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)600限定漿料流動路徑，并且在由安裝和支撐頭602固定的工件604被切割時將研磨漿料在施加區(qū)域605處施加到移動的線鋸606上。漿料流下線鋸606和工件604并且在線鋸漿料出口區(qū)域607處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。漿料通過分離器入口 620從線鋸漿料出口區(qū)域607流入到磁力分離器610 中并且通過分離器出口 622離開磁力分離器610。隨后，將來自分離器出口 622的排出漿料傳送至分離器入口 621和通過磁力分離器611。漿料通過分離器出口 623離開磁力分離器 611并且流回到線鋸606和工件604上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)600的再循環(huán)回路。分離器610和611可具有基本上類似的設(shè)計或者各分離器可具有不同的設(shè)計。例如，可合乎需要的是具有位于線鋸漿料出口區(qū)域607和磁力分離器611 (其對較細(xì)小的磁性或可磁化的雜質(zhì)的去除更具選擇性)之間的磁力分離器610 (其對大的磁性或可磁化的雜質(zhì)的去除更具選擇性)。圖7的配置的變型具有多于2個的串聯(lián)布置的磁力分離器(例如， 3個或更多個、4個或更多個、5個或更多個、或者6個或更多個)。圖8顯示本發(fā)明實(shí)施方式中使用的具有磁力分離器710的線鋸切割裝置。由虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)700限定漿料流動路徑，并且在由安裝和支撐頭702固定的工件704被切割時將研磨漿料在施加區(qū)域705處施加到移動的線鋸706上。漿料流下線鋸706和工件704并且在線鋸漿料出口區(qū)域707處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)700還包括收集器708，其被定位以收集來自線鋸漿料出口區(qū)域707的使用過的漿料。漿料在收集器出口 709處離開收集器708并流回到線鋸706和工件704上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)700的再循環(huán)回路。磁力分離器710浸在收集器708中使得從線鋸 706和工件704輸送的漿料中的至少一些傳送通過磁力分離器710。該磁力分離器可部分地或完全地浸在收集器708中?？蓪⒃摯帕Ψ蛛x器浸在該收集器中以接觸來自任何位置如側(cè)面、頂部或底部的漿料。優(yōu)選地，該磁力分離器的位置接近于收集器出口 709?？墒褂靡粋€或多個磁力分離器。在該線鋸切割裝置的操作期間，可移出所述磁力分離器中的一個或多個以對該磁力分離器進(jìn)行修復(fù)、更換或再生。圖9顯示本發(fā)明實(shí)施方式中使用的具有磁力分離器810的線鋸切割裝置。該裝置由被虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)800組成，再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)800限定漿料流動路徑。在由安裝和支撐頭802固定的工件804被切割時，再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)800將研磨漿料在施加區(qū)域805處施加到移動的線鋸806上。漿料在線鋸漿料出口區(qū)域807處流下線鋸806和工件804。再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)800還包括收集器808，其被定位以收集來自線鋸漿料出口區(qū)域807的使用過的漿料。漿料在收集器出口 809處離開收集器808并且通過分離器入口 820流入到磁力分離器810中。漿料通過分離器出口 822離開分離器810并且在罐入口 815處流入到漿料罐816中。漿料通過罐出口 817流出罐816并流回到線鋸806 和工件804上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)800的再循環(huán)回路。圖10顯示本發(fā)明實(shí)施方式中使用的具有磁力分離器910的線鋸切割裝置。該裝置由被虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)900組成，再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)900限定漿料流動路徑。在由安裝和支撐頭902固定的工件904被切割時，再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)900將研磨漿料在施加區(qū)域905處施加到移動的線鋸906上。漿料流下線鋸906和工件904并且在線鋸漿料出口區(qū)域907處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。漿料在罐入口 915處流入到漿料罐916中。漿料通過罐出口 917流出罐916并流回到線鋸906和工件904上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)900的再循環(huán)回路。