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一種堆疊晶體濾波器及雙工器的制作方法

文檔序號:41950093發(fā)布日期:2025-05-16 14:08閱讀:4來源:國知局
一種堆疊晶體濾波器及雙工器的制作方法

本技術(shù)涉及堆疊晶體濾波器,具體而言,涉及一種堆疊晶體濾波器及雙工器。


背景技術(shù):

1、相關(guān)的堆疊晶體濾波器包括由下至上依次連接的襯底、底電極、第一壓電層、中間電極、第二壓電層和頂電極,中間電極接地,在底電極與信號輸入端連接時(shí),頂電極與信號輸出端連接,在底電極與信號輸出端連接時(shí),頂電極與信號輸入端連接。由于底電極、中間電極和頂電極的連接對象不同,因此相關(guān)技術(shù)需要使底電極、中間電極和頂電極均向位于聲反射鏡以外的區(qū)域延伸一個電極,即相關(guān)的堆疊晶體濾波器需要向外延伸三個電極,而由于延伸至聲反射鏡外的電極會在電信號作用下不可避免地產(chǎn)生雜散模態(tài)(雜波),因此相關(guān)技術(shù)存在由于堆疊晶體濾波器需要向外延伸三個電極而導(dǎo)致產(chǎn)生的雜散模態(tài)過多,堆疊晶體濾波器的性能受到明顯削弱的問題。

2、針對上述問題,目前尚未有有效的技術(shù)解決方案。需要說明的是,本部分中公開的以上信息僅用于理解本發(fā)明構(gòu)思的背景,因此可以包含不構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)的信息。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本技術(shù)的目的在于提供一種堆疊晶體濾波器及雙工器,能夠有效地解決由于堆疊晶體濾波器需要向外延伸三個電極而導(dǎo)致產(chǎn)生的雜散模態(tài)過多,堆疊晶體濾波器的性能受到明顯削弱的問題。

2、第一方面,本技術(shù)提供了一種堆疊晶體濾波器,其包括:

3、由上至上依次連接的第一襯底、第一底電極、第一壓電層、中間電極、第二壓電層和第一頂電極,第一襯底上設(shè)有第一聲反射鏡,中間電極與第一底電極共同接地,或中間電極與第一頂電極共同接地;

4、在中間電極與第一底電極共同接地時(shí),第一頂電極外接,中間電極或第一底電極與接地端連接,中間電極與第一底電極連接且連接處在俯視方向上的投影的邊緣位于與接地端連接的電極在俯視方向上的投影的邊緣內(nèi),在中間電極與第一頂電極共同接地時(shí),第一底電極外接,中間電極或第一頂電極與接地端連接,中間電極與第一頂電極連接且連接處在俯視方向上的投影的邊緣位于與接地端連接的電極在俯視方向上的投影的邊緣內(nèi)。

5、本技術(shù)提供的一種堆疊晶體濾波器,能夠通過使中間電極與第一底電極或第一頂電極連接的方式有效地減少使第一底電極、中間電極和第一頂電極外接時(shí)向外延伸的電極的尺寸,即本技術(shù)能夠在無需向外延伸三個電極的情況下實(shí)現(xiàn)第一底電極、中間電極和第一頂電極的外接,由于相較于現(xiàn)有技術(shù),本技術(shù)能夠有效地減少使底電極、中間電極和頂電極外接時(shí)向外延伸的電極的尺寸,而向外延伸的電極的尺寸與雜散模態(tài)的產(chǎn)生量正相關(guān),因此相較于現(xiàn)有技術(shù),本技術(shù)能夠有效地減少雜散模態(tài)的產(chǎn)生量,從而有效地解決由于堆疊晶體濾波器需要向外延伸三個電極而導(dǎo)致產(chǎn)生的雜散模態(tài)過多,堆疊晶體濾波器的性能受到明顯削弱的問題,即本技術(shù)能夠有效地提高堆疊晶體濾波器的性能。

6、可選地,在中間電極與第一底電極共同接地時(shí),第一底電極與接地端連接,中間電極與第一底電極的連接處在俯視方向上的投影的邊緣不超出第一聲反射鏡在俯視方向上的投影的邊緣。

