本發(fā)明涉及液晶顯示面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種液晶顯示面板測量設(shè)備的密封門。

背景技術(shù)：

伴隨液晶顯示技術(shù)正在向高端精細(xì)方向發(fā)展，對于ltps(lowtemperaturepoly-silicon，簡稱：低溫多晶硅)產(chǎn)品而言，黑色矩陣的線寬從10um到現(xiàn)在4～5um，規(guī)格要求越來越細(xì)，并且曝光遮罩的形狀精度和位置精度的要求從4～5um到現(xiàn)在1.5～2um。對檢測設(shè)備的精度也就要求更高，線寬檢測精度在0.05um以內(nèi)，精密測長機(jī)精度要求在0.3um，因此不僅需要對設(shè)備進(jìn)行防震、測量鏡頭精度校準(zhǔn)，而且最重要的是測量基板需放置于密閉恒溫恒濕室中，對設(shè)備的溫度要求在±0.1℃，防止溫度對精密測長機(jī)測量誤差帶來較大影響。

通常無塵室的溫度控制在23±0.5℃，精密測長機(jī)設(shè)備量測時，密封門打開，機(jī)械手將玻璃基板搬送到精密測長機(jī)腔室內(nèi)，這一過程中腔室內(nèi)與外界是相通的，若密封門關(guān)閉不夠緊密，外界溫度的變化對精密測長機(jī)的精度總是會有影響。

現(xiàn)有技術(shù)的精密測長機(jī)，用于封閉腔室的密封門為雙開門設(shè)計，并且需要在精密測長機(jī)的表面設(shè)置軌道，軌道中存在縫隙，難以實現(xiàn)對腔室的緊密封閉，而且，密封門在開啟及關(guān)閉的過程中，兩扇門相對運動，兩門之間空氣流速加快，從而加速了腔室內(nèi)外空氣交換，導(dǎo)致腔室內(nèi)溫度不穩(wěn)定，進(jìn)一步影響精密測長機(jī)的測量精度。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種密封門裝置，為一體式密封門，能夠?qū)軠y長機(jī)的腔室進(jìn)行較好地密封，以解決雙開門式密封門的軌道設(shè)計會影響腔室密封效果，導(dǎo)致腔室內(nèi)溫度不穩(wěn)定，進(jìn)而影響測量精度的技術(shù)問題。

為解決上述問題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明提供一種密封門裝置，用于對精密測長機(jī)的基板進(jìn)出口進(jìn)行密閉，其特征在于，包括：

一密封門，貼附于所述基板進(jìn)出口所在平面，且可平移至所述基板進(jìn)出口；以及

驅(qū)動機(jī)構(gòu)，包括有驅(qū)動電機(jī)、齒輪以及連接于所述密封門兩端的驅(qū)動螺桿；其中，

所述驅(qū)動電機(jī)連接所述齒輪，位于所述密封門至少一端的所述驅(qū)動螺桿套接于所述齒輪的中心，通過齒輪驅(qū)動所述驅(qū)動螺桿以自身中心線為軸旋轉(zhuǎn)，使得所述密封門在所述驅(qū)動螺桿上移動。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述密封門在所述基板進(jìn)出口所在平面上垂直移動。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述密封門的一端螺接第一驅(qū)動螺桿，所述密封門的相對另一端螺接第二驅(qū)動螺桿，所述第一驅(qū)動螺桿與所述第二驅(qū)動螺桿相互平行，并且，所述第一驅(qū)動螺桿與所述第二驅(qū)動螺桿均垂直于所述精密測長機(jī)底部。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述驅(qū)動電機(jī)的輸出軸連接第一齒輪，所述第一驅(qū)動螺桿套接于第二齒輪的中心，所述第一齒輪與所述第二齒輪相嚙合。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述第一驅(qū)動螺桿與所述第二驅(qū)動螺桿之間通過傳動機(jī)構(gòu)連接；其中