該磁力分離器浸在漿料罐916中使得該漿料中的至少一些通過磁力分離器910。該磁力分離器可具有多個入口和出口。該磁力分離器的內(nèi)部可由該漿料罐的整個內(nèi)部組成使得該磁力分離器的入口與罐入口 915是同一組件，并且該磁力分離器的出口與罐出口 917是同一組件。磁力分離器910可部分地或完全地浸在漿料罐916中。該磁力分離器可浸在漿料罐916中以接觸來自任何位置如側(cè)面、頂部或底部的漿料。優(yōu)選地，該磁力分離器的位置接近于罐入口 917，漿料在罐入口 917處被輸送至漿料罐916中?？墒褂靡粋€或多個磁力分離器。在該線鋸切割裝置的操作期間，可移出所述磁力分離器中的一個或多個以進(jìn)行該磁力分離器的修復(fù)、更換或再生。圖11顯示本發(fā)明方法中使用的裝置的實(shí)施方式。該裝置由被虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1000組成，再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1000限定漿料流動路徑。在由安裝和支撐頭1002固定的工件1004被切割時，再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1000將研磨漿料在施加區(qū)域 1005處施加到移動的線鋸1006上。漿料流下線鋸1006和工件1004并且在線鋸漿料出口區(qū)域1007處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。漿料從線鋸漿料出口區(qū)域1007通過交換器入口 1040流入到熱交換器1030中。漿料通過交換器出口 1042流出熱交換器1030并且通過分離器入口 1020流入到磁力分離器1010中。最終，漿料從分離器出口 1022流出并流回到線鋸1006和工件1004上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1000的再循環(huán)回路。圖12提供本發(fā)明方法中使用的線鋸切割系統(tǒng)1110的多個組件的示意圖。如本發(fā)明中所利用的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1112包括磁力分離器1114。使用再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1112，研磨漿料流到線鋸和工件1116上，且流動離開線鋸和工件1116完成漿料再循環(huán)回路。在該線鋸裝置處于使用中時，磁力分離器1114可被移除以進(jìn)行修復(fù)、用不同的分離器更換、或再生。再生通常包括以下之一或以下的組合使用水溶液洗滌該磁力分離器、攪動該磁力分離器或使該磁力分離器去磁。經(jīng)修復(fù)、更換或再生的磁力分離器可隨后再連接 (reattach)至該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中的相同位置處。圖13顯示本發(fā)明實(shí)施方式中使用的具有磁力分離器1210的線鋸切割裝置。由虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1200限定漿料流動路徑，并且在由安裝和支撐頭1202 固定的工件1204被切割時將研磨漿料在施加區(qū)域1205處施加到移動的線鋸1206上。漿料流下線鋸1206和工件1204并且在線鋸漿料出口區(qū)域1207處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。漿料在罐入口 1215處流入到漿料罐1216中。收集在漿料罐1216中的漿料的一部分通過分離器漿料回路入口 1260分流至分離器漿料回路1250(其由虛線圍繞示出)，通過分離器入口 1220進(jìn)入磁力分離器1210，通過分離器出口 1222離開該磁力分離器且在分離器漿料回路出口 1262處排出回到漿料罐中。漿料通過罐出口 1217流出罐1216且流回到線鋸1206和工件1204上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1200的再循環(huán)回路。作為該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中的總的漿料流的百分?jǐn)?shù)的傳送通過磁力分離器 1210的漿料的量典型地為1000%或更少(例如，最高達(dá)900%、最高達(dá)800%、最高達(dá) 700%、最高達(dá)600%、最高達(dá)500%、最高達(dá)400%、最高達(dá)300%、最高達(dá)200%、或者最高達(dá)100% )。作為通過再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1200的漿料流的總體積的百分?jǐn)?shù)的傳送通過磁力分離器1210的漿料的量典型地為0%或更多(例如，10%或更大、20%或更大、30%或更大、40%或更大、50%或更大、100%或更大、200%或更大、300%或更大、400%或更大、或者500%或更大)。被分流的漿料流的量取決于線鋸切割過程的操作需要，且在切割程序期間，分流的漿料流的量可多次改變。例如，可改變分流的漿料流的量以提高磁力分離器去除磁性或可磁化的雜質(zhì)的效率。