1.具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)，其特征在于，包括真空干燥裝置、高壓冷卻泵、廢液排出口、藥劑循環(huán)系統(tǒng)和藥劑回收系統(tǒng)；其中真空干燥裝置連接高壓冷卻泵，高壓冷卻泵通過1個(gè)電磁閥、一個(gè)氣動(dòng)閥連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)，藥劑回收系統(tǒng)的輸入端通過1個(gè)電磁閥連接高壓冷卻泵與廢液排出口，藥劑回收系統(tǒng)的輸出端連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)，其特征在于，所述的藥劑循環(huán)系統(tǒng)包括4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)、藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)、光刻膠輸出口；其中4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)由4個(gè)電磁閥-氣動(dòng)閥-電磁閥并聯(lián)連接而成，4個(gè)中的A-1藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)和A-2藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)分別通過1個(gè)氣動(dòng)閥、一個(gè)電磁閥連接A藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)，B-1藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)和B-2藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)分別通過1個(gè)氣動(dòng)閥、一個(gè)電磁閥連接B藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)，A藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)和B藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)分別連接光刻膠輸出口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)，其特征在于，所述的藥劑回收系統(tǒng)包括1個(gè)C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)，所述C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)的輸入端通過1個(gè)氣動(dòng)閥、一個(gè)電磁閥連接廢液排出口前的電磁閥，C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)的輸出端通過1個(gè)電磁閥、一個(gè)氣動(dòng)閥連接高壓冷卻泵的輸出端。
4.根據(jù)權(quán)利要求2和3所述的具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)，其特征在于，所述的藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)包括藥劑容器、容器供給輸出系統(tǒng)、容器液位傳感器；其中容器液位傳感器設(shè)于藥劑容器的內(nèi)部，容器供給輸出系統(tǒng)設(shè)于藥劑容器的輸出口。
5.如權(quán)利要求1所述的具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)的工作方法，其特征在于，包括如下步驟：
（1）光刻膠經(jīng)過真空干燥裝置作業(yè)后轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)形式存在，經(jīng)過高壓冷卻泵工作后，轉(zhuǎn)變?yōu)橐簯B(tài)形式形成可供使用的藥劑；
（2）當(dāng)容器液位傳感器感應(yīng)到4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的某個(gè)藥劑容器處于空狀態(tài)時(shí)，發(fā)出供給信號(hào)，供給信號(hào)控制的與空狀態(tài)的藥劑容器對(duì)應(yīng)的電磁閥收到信號(hào)，控制氣動(dòng)閥將管道打開，將藥劑提供到空狀態(tài)的藥劑容器內(nèi)進(jìn)行填充作業(yè)，并通過容器供給輸出系統(tǒng)將藥劑輸出，通過藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)控制藥劑進(jìn)入光刻膠輸出口；
（3）當(dāng)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)不需要進(jìn)行供給作業(yè)時(shí)，供給信號(hào)關(guān)閉，在信號(hào)關(guān)閉對(duì)應(yīng)的管道出口處設(shè)有藥劑回收系統(tǒng)，通過電磁閥信號(hào)控制氣動(dòng)閥，將排出的溶劑填充至C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)進(jìn)行存儲(chǔ)工作；當(dāng)設(shè)備端口需要藥劑時(shí)，通過信號(hào)引導(dǎo)閥門控制，優(yōu)先將C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)藥劑供給到4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)。