一種前開(kāi)式晶片盒的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒，具體地說(shuō)是一種可自動(dòng)防止晶片在設(shè)備移動(dòng)過(guò)程中滑出的前開(kāi)式晶片盒，包括片盒體、帶電磁閥的回轉(zhuǎn)氣缸及擋桿，其中片盒體為半開(kāi)放式結(jié)構(gòu)，片盒體內(nèi)設(shè)有多個(gè)容置晶片的插槽；所述回轉(zhuǎn)氣缸安裝在片盒體上，擋桿與回轉(zhuǎn)氣缸的輸出端相連，通過(guò)該回轉(zhuǎn)氣缸帶動(dòng)回轉(zhuǎn)、阻擋晶片滑出。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，滿足安全、無(wú)污染的存儲(chǔ)和運(yùn)輸晶片的要求，而且可以自動(dòng)地實(shí)現(xiàn)在設(shè)備移動(dòng)過(guò)程中防止晶片滑出，無(wú)需打開(kāi)設(shè)備的門(mén)，保證了設(shè)備內(nèi)的潔凈度。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種前開(kāi)式晶片盒
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶片盒，具體地說(shuō)是一種可自動(dòng)防止晶片在設(shè)備移動(dòng)過(guò)程中滑出的前開(kāi)式晶片盒。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)大部分都涉及到裝載晶片的晶片盒，它起到晶片的存儲(chǔ)、運(yùn)輸?shù)裙δ?。在現(xiàn)有的技術(shù)下，存在著很多不同類(lèi)型的晶片盒，它們具有的相同特點(diǎn)是可一次性裝載和運(yùn)輸單個(gè)或多個(gè)晶片，并且不會(huì)對(duì)晶片造成污染；且個(gè)別的也具有防止晶片滑出的功能，但是由手動(dòng)實(shí)現(xiàn)的。當(dāng)晶片盒處在半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)，為了某個(gè)目的需要抽拉移動(dòng)設(shè)備時(shí)，并且設(shè)備內(nèi)具有潔凈度要求，不宜打開(kāi)設(shè)備的門(mén)時(shí)，就沒(méi)有辦法防止晶片從晶片盒中滑出來(lái)，造成故障。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種具有自動(dòng)防止晶片滑出功能的前開(kāi)式晶片盒。該前開(kāi)式晶片盒在存放晶片盒的半導(dǎo)體制造設(shè)備需要抽拉移動(dòng)時(shí)，無(wú)需打開(kāi)設(shè)備的門(mén)，晶片盒即可自動(dòng)的實(shí)現(xiàn)防止晶片滑出。
[0004]本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的:
[0005]本發(fā)明包括片盒體、帶電磁閥的回轉(zhuǎn)氣缸及擋桿，其中片盒體為半開(kāi)放式結(jié)構(gòu)，片盒體內(nèi)設(shè)有多個(gè)容置晶片的插槽；所述回轉(zhuǎn)氣缸安裝在片盒體上，擋桿與回轉(zhuǎn)氣缸的輸出端相連，通過(guò)該回轉(zhuǎn)氣缸帶動(dòng)回轉(zhuǎn)、阻擋晶片滑出。
[0006]其中:所述片盒體的一側(cè)沿軸向設(shè)有供晶片輸入或輸出的開(kāi)口 ；所述開(kāi)口的水平投影為弧形，開(kāi)口寬度大于晶片的直徑；所述回轉(zhuǎn)氣缸安裝在片盒體的上表面，并位于開(kāi)口的任一側(cè)；或在所述開(kāi)口的兩側(cè)、對(duì)稱設(shè)置兩個(gè)回轉(zhuǎn)氣缸，每個(gè)回轉(zhuǎn)氣缸分別連接有擋桿；所述擋桿的一端通過(guò)連接裝置與回轉(zhuǎn)氣缸的輸出端相連，另一端為自由端，或擋桿的另一端鉸接于所述片盒體的下表面；所述擋桿的長(zhǎng)度大于片盒體的高度，擋桿和片盒體相對(duì)應(yīng)的部分與片盒體的軸向中心線相平行；所述擋桿為圓柱形的實(shí)心桿或空心桿，由塑料材料制成。
[0007]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為:
[0008]本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，滿足安全、無(wú)污染的存儲(chǔ)和運(yùn)輸晶片的要求，而且可以自動(dòng)地實(shí)現(xiàn)在設(shè)備移動(dòng)過(guò)程中防止晶片滑出，無(wú)需打開(kāi)設(shè)備的門(mén)，保證了設(shè)備內(nèi)的潔凈度。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本發(fā)明的軸測(cè)圖之一(擋桿處于非工作狀態(tài))；
[0010]圖2為本發(fā)明的軸測(cè)圖之二 (擋桿處于阻擋狀態(tài))；
[0011]圖3為本發(fā)明俯視圖(擋桿處于晶片的側(cè)前方)；[0012]圖4為本發(fā)明俯視圖(擋桿處于晶片的側(cè)方)；
[0013]其中:1為片盒體，2為回轉(zhuǎn)氣缸，3為插槽，4為聯(lián)軸器，5為擋桿，6為晶片?！揪唧w實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。
[0015]如圖1、圖2所示，本發(fā)明包括片盒體1、帶電磁閥的回轉(zhuǎn)氣缸2及擋桿5，其中片盒體I整體形狀為中空的圓柱，呈半開(kāi)放式結(jié)構(gòu)，即在片盒體I的一側(cè)沿軸向設(shè)有供晶片6輸入或輸出的開(kāi)口，該開(kāi)口的水平投影為弧形，開(kāi)口寬度大于晶片6的直徑。