另一種可能性是為了磁力分離器1210的修復(fù)、更換或再生， 無漿料流或通過再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1200的總的漿料流的0%被分流至磁力分離器1210。 分流的漿料的量可通過任何合適的手段控制。例如，分流的漿料的量可通過在下列位置之處或之間的閥、任何管道的口徑寬度、泵、或者這些的任何組合控制分離器漿料回路入口 1260和分離器入口 1220 ；或者分離器出口 1222和分離器漿料回路出口 1262。圖14顯示本發(fā)明實(shí)施方式中使用的具有磁力分離器1310的線鋸切割裝置。由虛線圍繞示出的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1300限定漿料流動路徑，并且在由安裝和支撐頭1302 固定的工件1304被切割時將研磨漿料在施加區(qū)域1305處施加到移動的線鋸1306上。漿料流下線鋸1306和工件1304并且在線鋸漿料出口區(qū)域1307處流回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中。漿料從線鋸漿料出口區(qū)域1307通過分離器入口 1320流入到磁力分離器1310中。 漿料通過分離器出口 1322離開磁力分離器1310并且在罐入口 1315處流入到漿料罐1316 中。收集在漿料罐1316中的漿料的一部分通過熱交換器漿料回路入口 1390分流至熱交換器漿料回路1380(由虛線圍繞示出)，通過交換器入口 1340進(jìn)入熱交換器1330，通過交換器出口 1342離開該熱交換器且在熱交換器漿料回路出口 1392處排出回到漿料罐中。漿料通過罐出口 1317流出罐1316并流回到線鋸1306和工件1304上以完成再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)1300的再循環(huán)回路。
權(quán)利要求
1.用于在線鋸切割過程期間從線鋸切割漿料中去除磁性或磁化污染物的方法，包括以下步驟將研磨漿料從再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)施加到移動的線鋸上；使用所述移動的線鋸和所施加的研磨漿料切割工件；將研磨漿料從所述工件輸送回到所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中；將所述漿料的至少一部分傳送通過至少一個磁力分離器以從所述漿料中去除磁性或磁化污染物；和將傳送通過所述磁力分離器的漿料排出回到所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的循環(huán)中。
2.權(quán)利要求1的方法，其中所述至少一個磁力分離器包括兩個或更多個并聯(lián)布置的磁力分離器。
3.權(quán)利要求1的方法，其中所述至少一個磁力分離器包括兩個或更多個串聯(lián)布置的磁力分離器。
4.權(quán)利要求1的方法，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括收集器以收集來自所述工件的使用過的漿料，且所述磁力分離器至少部分地浸在所述收集器中。
5.權(quán)利要求1的方法，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括漿料罐，且所述磁力分離器至少部分地浸在所述漿料罐中。
6.權(quán)利要求1的方法，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括熱交換器。
7.權(quán)利要求6的方法，其中所述熱交換器位于所述系統(tǒng)中使用過的漿料從所述工件輸出的位置與使用過的漿料進(jìn)入所述磁力分離器的位置之間。
8.權(quán)利要求1的方法，其中所述工件選自硅錠、多晶硅錠、砷化鎵錠、陶瓷錠、石英錠、 二氧化硅錠和玻璃錠。
9.權(quán)利要求1的方法，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括漿料罐和分離器漿料回路， 所述分離器漿料回路適合于將漿料從所述漿料罐輸送通過所述磁力分離器和回到所述漿料罐。
10.線鋸切割裝置，包括適合于固定工件的安裝和支撐頭；線鋸，其相對于所述安裝和支撐頭定位使得在操作時所述工件可與所述線鋸接觸；用于將漿料從再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)施加到所述線鋸上的施加區(qū)域，所述施加區(qū)域定位和適合用于將拋光漿料輸送至所述線鋸，所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)限定漿料流動路徑；線鋸漿料出口區(qū)域，其適合于引導(dǎo)漿料離開所述線鋸和所安裝的工件并回到所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中；所述再循環(huán)分配系統(tǒng)，其包括至少一個用于從所述漿料中去除磁性或可磁化的污染物的磁力分離器；其中所述磁力分離器包括適合于將所述漿料的至少一部分接收到所述磁力分離器中的入口和適合于將經(jīng)純化的漿料排出回到所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的循環(huán)中的出口。