7、由于在中間電極與第一底電極共同接地時(shí),第一底電極的一側(cè)與接地端連接,即第一底電極的一側(cè)延伸至第一聲反射鏡外,中間電極與第一底電極的連接處在俯視方向上的投影的邊緣不超出第一聲反射鏡在俯視方向上的投影的邊緣,即在中間電極與第一底電極共同接地時(shí),第一底電極向外延伸一個電極,中間電極不向外延伸,因此該技術(shù)方案相當(dāng)于將使底電極、中間電極和頂電極外接時(shí)向外延伸的電極的數(shù)量由三個減少為兩個,以使底電極、中間電極和頂電極外接時(shí)向外延伸的電極的尺寸達(dá)到最小,從而使雜散模態(tài)的產(chǎn)生量達(dá)到最小和使堆疊晶體濾波器的性能達(dá)到最佳。

8、可選地,在中間電極與第一頂電極共同接地時(shí),中間電極的與接地端連接,第一頂電極與中間電極的連接處在俯視方向上的投影的邊緣不超出第一聲反射鏡在俯視方向上的投影的邊緣。

9、由于在中間電極與第一頂電極共同接地時(shí),中間電極的一側(cè)與接地端連接,即中間電極的一側(cè)延伸至第一聲反射鏡外,第一頂電極與中間電極的連接處在俯視方向上的投影的邊緣不超出第一聲反射鏡在俯視方向上的投影的邊緣,即在中間電極與第一頂電極共同接地時(shí),中間電極向外延伸一個電極,第一頂電極不向外延伸,因此該技術(shù)方案相當(dāng)于將使底電極、中間電極和頂電極外接時(shí)向外延伸的電極的數(shù)量由三個減少為兩個,以使底電極、中間電極和頂電極外接時(shí)向外延伸的電極的尺寸達(dá)到最小,從而使雜散模態(tài)的產(chǎn)生量達(dá)到最小和使堆疊晶體濾波器的性能達(dá)到最佳。

10、可選地,在中間電極與第一底電極共同接地時(shí),第一頂電極通過貫穿第一壓電層和第二壓電層的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)與另一堆疊晶體濾波器中除第一頂電極以外的電極或外部器件連接。

11、可選地,第一壓電層的厚度與中間電極的厚度的比例為1.2:1-2.5:1,第二壓電層的厚度與中間電極的厚度的比例為1.2:1-2.5:1。

12、該技術(shù)方案能夠通過將第一壓電層的厚度與中間電極的厚度的比例以及第二壓電層的厚度與中間電極的厚度的比例均設(shè)置為1.2:1-2.5:1的方式抑制雜散模態(tài)的產(chǎn)生以及優(yōu)化堆疊晶體濾波器的能量轉(zhuǎn)換效率和頻率響應(yīng)特性,因此該技術(shù)方案能夠有效地提高堆疊晶體濾波器的性能指標(biāo)。

13、可選地,第一聲反射鏡為空氣腔或若干層布拉格反射層。

14、第二方面,本技術(shù)還提供了一種雙工器,該雙工器包括發(fā)射濾波器、接收濾波器和上述第一方面提供的堆疊晶體濾波器,堆疊晶體濾波器設(shè)置在發(fā)射濾波器和接收濾波器之間且與發(fā)射濾波器和接收濾波器并聯(lián)。

15、本技術(shù)提供的一種雙工器,能夠通過使中間電極與第一底電極或第一頂電極連接的方式有效地減少使第一底電極、中間電極和第一頂電極外接時(shí)向外延伸的電極的尺寸,即本技術(shù)能夠在無需向外延伸三個電極的情況下實(shí)現(xiàn)第一底電極、中間電極和第一頂電極的外接,由于相較于現(xiàn)有技術(shù),本技術(shù)能夠有效地減少使底電極、中間電極和頂電極外接時(shí)向外延伸的電極的尺寸,而向外延伸的電極的尺寸與雜散模態(tài)的產(chǎn)生量正相關(guān),因此相較于現(xiàn)有技術(shù),本技術(shù)能夠有效地減少雜散模態(tài)的產(chǎn)生量,從而有效地解決由于堆疊晶體濾波器需要向外延伸三個電極而導(dǎo)致產(chǎn)生的雜散模態(tài)過多,堆疊晶體濾波器的性能受到明顯削弱的問題,即本技術(shù)能夠有效地提高堆疊晶體濾波器的性能。