[0016]片盒體I的內(nèi)壁上設(shè)有多個(gè)容置晶片6的插槽3，各插槽3之間相互平行。回轉(zhuǎn)氣缸2可直接或間接地安裝在片盒體I的上表面、并位于所述開(kāi)口的任一側(cè)，回轉(zhuǎn)氣缸2上帶有與控制系統(tǒng)電連接的電磁閥，通過(guò)電磁閥可以控制回轉(zhuǎn)氣缸2順時(shí)針旋轉(zhuǎn)或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)；本發(fā)明的控制系統(tǒng)為現(xiàn)有技術(shù)。擋桿5的一端彎折后、通過(guò)連接裝置與回轉(zhuǎn)氣缸2的輸出端相連，另一端為自由端；或擋桿5的另一端彎折后鉸接于所述片盒體I的下表面，本實(shí)施例擋桿5的另一端即是彎折后鉸接在片盒體I的下表面上；本實(shí)施例的連接裝置為聯(lián)軸器4，起到連接回轉(zhuǎn)氣缸2和擋桿5的作用。擋桿5為圓柱形的實(shí)心桿或空心桿，由塑料材料制成，如聚乙烯或聚四氟乙烯；擋桿5的長(zhǎng)度大于片盒體I的高度，擋桿5和片盒體I相對(duì)應(yīng)的部分與片盒體I的軸向中心線相平行，通過(guò)該回轉(zhuǎn)氣缸2帶動(dòng)回轉(zhuǎn)、阻擋晶片6滑出。
[0017]本發(fā)明還可在所述開(kāi)口的兩側(cè)，對(duì)稱設(shè)置兩個(gè)回轉(zhuǎn)氣缸2，每個(gè)回轉(zhuǎn)氣缸2分別連接有擋桿5。
[0018]本發(fā)明的工作原理為:
[0019]在正常工作狀態(tài)下，檔桿5的狀態(tài)如圖4所示，圖4箭頭所指的方向?yàn)榫?的輸入輸出方向，檔桿5所處的位置為晶片6輸入輸出方向范圍之外,這樣不會(huì)影響晶片6的輸入及輸出。當(dāng)承載此晶片盒的半導(dǎo)體制造設(shè)備需要抽拉移動(dòng)時(shí)，通過(guò)控制系統(tǒng)控制電磁閥的供氣方式，使回轉(zhuǎn)氣缸2逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)到設(shè)定的角度停止，相應(yīng)地通過(guò)聯(lián)軸器4帶動(dòng)檔桿5跟著逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，狀態(tài)如圖3所示，檔桿5的位置處于晶片6的側(cè)前方，這樣在設(shè)備移動(dòng)過(guò)程中晶片6就不會(huì)因設(shè)備移動(dòng)產(chǎn)生的震動(dòng)和慣性從片盒體I中滑出；當(dāng)設(shè)備抽拉移動(dòng)回位后，再通過(guò)控制系統(tǒng)控制電磁閥3的供氣方式，使回轉(zhuǎn)氣缸2順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)檔桿5跟著順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，回到初始如圖4所示的位置，這樣設(shè)備就可以正常的工作了。
【權(quán)利要求】
1.一種前開(kāi)式晶片盒，其特征在于:包括片盒體(I)、帶電磁閥的回轉(zhuǎn)氣缸(2)及擋桿(5)，其中片盒體(I)為半開(kāi)放式結(jié)構(gòu)，片盒體(I)內(nèi)設(shè)有多個(gè)容置晶片(6)的插槽(3);所述回轉(zhuǎn)氣缸(2)安裝在片盒體(I)上，擋桿(5)與回轉(zhuǎn)氣缸(2)的輸出端相連，通過(guò)該回轉(zhuǎn)氣缸(2)帶動(dòng)回轉(zhuǎn)、阻擋晶片(6)滑出。
2.按權(quán)利要求1所述的前開(kāi)式晶片盒，其特征在于:所述片盒體(I)的一側(cè)沿軸向設(shè)有供晶片(6)輸入或輸出的開(kāi)口。
3.按權(quán)利要求1所述的前開(kāi)式晶片盒，其特征在于:所述開(kāi)口的水平投影為弧形，開(kāi)口寬度大于晶片(6)的直徑。
4.按權(quán)利要求2所述的前開(kāi)式晶片盒，其特征在于:所述回轉(zhuǎn)氣缸(2)安裝在片盒體(I)的上表面，并位于開(kāi)口的任一側(cè)；或在所述開(kāi)口的兩側(cè)、對(duì)稱設(shè)置兩個(gè)回轉(zhuǎn)氣缸(2)，每個(gè)回轉(zhuǎn)氣缸(2)分別連接有擋桿(5)。
5.按權(quán)利要求1或4所述的前開(kāi)式晶片盒，其特征在于:所述擋桿(5)的一端通過(guò)連接裝置與回轉(zhuǎn)氣缸(2)的輸出端相連，另一端為自由端，或擋桿(5)的另一端鉸接于所述片盒體(I)的下表面。
6.按權(quán)利要求5所述的前開(kāi)式晶片盒，其特征在于:所述擋桿(5)的長(zhǎng)度大于片盒體(I)的高度，擋桿(5)和片盒體(I)相對(duì)應(yīng)的部分與片盒體(I)的軸向中心線相平行。
7.按權(quán)利要求5所述的前開(kāi)式晶片盒，其特征在于:所述擋桿(5)為圓柱形的實(shí)心桿或空心桿，由塑料材料制成。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK103715120SQ201210380149
【公開(kāi)日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2012年10月9日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月9日
【發(fā)明者】張爽, 王繼周, 門(mén)恩國(guó) 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司