所述傳動機(jī)構(gòu)包括：

第一傘形齒輪，套接于所述第一驅(qū)動螺桿上；

第二傘形齒輪，與所述第一傘形齒輪相嚙合，以改變所述第一傘形齒輪的傳動方向；

第三傘形齒輪，套接于所述第二驅(qū)動螺桿上；

第四傘形齒輪，與所述第三傘形齒輪相嚙合，以驅(qū)動所述第三傘形齒輪運轉(zhuǎn)；以及

傳動連桿，垂直于所述第一驅(qū)動螺桿及第二驅(qū)動螺桿，所述傳動連桿的一端連接所述第二傘形齒輪，所述傳動連桿的相對另一端連接所述第四傘形齒輪。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述基板進(jìn)出口所在平面上，位于所述密封門行程的一端設(shè)置有第一擋板，所述第一擋板內(nèi)側(cè)設(shè)置有第一緩沖墊，位于所述密封門行程的另一端設(shè)置有第二擋板，所述第二擋板內(nèi)側(cè)設(shè)置有第二緩沖墊。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述基板進(jìn)出口所在平面上設(shè)置有止位傳感器，所述密封門上設(shè)置有與所述止位傳感器相匹配的識別器，所述止位傳感器電性連接所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述密封門的端部設(shè)置有連接套筒，所述連接套筒內(nèi)表面形成有螺紋，所述連接套筒套設(shè)于所述驅(qū)動螺桿上，且與所述驅(qū)動螺桿螺接。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述密封門朝向所述基板進(jìn)出口的一端形成有斜面，所述斜面朝向所述基板進(jìn)出口的外部。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述密封門端部的斜面與所述密封門外表面的連接處形成圓弧過渡面。

本發(fā)明的有益效果為：相較于現(xiàn)有的密封門，本發(fā)明所提供的一體式密封門，貼附于機(jī)體表面設(shè)置，密閉時具有較佳的密封效果，密封門及驅(qū)動機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，便于拆洗；解決了雙開門式密封門的軌道設(shè)計會影響腔室密封效果，導(dǎo)致腔室內(nèi)溫度不穩(wěn)定，進(jìn)而影響測量精度的技術(shù)問題。

附圖說明

為了更清楚地說明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明密封門裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下各實施例的說明是參考附加的圖示，用以例示本發(fā)明可用以實施的特定實施例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[內(nèi)]、[外]、[側(cè)面]等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是用以相同標(biāo)號表示。

本發(fā)明針對現(xiàn)有的雙開門式密封門，軌道的設(shè)計會影響腔室密封效果，導(dǎo)致腔室內(nèi)溫度不穩(wěn)定，進(jìn)而影響測量精度的技術(shù)問題，本實施例能夠解決該缺陷。

本發(fā)明所提供的密封門裝置，包括：一密封門，用于封閉精密測長機(jī)的基板進(jìn)出口，所述基板進(jìn)出口開設(shè)于所述精密測長機(jī)的一側(cè)表面，所述基板進(jìn)出口用于基板的進(jìn)入及移出；所述密封門貼附于所述基板進(jìn)出口所在平面，且可貼附在平面上平移至所述基板進(jìn)出口；以及驅(qū)動機(jī)構(gòu)，包括有驅(qū)動電機(jī)、齒輪以及連接于所述密封門兩端的驅(qū)動螺桿；其中，所述驅(qū)動電機(jī)連接所述齒輪，位于所述密封門至少一端的所述驅(qū)動螺桿套接于所述齒輪的中心，通過齒輪驅(qū)動所述驅(qū)動螺桿以自身中心線為軸旋轉(zhuǎn)，使得所述密封門在所述驅(qū)動螺桿上移動。

如圖1所示，本發(fā)明實施例的密封門裝置，包括一體式的密封門101，所述密封門101貼附于精密測長機(jī)102的一側(cè)表面，基板進(jìn)出口103開設(shè)于所述精密測長機(jī)102一側(cè)表面，且與所述密封門101位于所述精密測長機(jī)102的同一側(cè)；所述密封門101貼附于所述精密測長機(jī)102表面平移；所述基板進(jìn)出口103在打開時，所述密封門101平移至所述基板進(jìn)出口103的一端，所述基板進(jìn)出口103需要關(guān)閉時，所述密封門101平移至所述基板進(jìn)出口103所在區(qū)域，并覆蓋所述基板進(jìn)出口103。