16、可選地,堆疊晶體濾波器的第一頂電極與中間電極共同接地,第一底電極與天線端連接。

17、可選地,發(fā)射濾波器包括兩個第一串聯(lián)濾波器和若干個第一并聯(lián)濾波器,第一串聯(lián)濾波器和第一并聯(lián)濾波器均包括由下至上依次連接的第二襯底、第二底電極、第三壓電層和第二頂電極,第二襯底上設(shè)有第二聲反射鏡,兩個第一串聯(lián)濾波器的第二頂電極互連,其中一個第一串聯(lián)濾波器的第二底電極與天線端連接,第一并聯(lián)濾波器的第二頂電極與任一第一串聯(lián)濾波器的第二頂電極連接,第一并聯(lián)濾波器的第二底電極接地,在第一并聯(lián)濾波器的數(shù)量為多個時(shí),多個第一并聯(lián)濾波器并聯(lián)。

18、由于該技術(shù)方案的兩個第一串聯(lián)濾波器的第二頂電極互連,該技術(shù)方案的第一并聯(lián)濾波器的第二頂電極與第一串聯(lián)濾波器的第二頂電極連接,而第一串聯(lián)濾波器的第二頂電極的高度與第一并聯(lián)濾波器的第二頂電極的高度一致,因此該技術(shù)方案的發(fā)射濾波器的第二頂電極可以通過向外延伸的方式實(shí)現(xiàn)互連,而無需使用貫穿第三壓電層的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)進(jìn)行互連,即該技術(shù)方案相當(dāng)于使第二頂電極外接時(shí)需要使用的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的數(shù)量達(dá)到最小,而由于導(dǎo)電結(jié)構(gòu)需要占用排布面積和使用額外的制備工藝制成,因此該技術(shù)方案能夠使發(fā)射濾波器的尺寸達(dá)到最小和降低發(fā)射濾波器的生產(chǎn)成本,從而有效地減小雙工器的尺寸和生產(chǎn)成本。

19、可選地,接收濾波器包括兩個第二串聯(lián)濾波器和若干個第二并聯(lián)濾波器,第二串聯(lián)濾波器和第二并聯(lián)濾波器均包括由下至上依次連接的第三襯底、第三底電極、第四壓電層和第三頂電極,第三襯底上設(shè)有第三聲反射鏡,兩個第二串聯(lián)濾波器的第三頂電極互連,其中一個第二串聯(lián)濾波器的第三底電極與天線端連接,第二并聯(lián)濾波器的第三頂電極與任一第二串聯(lián)濾波器的第三頂電極連接,第二并聯(lián)濾波器的第三底電極接地,在第二并聯(lián)濾波器的數(shù)量為多個時(shí),多個第二并聯(lián)濾波器并聯(lián)。

20、由于該技術(shù)方案的兩個第二串聯(lián)濾波器的第三頂電極互連,該技術(shù)方案的第二并聯(lián)濾波器的第三頂電極與第二串聯(lián)濾波器的第三頂電極連接,而第二串聯(lián)濾波器的第三頂電極的高度與第二并聯(lián)濾波器的第三頂電極的高度一致,因此該技術(shù)方案的接收濾波器的第三頂電極可以通過向外延伸的方式實(shí)現(xiàn)互連,而無需使用貫穿第四壓電層的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)進(jìn)行互連,即該技術(shù)方案相當(dāng)于使第三頂電極外接時(shí)需要使用的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的數(shù)量達(dá)到最小,而由于導(dǎo)電結(jié)構(gòu)需要占用排布面積和使用額外的制備工藝制成,因此該技術(shù)方案能夠使接收濾波器的尺寸達(dá)到最小和降低接收濾波器的生產(chǎn)成本,從而有效地減小雙工器的尺寸和生產(chǎn)成本。

21、由上可知,本技術(shù)提供的一種堆疊晶體濾波器及雙工器,能夠通過使中間電極與第一底電極或第一頂電極連接的方式有效地減少使第一底電極、中間電極和第一頂電極外接時(shí)向外延伸的電極的尺寸,即本技術(shù)能夠在無需向外延伸三個電極的情況下實(shí)現(xiàn)第一底電極、中間電極和第一頂電極的外接,由于相較于現(xiàn)有技術(shù),本技術(shù)能夠有效地減少使底電極、中間電極和頂電極外接時(shí)向外延伸的電極的尺寸,而向外延伸的電極的尺寸與雜散模態(tài)的產(chǎn)生量正相關(guān),因此相較于現(xiàn)有技術(shù),本技術(shù)能夠有效地減少雜散模態(tài)的產(chǎn)生量,從而有效地解決由于堆疊晶體濾波器需要向外延伸三個電極而導(dǎo)致產(chǎn)生的雜散模態(tài)過多,堆疊晶體濾波器的性能受到明顯削弱的問題,即本技術(shù)能夠有效地提高堆疊晶體濾波器的性能。

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