技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明是具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī),包括真空干燥裝置、高壓冷卻泵、廢液排出口、藥劑循環(huán)系統(tǒng)和藥劑回收系統(tǒng);其中真空干燥裝置連接高壓冷卻泵,高壓冷卻泵通過1個(gè)電磁閥?氣動(dòng)閥結(jié)構(gòu)連接藥劑循環(huán)系統(tǒng),藥劑回收系統(tǒng)的輸入端通過1個(gè)電磁閥連接高壓冷卻泵與廢液排出口,藥劑回收系統(tǒng)的輸出端連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)。優(yōu)點(diǎn):增加回收系統(tǒng),提高藥劑使用率,節(jié)省材料消耗,節(jié)省費(fèi)用,降低公司成本。
技術(shù)研發(fā)人員:徐飛;彭建中;李亞明;高廣修;吳昌龍;張良
受保護(hù)的技術(shù)使用者:南京中電熊貓液晶材料科技有限公司
文檔號(hào)碼:201611016640
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.18
技術(shù)公布日:2017.02.15