所述密封門101由驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動平移。

所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括：第一驅(qū)動螺桿104，位于所述密封門101的一端，通過第一固定件105與所述密封門101連接，所述第一固定件105螺接于所述第一驅(qū)動螺桿104；第二驅(qū)動螺桿106，位于所述密封門101的相對另一端，通過第二固定件107與所述密封門101連接；所述第二固定件107螺接于所述第二驅(qū)動螺桿106；所述第一驅(qū)動螺桿104與所述第二驅(qū)動螺桿106相互平行，并且，所述第一驅(qū)動螺桿104與所述第二驅(qū)動螺桿106垂直于所述精密測長機(jī)102的底部；例如，所述第一驅(qū)動螺桿104與所述第二驅(qū)動螺桿106位于所述精密測長機(jī)102邊緣的外側(cè)，以避免驅(qū)動螺桿阻擋所述密封門101與所述基板進(jìn)出口103所在平面之間的貼合，又如，所述第一驅(qū)動螺桿104與所述第二驅(qū)動螺桿106位于所述密封門101貼附面的另一面，同樣能解決所述密封門101與所述基板進(jìn)出口103所在平面之間的貼合問題。

所述第一固定件105、第二固定件107為固定于所述密封門101端部的連接套筒，所述連接套筒內(nèi)表面形成有螺紋，所述連接套筒套設(shè)于驅(qū)動螺桿上，且與驅(qū)動螺桿螺接。

通過驅(qū)動所述第一驅(qū)動螺桿104與第二驅(qū)動螺桿106的至少一驅(qū)動螺桿旋轉(zhuǎn)，可使所述密封門101移動；螺接于驅(qū)動螺桿的固定件，其內(nèi)表面的螺紋為靜止?fàn)顟B(tài)，且固定件的外部與所述密封門101固定連接，使得固定件內(nèi)表面的螺紋與驅(qū)動螺桿外表面的螺紋形成抵觸，當(dāng)驅(qū)動螺桿旋轉(zhuǎn)時，驅(qū)動螺桿外表面的螺紋為傳動狀態(tài)，逼迫固定件在驅(qū)動螺桿上移動，通過控制驅(qū)動螺桿向不同方向旋轉(zhuǎn)以控制固定件的移動方向，進(jìn)而實現(xiàn)密封門101對基板進(jìn)出口103的開閉。

所述第一驅(qū)動螺桿104的旋轉(zhuǎn)通過驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動，所述驅(qū)動電機(jī)可以為伺服馬達(dá)108；進(jìn)一步，所述伺服馬達(dá)108的輸出軸連接第一齒輪，所述第一齒輪嚙合有第二齒輪，所述第一驅(qū)動螺桿104貫穿所述第二齒輪的中心，并與所述第二齒輪固定連接，所述第二齒輪的位置遠(yuǎn)離所述基板進(jìn)出口103；所述伺服馬達(dá)108驅(qū)動所述第一齒輪旋轉(zhuǎn)，所述第一齒輪帶動所述第二齒輪旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使所述第一驅(qū)動螺桿104旋轉(zhuǎn)；所述第一齒輪與所述第二齒輪位于第一齒輪箱109，用以固定所述第一齒輪與所述第二齒輪的位置。

例如，所述第二驅(qū)動螺桿106的旋轉(zhuǎn)也可通過驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動，具體結(jié)構(gòu)及工作原理與所述第一驅(qū)動螺桿104的驅(qū)動方式相同，此處不再贅述。