11.權(quán)利要求10的線鋸裝置，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)進(jìn)一步包括(a)分流器，其定位于所述線鋸漿料出口區(qū)域與所述分離器入口之間，且適合于將所述漿料的至少一部分分流至所述磁力分離器；(b)接合器，其定位于所述分流器、所述磁力分離器的出口和所述施加區(qū)域之間，且適合于將從所述磁力分離器的出口排出的漿料與未分流至所述磁力分離器的那部分漿料合并回到所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)中在所述接合器與所述施加區(qū)域之間的區(qū)域處的循環(huán)中。
12.權(quán)利要求10的線鋸裝置，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)進(jìn)一步包括(a)兩個或更多個并聯(lián)布置的磁力分離器；(b)分配器，其定位于所述線鋸漿料出口區(qū)域與所述磁力分離器的入口之間，且適合于將在所述線鋸漿料出口區(qū)域處加回到循環(huán)中的漿料傳送至所述磁力分離器的入口；(c)合并器，其定位于所述施加區(qū)域和所述磁力分離器出口之間，且適合于將從所述磁力分離器排出的經(jīng)純化的漿料合并回到所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的再循環(huán)中。
13.權(quán)利要求10的線鋸裝置，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)進(jìn)一步包括兩個或更多個串聯(lián)布置的磁力分離器。
14.權(quán)利要求10的線鋸裝置，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)進(jìn)一步包括(a)收集器，其定位和適合用于收集來自所述線鋸漿料出口區(qū)域的漿料；(b)收集器出口，其定位于所述收集器中適合用于將所收集的漿料排出回到所述漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的循環(huán)中；且所述磁力分離器至少部分地浸在所述收集器中并適合于純化流動通過所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)的漿料的至少一部分。
15.權(quán)利要求10的線鋸裝置，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)進(jìn)一步包括(a)漿料罐，其適合于提供用于漿料的貯存器；(b)漿料罐入口，其定位于所述線鋸漿料出口區(qū)域與漿料罐之間且適合于將漿料輸送至所述漿料罐中；(c)漿料罐出口，其定位于所述漿料罐與施加區(qū)域之間且適合于容許漿料從所述漿料罐通過分離器漿料回路流至所述施加區(qū)域；(d)分離器漿料回路入口，其定位于所述漿料罐與所述分離器入口之間，且適合于將漿料從所述漿料罐分流至所述分離器漿料回路；(e)分離器漿料回路出口，其定位于所述分離器出口與所述漿料罐之間，且適合于將漿料從所述分離器回路排出回到所述漿料罐中。
16.權(quán)利要求15的線鋸裝置，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)進(jìn)一步包括(a)熱交換器漿料回路；(b)熱交換器；(c)交換器入口，其定位和適合用于將漿料輸送至所述熱交換器中；(d)交換器出口，其定位和適合用于將漿料輸送出所述熱交換器；(e)熱交換器漿料回路入口，其定位于所述漿料罐與所述交換器入口之間，且適合于將所述漿料罐中的漿料的一部分輸送至所述熱交換器漿料回路；(f)熱交換器漿料回路出口，其定位于所述漿料罐與所述交換器出口之間，且適合于將所述熱交換器漿料回路中的漿料排出回到所述漿料罐中。
17.權(quán)利要求15的線鋸裝置，其中所述再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)進(jìn)一步包括(a)泵，(b)熱交換器，(c)泵入口，其定位和適合用以容許漿料從所述漿料罐流入到所述泵中，(d)泵出口，其定位和適合用以容許漿料從所述泵流出至所述熱交換器，(e)交換器入口，其定位和適合用于將漿料從所述泵輸送至所述熱交換器中，(f)交換器出口，其定位和適合用于將漿料從所述熱交換器輸出至所述施加區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明提供用于在線鋸切割過程期間從線鋸切割漿料中去除磁性或磁化污染物的方法和裝置。該裝置包括限定漿料流動路徑的再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)。該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)包括用于從漿料中去除磁性或可磁化的污染物的磁力分離器，其中經(jīng)純化的漿料被排出回到該再循環(huán)漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的再循環(huán)中。
文檔編號H01L21/301GK102257603SQ200980151102
公開日2011年11月23日 申請日期2009年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月20日
發(fā)明者R.納加拉詹, S.格倫比尼 申請人:嘉柏微電子材料股份公司