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一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組及方法與流程

文檔序號(hào):41954282發(fā)布日期:2025-05-16 14:19閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法,其特征在于:包括一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組,該鏡組包括第一透鏡(9)、第二透鏡(10)、鏡筒(11)、光纖固定座(5)和三維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),第一透鏡(9)和第二透鏡(10)分別設(shè)置在透鏡鏡座(1)內(nèi),透鏡鏡座(1)設(shè)置在鏡筒(11)內(nèi),且兩透鏡的凸面相對(duì)設(shè)置,鏡筒(11)的上端設(shè)置有光纖安裝鏡筒(3),光纖固定座(5)安裝在光纖安裝鏡筒(3)內(nèi),三維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置在光纖安裝鏡筒(3)和光纖固定座(5)之間,三維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括旋緊螺母(4)、固定螺母(8)和球頭六角調(diào)節(jié)器(2),固定螺母(8)設(shè)置在光纖安裝鏡筒(3)中,且光纖固定座(5)安裝在固定螺母(8)上,所述調(diào)節(jié)方法包括以下具體步驟:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法,其特征在于:透鏡鏡座(1)的圓周方向設(shè)置有豎向凸形槽(16),豎向凸形槽(16)的底部設(shè)置有限位卡槽(17),第一透鏡(9)和第二透鏡(10)的圓周方向設(shè)置有固定環(huán)(20),固定環(huán)(20)的圓周方向設(shè)置有連接筋(18),第一透鏡(9)和第二透鏡(10)通過(guò)連接筋(18)分別卡在透鏡鏡座(1)的豎向凸形槽(16)中,連接筋(18)的外端設(shè)置有橡膠塊(19),橡膠塊(19)旋轉(zhuǎn)卡入限位卡槽(17)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法,其特征在于:透鏡鏡座(1)的內(nèi)側(cè)圓周方向設(shè)置有環(huán)形內(nèi)凸臺(tái)(15),第一透鏡(9)和第二透鏡(10)的底面分別粘貼在透鏡鏡座(1)的環(huán)形內(nèi)凸臺(tái)(15)上,第一透鏡(9)和第二透鏡(10)均為平凸透鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法,其特征在于:光纖安裝鏡筒(3)的下端設(shè)置有底板(21),固定螺母(8)抵觸在底板(21)上,底板(21)壓在透鏡鏡座(1)上,底板(21)的中心設(shè)置有中心孔(22),中心孔(22)的邊緣設(shè)置有向上的凸起,光纖固定座(5)的下端位于中心孔(22)中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法,其特征在于:光纖安裝鏡筒(3)的側(cè)面圓周方向均勻設(shè)置有調(diào)節(jié)孔(23),調(diào)節(jié)孔(23)至少設(shè)置四個(gè),螺紋襯套(7)設(shè)置在調(diào)節(jié)孔(23)中,球頭六角調(diào)節(jié)器(2)擰入螺紋襯套(7)內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法,其特征在于:第一透鏡(9)和第二透鏡(10)采用熔融石英材料制成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法,其特征在于:光纖安裝鏡筒(3)的高度為8.12毫米,直徑為32毫米。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法,其特征在于:球頭六角調(diào)節(jié)器(2)的調(diào)節(jié)精度為±5微米。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法,其特征在于:在調(diào)節(jié)完成后,通過(guò)檢測(cè)裝置檢測(cè)光纖激光器出射光束的光照均勻性,當(dāng)均勻性不滿足設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)時(shí),重復(fù)步驟三和步驟四,直至曝光均勻性滿足要求。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法,其特征在于:光纖安裝鏡筒(3)的圓周方向設(shè)置有螺紋襯套(7),球頭六角調(diào)節(jié)器(2)安裝在螺紋襯套(7)中,且球頭六角調(diào)節(jié)器(2)的球頭端對(duì)應(yīng)固定螺母(8),旋緊螺母(4)設(shè)置在光纖固定座(5)上,旋緊螺母(4)和固定螺母(8)構(gòu)成鎖緊機(jī)構(gòu),旋緊螺母(4)上設(shè)置有旋緊螺母調(diào)節(jié)孔(14),光纖固定座(5)上設(shè)置有固定座調(diào)節(jié)孔(13),光纖安裝鏡筒(3)的上方設(shè)置有螺帽(6)。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組及方法,包括一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組,該鏡組包括第一透鏡、第二透鏡、鏡筒、光纖固定座和三維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),第一透鏡和第二透鏡均為平凸透鏡,第一透鏡和第二透鏡分別設(shè)置在透鏡鏡座內(nèi),透鏡鏡座設(shè)置在鏡筒內(nèi),且兩透鏡的凸面相對(duì)設(shè)置,鏡筒的上端設(shè)置有光纖安裝鏡筒,光纖固定座安裝在光纖安裝鏡筒內(nèi),三維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置在光纖安裝鏡筒和光纖固定座之間,三維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括旋緊螺母、固定螺母和球頭六角調(diào)節(jié)器;該鏡組的調(diào)節(jié)方法簡(jiǎn)單,且成本低,以解決現(xiàn)有激光直接成像光刻系統(tǒng)中,由于光纖激光器出光不穩(wěn)定及調(diào)節(jié)精度不足,導(dǎo)致曝光光斑能量分布不均勻、產(chǎn)品良率降低等問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員:張博,張品祥,何錄偉,劉玉偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:河南百合特種光學(xué)研究院有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/15
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