本發(fā)明屬于微細(xì)零件微觀形貌分析領(lǐng)域，特別涉及一種用于微撓性零件表面形貌分析的夾持裝置。

背景技術(shù)：

微撓性零件的表面微觀形貌質(zhì)量決定其使用性能，其形貌觀測(cè)主要利用掃描電子顯微鏡進(jìn)行。微撓性零件的在掃描電子顯微鏡中的固定方式直接影響影響觀測(cè)的效率和質(zhì)量。若固定不當(dāng)，微撓性零件則容易在分析之前即發(fā)生變形，影響觀察分析的結(jié)果。

目前微撓性零件的固定是利用導(dǎo)電雙面膠帶粘接于掃描電鏡載物臺(tái)之上，缺點(diǎn)是固定的質(zhì)量和效率低，微撓性零件的中部關(guān)鍵部位易被膠帶及載物臺(tái)遮擋，影響形貌分析的質(zhì)量和觀測(cè)角度一致性，同時(shí)雙面膠對(duì)零件表面易產(chǎn)生腐蝕，且零件從載物臺(tái)上取下時(shí)易變形。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的：針對(duì)現(xiàn)有固定方式的不足，設(shè)計(jì)制作一種用于微撓性零件的夾持裝置，提高微撓性零件的觀測(cè)分析效率和質(zhì)量，并避免零件在觀測(cè)過程中損壞。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種用于微撓性零件表面形貌分析的夾持裝置，包括外框1、臺(tái)體2、蓋板3和緊固螺釘4，其中，臺(tái)體2嵌套在外框1內(nèi)，外框1和臺(tái)體2的厚度相同，兩者嵌套安裝后，兩側(cè)結(jié)合部位形成可以放置微撓性零件的沉槽，通過緊固螺釘4將蓋板3固定在臺(tái)體2上，從而夾持微撓性零件，將外框1從臺(tái)體2上取下，所述微撓性零件的中部關(guān)鍵部位露出。

所述臺(tái)體2和蓋板3選用純銅板加工。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果：

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明夾持裝置可實(shí)現(xiàn)對(duì)微撓性零件的無損傷夾持與拆卸，一次可夾持多個(gè)微撓性零件，且持角度一致，具有較高的夾持固定效率。選用的夾持裝置材料導(dǎo)電性能良好，可提高微撓性零件在掃面電子顯微鏡中的成像質(zhì)量，有利于對(duì)比不同零件微觀形貌之間的差異，具有較大的實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。

附圖說明

圖1為本發(fā)明用于微撓性零件表面形貌分析的夾持裝置中外框1的主視圖。

圖2為本發(fā)明夾持裝置的外框1沿中垂線的剖視圖；

圖3為本發(fā)明夾持裝置的臺(tái)體2的主視圖；

圖4為本發(fā)明夾持裝置的臺(tái)體2沿中垂線的剖視圖；

圖5為本發(fā)明夾持裝置的蓋板3的主視圖；

圖6為本發(fā)明夾持裝置的蓋板3沿中垂線的剖視圖；

圖7為本發(fā)明夾持裝置的安裝示意圖；

圖8為圖7中夾持裝置沿中垂線的剖視圖；

圖9為圖7中夾持裝置的a-a剖視圖；

圖10為本發(fā)明夾持裝置去掉外框1的使用示意圖；

圖11為圖10中夾持裝置沿中垂線的剖視圖；

圖12為為圖10中夾持裝置的a-a剖視圖。

其中，1-外框、2-臺(tái)體、3-蓋板、4-緊固螺釘、5-微撓性零件。

具體實(shí)施方式

下面通過具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

圖7～圖9是本發(fā)明用于微撓性零件表面形貌分析的夾持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。該鉆削裝置包括外框1、臺(tái)體2、蓋板3和緊固螺釘4。

圖1和圖2分別是外框1的主視圖和剖視圖，圖3和圖4分別是臺(tái)體2的主視圖和剖視圖，圖5和圖6分別是蓋板3的主視圖和剖視圖。該臺(tái)體2可嵌入外框中，兩者的厚度一致，嵌入后，外框1和臺(tái)體2結(jié)合部位可形成與零件外形輪廓相同的沉槽，外框1和臺(tái)體2上沉槽的深度相同，均小于微撓性零件5的厚度，將微撓性零件5放置在沉槽中，用緊固螺釘4將蓋板3固定在臺(tái)體上，微撓性零件5即被臺(tái)體2和蓋板3夾緊，最后取下外框1，微撓性零件5一角被夾緊，其余部位懸空，如圖10～圖12所示。臺(tái)體2和蓋板3中心位置均設(shè)有通孔，可用螺釘將整個(gè)夾持裝置固定在掃描電子顯微鏡的載物臺(tái)上進(jìn)行形貌分析。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于微撓性零件表面形貌分析的夾持裝置，包括外框(1)、臺(tái)體(2)、蓋板(3)和緊固螺釘(4)，其中，臺(tái)體(2)嵌套在外框(1)內(nèi)，外框(1)和臺(tái)體(2)的厚度相同，兩者嵌套安裝后，兩側(cè)結(jié)合部位形成可以放置微撓性零件的沉槽，通過緊固螺釘(4)將蓋板(3)固定在臺(tái)體(2)上，從而夾持微撓性零件，將外框(1)從臺(tái)體(2)上取下，所述微撓性零件的中部關(guān)鍵部位露出。

技術(shù)研發(fā)人員：司超陽;霍登平;諶祖輝;范惲;楊兵
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中航西安飛行自動(dòng)控制技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.31
技術(shù)公布日：2017.08.18