直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置制造方法
【專利摘要】直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，包括掛件和主桿，掛件和主桿固定連接，主桿上設(shè)有感應(yīng)計數(shù)裝置。感應(yīng)計數(shù)裝置包括感應(yīng)器和數(shù)據(jù)顯示器，數(shù)據(jù)顯示器與主桿滑動連接，數(shù)據(jù)顯示器固定連接有感應(yīng)器；掛件包括主掛件和設(shè)置于主掛件一端的卡爪Ⅱ，主掛件的另一端固定安裝有滑動副掛件，滑動副掛件上設(shè)有卡爪Ⅰ；主桿上設(shè)置有刻度尺。本實(shí)用新型設(shè)置感應(yīng)計數(shù)裝置，可以精確的測量出籽晶行程，準(zhǔn)確測量出晶體長度，從而準(zhǔn)確算出剩料量，準(zhǔn)確判斷是否收尾，克服了目測誤差較大導(dǎo)致的物料浪費(fèi)和收尾不穩(wěn)的問題，提高了成晶率，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于單晶硅制造設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在校準(zhǔn)直拉單晶籽晶行程時，使用目測的方法，由于目測存在一定誤差，如果測量值比實(shí)際值過大，則導(dǎo)致爐內(nèi)剩余過多堝底料，造成物料浪費(fèi)，增加生產(chǎn)成本，如果測量值比實(shí)際值過小，則會導(dǎo)致單晶收尾不穩(wěn)，影響成晶率。
[0003]導(dǎo)致生產(chǎn)過程中不能準(zhǔn)確算出爐內(nèi)剩料量，不能準(zhǔn)確判斷收尾，不能準(zhǔn)確判斷晶體軟限位是否合理，可能會導(dǎo)致晶體掉入堝內(nèi)，不能準(zhǔn)確確定引晶液口距，導(dǎo)致引放次數(shù)偏多，最終造成成晶率降低，生產(chǎn)成本增高的問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)采用目測存在的測量值不準(zhǔn)確的問題。
[0005]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，包括掛件和主桿，掛件和主桿固定連接，主桿上設(shè)有感應(yīng)計數(shù)裝置。
[0006]本實(shí)用新型的特點(diǎn)還在于:
[0007]感應(yīng)計數(shù)裝置包括感應(yīng)器和數(shù)據(jù)顯示器，數(shù)據(jù)顯示器與主桿滑動連接，數(shù)據(jù)顯示器固定連接有感應(yīng)器。
[0008]掛件包括主掛件和設(shè)置于主掛件一端的卡爪II，主掛件的另一端固定安裝有滑動副掛件，滑動副掛件上設(shè)有卡爪I。
[0009]主桿上設(shè)置有刻度尺。
[0010]感應(yīng)器上裝有報警燈。
[0011]滑動副掛件上設(shè)有固定卡爪I的彈簧扣。
[0012]本實(shí)用新型具有如下有益效果:
[0013]1、本實(shí)用新型在刻度尺上設(shè)置感應(yīng)計數(shù)裝置，可以精確的測量出籽晶行程，準(zhǔn)確測量出晶體長度，從而準(zhǔn)確算出剩料量，準(zhǔn)確判斷是否收尾，克服了目測誤差較大導(dǎo)致的物料浪費(fèi)和收尾不穩(wěn)的問題，提高了成晶率，降低了生產(chǎn)成本。
[0014]2、本實(shí)用新型在主掛件上設(shè)置滑動副掛件，滑動副掛件與主掛件配合可穩(wěn)定固定在直拉單晶爐副室爐筒上，保證了其測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
[0015]3、本實(shí)用新型感應(yīng)計數(shù)裝置通過滑動塊設(shè)置在刻度尺上，便于移動，操作方便，且結(jié)構(gòu)簡單、緊湊。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；[0017]圖2為本實(shí)用新型直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置的滑動塊結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3本實(shí)用新型直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置卡掛于直拉單晶爐副室爐筒示意圖。
[0019]圖中，1.主掛件，2.卡爪I，3.彈簧扣，4.滑動副掛件，5.緊固螺釘，6.感應(yīng)器，
7.數(shù)據(jù)顯示器，8.報警燈，9.刻度尺，10.卡爪II。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0021]直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，包括掛件和主桿，掛件和主桿固定連接，主桿上設(shè)有感應(yīng)計數(shù)裝置。主桿上設(shè)有刻度尺9。感應(yīng)計數(shù)裝置包括感應(yīng)器6、數(shù)據(jù)顯示器7和報警燈10且通過滑動塊8設(shè)置在主桿上。掛件包括主掛件I和滑動副掛件4，主掛件I 一端設(shè)有卡爪II 11，滑動副掛件4設(shè)置在主掛件I的另一端，滑動副掛件4上設(shè)有卡爪I 2?？潭瘸?垂直設(shè)置在主掛件I上?；瑒痈睊旒?上設(shè)有與卡爪I 2配合的彈簧扣3，彈簧扣3調(diào)節(jié)卡爪I 2上下左右活動，最終緊固。
