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半導(dǎo)體器件的制作方法

文檔序號(hào):12680885閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
一種半導(dǎo)體器件,具有在襯底上隔著柵極絕緣膜(GI)而形成的柵電極(GE)、和形成在襯底上的源極?漏極用的半導(dǎo)體層(EP1)。半導(dǎo)體層(EP1)的上表面處于比柵電極(GE)的正下方的襯底的上表面高的位置上。而且,柵電極(GE)的柵長方向上的端部位于半導(dǎo)體層(EP1)上。

技術(shù)研發(fā)人員:山本芳樹;槙山秀樹;角村貴昭;巖松俊明
受保護(hù)的技術(shù)使用者:瑞薩電子株式會(huì)社
文檔號(hào)碼:201710147384
技術(shù)研發(fā)日:2012.05.18
技術(shù)公布日:2017.06.13

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