又如，所述第二驅(qū)動螺桿106藉由所述第一驅(qū)動螺桿104的動力傳動；所述第二驅(qū)動螺桿106通過傳動機(jī)構(gòu)連接所述第一驅(qū)動螺桿104；其中，所述所述傳動機(jī)構(gòu)包括：第一傘形齒輪，套接于所述第一驅(qū)動螺桿104上；第二傘形齒輪，與所述第一傘形齒輪相嚙合，以改變所述第一傘形齒輪的傳動方向；第三傘形齒輪，套接于所述第二驅(qū)動螺桿106上；第四傘形齒輪，與所述第三傘形齒輪相嚙合，以驅(qū)動所述第三傘形齒輪運轉(zhuǎn)；以及傳動連桿112，垂直于所述第一驅(qū)動螺桿104及第二驅(qū)動螺桿106，所述傳動連桿112的一端連接所述第二傘形齒輪，所述傳動連桿112的相對另一端連接所述第四傘形齒輪；所述第一傘形齒輪與所述第二傘形齒輪位于第二齒輪箱110，用于固定所述第一傘形齒輪與所述第二傘形齒輪的位置；所述第三傘形齒輪與所述第四傘形齒輪位于第三齒輪箱111，用以固定所述第三傘形齒輪與所述第四傘形齒輪的位置。

在驅(qū)動所述密封門101移動時，所述伺服馬達(dá)108驅(qū)動所述第一驅(qū)動螺桿104轉(zhuǎn)動，使得套接于所述第一驅(qū)動螺桿104上的第一傘形齒輪轉(zhuǎn)動，所述第一傘形齒輪帶動與其相嚙合的第二傘形齒輪轉(zhuǎn)動，所述第二傘形齒輪帶動所述傳動連桿112旋轉(zhuǎn)，同時，所述傳動連桿112帶動位于其另一端的第四傘形齒輪轉(zhuǎn)動，所述第四傘形齒輪帶動與其相嚙合的第三傘形齒輪轉(zhuǎn)動，與所述第三傘形齒輪固定連接的第二驅(qū)動螺桿106旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動螺接于所述第二驅(qū)動螺桿106上的連接套筒移動，從而配合所述第一驅(qū)動螺桿104驅(qū)動所述密封門101移動。

在所述基板進(jìn)出口103所在平面、且位于所述密封門101行程的一端設(shè)置第一擋板，在所述第一擋板內(nèi)側(cè)設(shè)置第一緩沖墊，在位于所述密封門101行程的另一端設(shè)置第二擋板，在所述第二擋板內(nèi)側(cè)設(shè)置第二緩沖墊；在所述密封門101兩個方向的止位端分別設(shè)置一緩沖墊，以保護(hù)密封門101邊緣免受撞擊。

在所述基板進(jìn)出口103所在平面上設(shè)置止位傳感器，在所述密封門101上設(shè)置與所述止位傳感器相匹配的識別器，所述止位傳感器電性連接所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)；從而，當(dāng)所述密封門101上升至能夠封閉所述基板進(jìn)出口103的位置時，所述密封門101上的識別器與所述止位傳感器近距離接觸以完成適配，所述止位傳感器將適配信息發(fā)送至控制端，所述控制端使所述伺服馬達(dá)108停止運行；當(dāng)需要開啟所述基板進(jìn)出口103時，可驅(qū)動所述第一驅(qū)動螺桿104反轉(zhuǎn)，進(jìn)而使所述密封門101下降至止位點。

將所述密封門101朝向所述基板進(jìn)出口103的一端設(shè)置為斜面，并使所述斜面朝向所述基板進(jìn)出口103的外部，因此，通過縮小所述密封門101端部的面積，以減小所述密封門101在移動過程中對空氣流速的影響，進(jìn)而減緩所述精密測長機(jī)102的腔室內(nèi)外空氣的交換，以穩(wěn)定所述腔室內(nèi)的溫度。

優(yōu)選的，所述密封門101端部的斜面與所述密封門101外表面的連接處形成圓弧過渡面，空氣過渡平滑，從而減小所述斜面與所述密封門101外表面的連接處對空氣流速的影響。

有益效果為：相較于現(xiàn)有的雙開門式密封門，本發(fā)明所提供的一體式密封門，貼附于機(jī)體表面設(shè)置，密閉時具有較佳的密封效果，密封門及驅(qū)動機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，便于拆洗；解決了雙開門式密封門的軌道設(shè)計會影響腔室密封效果，導(dǎo)致腔室內(nèi)溫度不穩(wěn)定，進(jìn)而影響測量精度的技術(shù)問題。

綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實施例揭露如上，但上述優(yōu)選實施例并非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。