一種hct晶棒托盤支架的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于晶棒加工領域，尤其是涉及一種HCT晶棒托盤支架。
【背景技術】
[0002]當晶棒從粘接室運送到HCT (多線切割設備)進行線鋸工序切割時，以前拉晶棒時是硅塊向下，而硅塊向下晶棒運輸車輛上的顆粒造成硅塊劃痕現(xiàn)象，所以改為從粘接室拉取晶棒時需要將晶棒托盤向下從粘接工裝臺上放到拉取晶棒的車上，而晶棒托盤的寬度為8cm,娃塊寬度為16.8cm,因此在晶棒運輸過程中會造成晶棒的晃動，每輛晶棒運輸車可以拉取4條晶棒，每條晶棒之間的距離為2cm，此時就很容易造成晶棒之間的磕碰，從而出現(xiàn)晶棒崩邊的現(xiàn)象，或者造成邊緣的晶棒摔落。因此在晶棒拉取過程中，運輸車上的細小顆粒會對硅塊表面造成劃傷，此種硅塊切割后的硅片為崩邊不合格，造成質量上的嚴重影響。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實用新型要解決的問題是提供一種可以有效的增加托盤與晶棒運輸車接觸面積的HCT晶棒托盤支架。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是:一種HCT晶棒托盤支架，包括底座、橫向保護座和豎向保護座，所述底座的截面為直角梯形，在所述底座的上表面設有所述豎向保護座，所述橫向保護座與所述豎向保護座垂直設置，且所述橫向保護座位與所述底座的斜面位于同一側，所述橫向保護座和豎向保護座均為矩形，所述底座、橫向保護座和豎向保護座一體成型。
[0005]進一步的，所述橫向保護座的長度為80mm,寬度為14mm,高度為10mm。
[0006]進一步的，所述豎向保護座的長度為80mm，寬度為25mm，高度為31mm。
[0007]進一步的，所述底座截面為直角梯形，其上底為25mm，下底為36mm，高為24mm。
[0008]本實用新型具有的優(yōu)點和積極效果是:由于采用上述技術方案，在運輸過程中將本HCT晶棒托盤支架放在托盤底部，對托盤進行支撐固定，增加托盤與晶棒運輸車的接觸面積，防止晶棒在運輸過程中發(fā)生晃動，增加晶棒運輸過程中的穩(wěn)定性，有效的防止晶棒在運輸過程中晃動，避免造成晶棒磕碰的崩邊損失。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0010]圖2是本實用新型的使用狀態(tài)圖。
[0011]圖中:
[0012]1、底座 2、橫向保護座3、豎向保護座
[0013]4、晶棒托盤5、運輸車 6、HCT晶棒托盤支架
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖對本實用新型的具體實施例做詳細說明。
[0015]如圖1和2所示，一種HCT晶棒托盤支架，包括底座1、橫向保護座2和豎向保護座3，所述底座I的截面為直角梯形，在所述底座I的上表面設有所述豎向保護座3，所述橫向保護座2與所述豎向保護座3垂直設置，且所述橫向保護座位2與所述底座I的斜面位于同一側，所述橫向保護座2和豎向保護座3均為矩形，所述底座1、橫向保護座2和豎向保護座3—體成型。所述橫向保護座2的長度為80mm,寬度為14mm,高度為1mm,所述豎向保護座3的長度為80mm，寬度為25mm，高度為31mm，所述底座I截面為直角梯形，其上底為25臟，下底為36臟，高為24mm。
[0016]使用時，晶棒放到運輸車上后，在晶棒托盤4的左右兩側分別放置一個HCT晶棒托盤支架6，對晶棒托盤4進行支撐固定，每條晶棒共放置4個HCT晶棒托盤支架6，增加晶棒托盤4與運輸車5的接觸面積，增加晶棒運輸過程中的穩(wěn)定性，有效的防止晶棒在運輸過程中晃動，避免造成晶棒磕碰的崩邊損失。
[0017]以上對本實用新型的一個實施例進行了詳細說明，但所述內(nèi)容僅為本實用新型的較佳實施例，不能被認為用于限定本實用新型的實施范圍。凡依本實用新型申請范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本實用新型的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種HCT晶棒托盤支架，其特征在于:包括底座、橫向保護座和豎向保護座，所述底座的截面為直角梯形，在所述底座的上表面設有所述豎向保護座，所述橫向保護座與所述豎向保護座垂直設置，且所述橫向保護座位與所述底座的斜面位于同一側，所述橫向保護座和豎向保護座均為矩形，所述底座、橫向保護座和豎向保護座一體成型。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種HCT晶棒托盤支架，其特征在于:所述橫向保護座的長度為80mm,寬度為14mm,高度為10mm。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種HCT晶棒托盤支架，其特征在于:所述豎向保護座的長度為80mm,寬度為25mm,高度為31mm。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種HCT晶棒托盤支架，其特征在于:所述底座截面為直角梯形，其上底為25mm,下底為36mm,高為24mm。
【專利摘要】本實用新型提供一種HCT晶棒托盤支架，包括底座、橫向保護座和豎向保護座，所述底座的截面為直角梯形，在所述底座的上表面設有所述豎向保護座，所述橫向保護座與所述豎向保護座垂直設置，且所述橫向保護座位與所述底座的斜面位于同一側，所述橫向保護座和豎向保護座均為矩形，所述底座、橫向保護座和豎向保護座一體成型。在運輸過程中將本HCT晶棒托盤支架放在托盤底部，對托盤進行支撐固定，增加托盤與晶棒運輸車的接觸面積，防止晶棒在運輸過程中發(fā)生晃動，增加晶棒運輸過程中的穩(wěn)定性，有效的防止晶棒在運輸過程中晃動，避免造成晶棒磕碰的崩邊損失。
【IPC分類】B28D7-04, B28D5-00
【公開號】CN204322327
【申請?zhí)枴緾N201420690192
【發(fā)明人】陳健, 王康, 馬帥, 杜鵑
【申請人】天津英利新能源有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2014年11月17日