[0022]實(shí)施例，直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，參照圖1、圖2，包括掛件和主桿，掛件包括主掛件1，主掛件I 一端為卡爪II 11，主掛件I另一端設(shè)置有滑動副掛件4，滑動副掛件4與主掛件I之間通過緊固螺釘5緊固，滑動副掛件4上設(shè)置有卡爪I 2與彈簧扣3，彈簧扣3調(diào)節(jié)卡爪2以便適應(yīng)不同大小的副室爐筒并穩(wěn)定連接。主桿上貼有刻度尺9，主桿上設(shè)置有滑動塊8，主桿與滑動塊8之間通過緊固螺釘5緊固，在滑動塊上設(shè)置有數(shù)據(jù)顯示器7，感應(yīng)器6與數(shù)據(jù)顯示器7固定連接，感應(yīng)器6上裝有報警燈8。
[0023]滑動副掛件4可在主掛件I上滑動，根據(jù)直拉單晶爐副室大小調(diào)節(jié)卡爪I 2與卡爪II 11之間的距離，卡爪I 2與卡爪II 11配合卡掛在直拉單晶爐副室爐筒下沿的凸臺上，通過彈簧扣3調(diào)節(jié)卡爪I 2使其與單晶爐副室爐筒下沿的凸臺完全緊固，最后通過緊固螺釘5固定滑動副掛件4，卡爪I 2與彈簧扣3配合使用，使整個校準(zhǔn)裝置穩(wěn)定在直拉單晶爐副室上，不會使刻度尺9晃動，還可以適應(yīng)于多種形狀及微小變形的直拉單晶爐副室。
[0024]由于滑動塊8上設(shè)置有感應(yīng)器6，開始時將滑動塊8放在刻度尺9零刻度線處，數(shù)據(jù)顯示器7顯示為0.000，當(dāng)石墨夾頭經(jīng)過刻度尺9零刻度線處時，報警燈10就會報警，提示操作人員在直拉單晶爐控制柜界面上讀出當(dāng)前籽晶脈沖值并記錄，當(dāng)把滑動塊8放在刻度尺9的IOOOmm處，數(shù)據(jù)顯示器7顯示為1000.000，當(dāng)石墨夾頭經(jīng)過刻度尺9的IOOOmm線處時，報警燈10就會報警，提示操作人員在直拉單晶爐控制柜界面上讀出當(dāng)前籽晶脈沖值并記錄，這樣可以精確的算出籽晶行程。
[0025]工作步驟如下:
[0026]步驟1、旋轉(zhuǎn)直拉單晶爐控制柜旋轉(zhuǎn)按鈕，使拉晶爐拉伸腔轉(zhuǎn)至可以取出單晶位置處。
[0027]步驟2、把圖1中的單晶校準(zhǔn)籽晶行程裝置通過主掛件I上的卡爪II 11和滑動副掛件4上的卡爪I 2卡在拉伸腔的下沿，調(diào)節(jié)滑動副掛件4與校準(zhǔn)單晶爐副室吻合，用緊固螺釘5固定滑動副掛件4，調(diào)節(jié)彈簧扣3使卡爪I 2完全牢固在副室爐筒上。
[0028]步驟3、把滑動塊8移到刻度尺9的零刻度線處，使數(shù)據(jù)顯示器7上的數(shù)據(jù)顯示為
0.000，用緊固螺釘5固定。[0029]步驟4、在直拉單晶爐控制柜界面上選擇“籽晶快速下降”按鈕，按住手持器“籽晶下降”按鈕下降籽晶。
[0030]步驟5、待裝有籽晶石墨夾頭的下端下降到連接感應(yīng)器6的報警燈10開始報警時，停止籽晶下降。
[0031]步驟6、在直拉單晶爐控制柜界面上點(diǎn)擊“輔助功能”中的“籽晶坩堝行程標(biāo)定”讀出當(dāng)前籽晶脈沖值記為A值。
[0032]步驟7、把滑動塊8移到刻度尺9的IOOOmm處，使數(shù)據(jù)顯示器7上的數(shù)據(jù)顯示為10000.000，用緊固螺釘5固定。
[0033]步驟8、繼續(xù)下降籽晶石墨夾頭，使籽晶石墨夾頭的下端下降到連接感應(yīng)器6的報警燈10開始報警時，停止籽晶下降。
[0034]步驟9、在直拉單晶爐控制柜界面上點(diǎn)擊“輔助功能”中的“籽晶坩堝行程標(biāo)定”讀出當(dāng)前籽晶脈沖值記為B值。
[0035]步驟10、計算脈沖值C=A-B。
[0036]步驟11、在直拉單晶爐控制柜界面上點(diǎn)擊“輔助功能”中的“籽晶坩堝行程標(biāo)定”中的“I米的脈沖數(shù)據(jù)”更改設(shè)備參數(shù)值I米的脈沖數(shù)據(jù)使其數(shù)值等于C值。
[0037]步驟12、取下圖1中的單晶校準(zhǔn)籽晶行程工具，提升籽晶到拉伸腔內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，其特征在于:包括掛件和主桿，所述掛件和主桿固定連接，所述主桿上設(shè)有感應(yīng)計數(shù)裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述感應(yīng)計數(shù)裝置包括感應(yīng)器(6)和數(shù)據(jù)顯示器(7)，所述數(shù)據(jù)顯示器(7)與主桿滑動連接，數(shù)據(jù)顯示器(7)固定連接有感應(yīng)器(6)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述掛件包括主掛件(I)和設(shè)置于主掛件(I)一端的卡爪II (10)，所述主掛件(I)的另一端固定安裝有滑動副掛件(4)，所述滑動副掛件(4)上設(shè)有卡爪I (2)。
4.如權(quán)利要求3所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述主桿上設(shè)置有刻度尺(9)。
5.如權(quán)利要求4所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述感應(yīng)器(6)上裝有報警燈(8)。
6.如權(quán)利要求5所述的直拉法生長單晶硅用籽晶行程校準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述滑動副掛件(4)上設(shè)有固定所述卡爪I (2)的彈簧扣(3)。
【文檔編號】C30B15/20GK203462164SQ201320512798
【公開日】2014年3月5日 申請日期:2013年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月21日
【發(fā)明者】張鑫, 潘永娥, 李強(qiáng) 申請人:寧夏隆基硅材料有限公司, 銀川隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 無錫隆基硅材料有限公司